本文主要介绍了我国MEMS传感器产业，探讨了我国MEMS替代的难点和重点，并给出了结论和解决方案。这篇文章有很多值得一读的想法。 特别指出，企业的研发能力是突破国产替代的关键。 企业与下游厂商的稳定合作是产品不断迭代的关键。 强大的资本认可也是公司快速发展的动力之一。

MEMS是Micro Electro Mechanical System的缩写，是根据功能需求将微电路和微机械集成在芯片上的系统。

MEMS以光刻、腐蚀等传统半导体技术为基础，与超精密机械加工相结合，并结合机械、化学、光学等学科知识和技术基础，使毫米级或微米级MEMS具有精确完整的机械、化学性能。 、光学等结构特点。

MEMS产品主要可分为MEMS传感器和MEMS执行器，其中传感器用于检测和检测物理、化学、生物等现象和信号，执行器用于实现器件的机械运动、力和扭矩等行为。

如图。 1 MEMS 传感器和局部显微放大

资料来源：赛迪顾问

MEMS传感器是利用微电子和微机械技术制造的微型传感器。 MEMS产品种类繁多，是应用最广泛的MEMS产品。通过微型传感器组件和传输单元，将输入信号转换并输出为另一个监测信号。

与传统工艺制造的传感器相比，具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适合批量生产、易于集成和智能化实现等特点。

MEMS传感器应用广泛

MEMS作为信息采集和交互的关键器件，在推动机械系统小型化方面发挥着重要作用。 MEMS传感器已广泛应用于汽车电子、消费电子、航空航天、生物医学、工业等领域。

消费电子和汽车是MEMS的主要应用。 从2019年全球MEMS市场结构来看，消费电子是主要应用领域，占比近60%； 汽车是第二大应用领域，约占19%。 从2019年中国MEMS市场结构来看，网络与通信、计算机、消费电子合计占比50%，汽车领域占比29%。

随着新能源汽车渗透率的进一步提升以及物联网的发展，2019年网络与通信、汽车电子占据了MEMS市场应用的一半以上。随着5G和智能网络的到来，MEMS的渗透率将不断提高，上述领域的市场空间有望进一步打开。

图4 2019年全球MEMS市场结构

资料来源：Yole Development、国泰君安证券研究

MEMS传感器发展历史

第一阶段是从 1990 年到 2000 年，MEMS 传感器在汽车电子和安全气囊、制动压力和轮胎压力监测系统等应用中的使用越来越多。这种需求的增长促使欧洲、日本和美国的公司开发并批量生产用于汽车的 MEMS 传感器；

第二阶段是2000年至2010年，由消费电子产品的快速增长推动。手机、平板电脑、笔记本电脑等消费电子产品要求MEMS传感器产品具有更小的尺寸和更低的功耗性能；

第三阶段是2010年至2020年，随着物联网产业的快速发展，MEMS传感器产业发展空间巨大。除了智能手机、平板电脑等消费电子领域，MEMS传感器还将广泛应用于AR/VR、智能手表、智能驾驶、智能物流、智能医疗等领域。

第四阶段是2020年起，随着自动驾驶、5G的发展以及物联网的普及，MEMS的发展空间进一步拓展，MEMS传感器产品的性能得到提升，以满足更小、更低尺寸的需求。能耗和更高的性能。

图6 MEMS传感器的发展阶段资料来源：爱集微，国泰君安证券研究
该行业刚刚进入成长期

从市场规模来看，根据Yole统计和预测，2019年全球MEMS市场规模为11.5亿美元。 2020年市场增长因COVID-19而放缓，市场将从2021年开始复苏，预计到17.7年将达到近2025亿美元。2019-2025年的cagR为7.4%。

在中国消费电子、汽车电子和工业快速发展的背景下，中国是近五年来MEMS市场规模增长最快的国家，也是全球最大的电子产品生产国。手机和平板电脑对MEMS产品的需求非常大。中国手机出货量位居全球第一，手机行业所需的光学传感器、运动传感器等MEMS传感器供应商都将中国视为最重要的市场。

据cCID智库统计，60年中国市场规模约为2019亿元，约占全球市场的54%。国内市场增速持续快于全球市场，预计100年中国MEMS市场规模将突破2022亿元。

图7. 全球MEMS市场规模增长较快

资料来源：赛迪顾问、国泰君安证券研究

从产品结构来看，全球排名前五的MEMS传感器细分领域为射频、压力、麦克风、加速度计和陀螺仪，占比近65%。 中国市场的这个顺序是射频、压力、麦克风、惯性和加速度计，与全球市场类似。

根据 Yole 的预测，到 1 年，价值 2024 亿美元以上的 MEMS 传感器领域包括射频、惯性组合、超声波指纹识别、压力、麦克风和喷墨打印。

图9 2019年全球MEMS市场结构（按器件类型）资料来源：Yole Development，国泰君安证券研究

从应用终端来看，在物联网和5G手机替代的推动下，全球消费类MEMS市场规模预计将从6.87年的2019亿美元增长至11.14年的2025亿美元。非盟在智能汽车渗透率提高的推动下，汽车 MEMS 市场预计将从 2.18 年的 2019 亿美元增长到 2.6 年的 2025 亿美元，复合年增长率为 3%。 此外，工业、医疗、通信、国防和航空等领域的市场需求也在增长。

从技术成熟度来看，我国MEMS技术的发展还处于起步阶段。 在产品研发方面，虽然我国专利申请数量位居全球第三，但专利质量较差，核心专利较少。 而且，申请专利的单位主要是大学和科研院所，产业化程度较低，仍需成果转化。

在封装和制造方面，国内缺乏代工经验，国内代工企业制造的MEMS传感器的可靠性和良率还不能完全满足大规模生产的要求，与国外还有一定差距。市场应用。

从企业规模来看，国内企业大多为中小企业，资金不足，吸引人才能力差，导致科研能力薄弱，难以打通与高等院校、科研院所的合作渠道。

从业务规模和利润水平来看，国内半导体企业与国外龙头企业还存在明显差距。 国际领先公司博通22.597年实现营收2019亿美元，对应销售毛利率为55.2%。 2019年，意法半导体营收15.416亿美元，毛利率38.7%。 德州仪器14.383年营收为2019亿美元，近年来毛利率一直保持在50%以上甚至60%以上。

反观国内龙头企业歌尔股份，2019年营业收入约5.068亿美元，毛利率仅为15.43%。 国内企业与国外巨头对比，营收规模和盈利能力仍存在较大差距。

图12 部分MEMS上市公司历史毛利率（%）资料来源：Wind，国泰君安证券研究

从竞争对手数量来看，MEMS传感器类型和制造商较多rs。 2019年，中国MEMS市场主要由国外厂商主导，博通、博世并驾齐驱，其他主要竞争对手包括意法半导体、德州仪器、Qorvo等。

美国厂商占一半以上，欧美日厂商在MEMS芯片和MEMS制造领域相对发达。国内竞争对手也表现不俗。歌尔首次跻身全球MEMS厂商10强 2019年同期，瑞声达科技排名第22位。 在代工领域，硅微电子控股的Silex排名第一。 总体来看，国际竞争对手优势明显，但国内企业正在加速追赶。

图13 国内MEMS传感器产业刚刚进入成长期

资料来源：国泰君安证券研究

综上所述，基于上述市场规模、技术成熟度、企业经营状况、竞争对手数量等方面的分析，我们判断国内MEMS传感器产业替代仍处于成长期，国内MEMS企业加速追赶行业巨头。随着物联网、智能汽车和5G技术的发展，国内MEMS传感器产业将持续增长，国产替代步伐有望加快.

国内MEMS厂商发展空间巨大

1、国家政策大力支持MEMS传感器产业发展

MEMS传感器在物联网、智能制造、智能物流等现代技术中发挥着非常重要的作用。 中国是全球最大的MEMS传感器市场，中国MEMS传感器市场无论规模还是重要性都值得关注。

国家传感器产业发展的政策环境不断优化。随着“制造强国战略”和“互联网+”行动计划的大力推进，传感器技术和传感器产业的重要性将日益凸显。可以预见，传感器技术将是未来我国科技发展的重中之重。

表1 国家发布的部分MEMS传感器产业政策资料来源：国务院、国家发改委、工业和信息化部、国泰君安证券

2、下游市场需求拉动MEMS产业市场持续增长

由于智能手机、可穿戴设备和智能家居市场的不断增长，消费电子领域是 MEMS 的第一大市场。 中国作为全球最大的电子制造基地，消耗了全球近一半的MEMS器件。

中国智能手机、平板电脑等MEMS消费电子产品销量的持续增长，带动了加速度传感器、麦克风等MEMS行业的增长。 此外，随着智能驾驶和新能源汽车的发展，汽车电子中的MEMS市场增长迅速，17.8年市场份额达2019%，排名第二。

政府大力支持5G产业，中国已形成充满活力的5G产业市场。 投资者对5G市场充满信心和希望，为5G的推广应用提供了广阔的空间。

5G是万物互联的基础，也加速了万物互联的发展。物联网成为各行业期待的下一个“风口”，全球物联网产业正在快速发展。 中国物联网市场增长速度快于全球其他地区，已成为全球最活跃的物联网应用市场。赛迪顾问预计，中国5G市场将持续高速增长。

图14 中国2020-2025年中国5G投资预测资料来源：赛迪顾问，国泰君安证券研究

在物联网领域，市场正在推动MEMS传感器市场的快速增长。 MEMS传感器在连接模拟和数字世界方面发挥着关键作用，它们对周围环境的感知和数据收集使我们能够客观、全面地了解各种设备和系统的正常运行。

据GSMA统计，全球物联网设备数量已从2年的2010亿台增长至12年的2019亿台。受益于5G的商用和Wi-FI6的发展，未来物联网市场潜力巨大。 GSMA预测，到24.6年，全球物联网设备将达到2025亿台，12.7年至2019年复合增长率为2025%。

图15 物联网设备快速增长（单位：亿）

资料来源：GSMA、国泰君安证券研究

在医疗保健领域，COVID-19给全世界带来了巨大的灾难，但却带动了医疗MEMS传感器市场的巨大增长。无论是电子体温计、诊断设备还是呼吸机，所有这些医疗设备都与MEMS传感器相连，导致这些领域的市场快速增长。

Yole预计10.6年医疗MEMS市场将增长2020%。此外，疫情增加了人们对健康的关注，加速了医疗消费市场的发展t。持续监测身体指标的可穿戴医疗设备也迅速发展。

由于疫情防控，非接触式服务、机器人配送、机器人加工厂等需求激增，间接推动了MEMS产业的快速发展。

此外，人们对自动化的习惯意味着，即使疫情在未来某个时候结束，人们仍然会依赖基于memS的无人化、自动化服务，因此该行业不会萎缩，而是继续增长。

3、国内MEMS传感器企业发展面临一定技术挑战

我国MEMS产业起步比国外晚不了多少，从设计、制造和封装三个环节来看，现有技术条件已初步形成MEMS设计、加工、封装、测试一条龙体系，保证了我国MEMS的进一步发展技术提供更好的平台。

但由于历史原因造成的权力碎片化、分散化，加上投入严重不足，虽然取得了很多成绩，但在质量、性价比、商业化等方面与国外还有很大差距。

MEMS技术研发需要较长的时间投入，一个传感器的研发一般需要6-8年，测试和导入产业链的时间一般需要近20年。 另外，产品的价格与产品的重要性或开发难度不成正比，导致中国MEMS企业无法从价格战中获利。

因此，中国企业需要提高产业链配套能力，加强上下游合作，积极探索MEMS器件新材料和集成技术的突破，探索新的市场机会。

上游研发设计主要集中在高校、科研院所和研发中试平台。 MEMS技术涉及微电子、机械、材料、化学、物理等多个领域。学科交叉程度高，研究难度大，设计周期长，往往需要数年时间才能量产。

目前企业具备一定的创新能力，但业务融合度较高，产品定位中低端，行业整体营收规模较小。 MEMS设计属于产业链的高附加值环节。国内企业的产品以机械传感器为主，市场处于中低端水平。

在中游制造中，基础MEMS材料的性能，如结构力学性能和材料化学性能，是决定产品性能的根本因素。 因此，MEMS 器件依赖于多种工艺和变量，并且每个 MEMS 产品通常都有一个工艺流程。研发团队在商业化之前通常需要多年的改进和测试。

MEMS代工厂可分为中试线、IC代工厂和MEMS专业代工厂。

试点线主要由高校和科研院所组成，作为产业共性技术研发平台，不以营利为目的，能力有限。 IC代工MEMS业务正处于起步阶段，产能相对较弱。国内有一定规模的设计企业大多选择国外OEM。

专业代工逐渐从收购转向自建，例如：2015年底，国内厂商NVA收购了瑞典MEMS代工Silex Microsystems，从而掌握了全球领先的MEMS代工技术；

封装技术大多来源于集成电路封装技术，但MEMS产品更加丰富，因此技术更加复杂和难度较大，导致封装技术成为各大外包半导体封装测试厂的主导领域。

在封装制造过程中，由于我国起步较晚，与美国、日本、德国等制造强国的制造能力和精度仍有一定差距，生产出来的MEMS传感器在寿命和精度方面较差，质量水平较差。不统一，产品竞争力低。 国内MEMS代工虽然落后于国际大厂，但封装测试技术起步较早，取得了良好的成绩，已具备国际竞争力。

其中，MEMS麦克风的主要产品是歌尔股份和瑞森科技。由于他们的商业模式是向国外设计厂商采购MEMS产品IP，代工制造后自行完成产品的封装测试和销售，有一定的溢价空间，目前已进入全球MEMS TOP30阵营。

下游应用行业中，消费电子是最大的市场，主要得益于近年来智能手机、可穿戴设备等市场的快速增长，以及中国顶尖科技企业小米、vivo等国产智能设备厂商的快速发展。 第二是汽车电子，汽车智能化需要高精度的传感设备，像比亚迪、蔚来、小鹏等下游国内汽车厂商也在紧锣密鼓地发展。 此外，医疗器械、工业4.0、物联网等下游应用产业快速发展。 国内产业链下游企业发展迅速，势头良好，但核心技术仍需国外支持，自主研发能力较差。企业已经认识到自主创新能力的重要性并不断努力。

4、MEMS行业资金流向大幅增加

由于MEMS产业是新时代科技发展的基础，且政策支持有力，我国MEMS产业投融资案例无论是数量还是金额都在逐年增加。 从投资金额来看，2019年投资金额约为2018年的两倍。虽然一级市场投资遇冷，但MEMS行业投资持续增加。

从细分来看，MEMS+AI、射频MEMS、光电MEMS和生物MEMS的投资案例数量和金额最多。 投资数量和金额的大幅增长表明资本市场对MEMS行业的关注度越来越高。 从地域分布来看，北京、广东、上海、浙江、江苏投资案例数位居前列。

图16 2017-2019年中国MEMS行业投融资情况资料来源：赛迪顾问，国泰君安证券研究

中国设计与代工需加强，封闭测试有竞争力

与集成电路产业类似，MEMS产业链主要涉及设计开发、生产制造、封装测试、系统应用等。 MEMS产业链上游包括MEMS器件设计、材料和生产设备研发及供应，中游包括MEMS器件制造和封装测试，下游利用MEMS产品集成终端电子产品。

上游芯片设计公司专注于MEMS芯片及其产品结构的设计。完成设计后，他们交给第三方晶圆厂生产MEMS芯片。经过封装和测试后，MEMS 芯片即可运送给消费电子、汽车、医疗和工业控制应用领域的客户。 目前国内企业的MEMS制造工艺主要集中在0.25-1微米范围。制造工艺不是产业链的制约因素，但功能和结构相对更重要。

图18 MEMS产业链资料来源：国泰君安证券研究

中游生产有两种模式：无晶圆厂和IDM。 Fablesss模式是目前主流的生产模式。它是一种基于设计的垂直分工模式。企业主要负责MEMS产品的设计和销售以及外包生产、测试​​、封装等环节。 IDM模式即集成器件制造模式，也是目前国际大厂的主要经营模式。典型的IDM厂商有博世、三星、TI、东芝、ST等。

图19：MEMS产业链下游发展情况资料来源：Yole Development，国泰君安证券研究

下游厂商可以分为两类：一类是解决方案提供商，根据下游需求提供灵活的定制化产品，然后通过简单的软件调试，销售给终端厂商使用。 其次，提供终端产品的厂商一般专注于特定领域，但研发成本高、研发周期长。 第一类厂商更适合大众消费市场的产品，第二类厂商更适合专业领域的产品。

图20 2019年中国MEMS市场应用结构（%）资料来源：赛迪顾问，国泰君安证券研究

国内MEMS传感器企业发展机遇与挑战并存

1.供应商议价能力一般

MEMS上游供应商主要提供原材料，以硅基材料为主。 MEMS材料与传统半导体材料基本相同，供给市场已经成熟，竞争更加激烈，形成买方市场。 当MEMS传感器供应商面对大型OEM客户和OEM客户时，这些OEM客户依赖强大的市场力量，要求供应商提供更低价格的原材料。 但近两年，由于原材料价格上涨以及晶圆产能限制，MEMS的晶圆环节受到限制。常规6英寸、8英寸产品普遍缺货，供应商议价能力增强。 可见，供应商的议价能力受市场供给影响较大。

2、买家议价能力强

MEMS企业加大科研力度，提高各自的核心竞争力，使技术快速发展，产品更新换代加快，价格下降速度加快。

随着物联网的快速发展和消费电子市场的加速升级，众多企业加入市场，竞争日趋激烈。 这使得终端消费市场价格逐渐降低，制造商、研发企业纷纷降低价格； 同时，终端消费市场的扩大提高了终端销售量和买家的议价能力。

此外，由于国内企业大多擅长低端产品，也面临大量竞争对手，因此需要通过价格战来保证市场份额。 可见买家的议价能力较高。

3、新进入者难以在现有领域竞争

MEMS传感器行业壁垒较高。 首先，存在资金障碍。由于产品的非标准化特性，MEMS企业无法通过单一工艺支持某种产品。除了使用硅材料外，没有通用的基本组件，这意味着每个MEMS产品都需要不同的工艺。

但企业往往需要同时进行多个产品的设计开发、试加工制造、质量检测等步骤，资金投入较大。 其次，技术壁垒，MEMS设计需要跨学科，设计难度大。 在加工过程中，每种类型的产品需要不同的加工工艺，每种工艺都需要工艺开发和优化的步骤。同时，由于新企业缺乏经验，加工精度和质量难以满足，加工难度大。

最后，还有人才壁垒。由于新企业知名度不高、吸引人才能力较弱，其创新能力和核心竞争力很难超越现有企业。 但随着新技术的不断发展以及细分市场和应用的开拓，这些领域各企业之间存在着不小的差距，这给一些新企业提供了发展机会。

4.现有竞争对手的竞争激烈

目前，美国企业占据了国内MEMS市场份额的半壁江山，加上欧洲和日本企业，博通、博世、意法半导体、德州仪器等国外企业占据了国内市场的大部分份额。 从主要上市企业来看，营收过百亿的国内传感器企业仅有2家，这与国内传感器企业发展较晚、竞争激烈有关。

中国国内供应能力不足，特别是高端产品几乎全部依赖进口供应，80%的芯片依赖国外； 剩余份额仅集中在少数上市公司手中，如歌声、水晶光电、汉威电子、士兰微、金龙机电5家企业占据国内MEMS市场40%以上； 国内MEMS企业70%是中小企业，产品主要集中在中低端。 总体而言，中国企业的现状是中低端产品竞争激烈，而高端产品竞争没有竞争力。

5. 几乎没有替代威胁

MEMS传感器是传统传感器的替代品。与传统传感器相比，MEMS传感器具有小型化、重量轻、能耗低等优点。 MEMS 器件尺寸较小。一般来说，单个MEMS传感器的尺寸以毫米甚至微米为单位进行测量。 同时，小型化后的机械部件具有惯量小、谐振频率高、响应时间短等优点。

此外，MEMS传感器更适合大规模生产，可以大大降低单个MEMS的生产成本。 加工集成化，单个MEMS往往在机械传感器的封装中，同时也与其他芯片集成，方便对MEMS芯片的控制。

智能传感器具有信息处理功能，通过软件可以修正各种误差，大大提高传感器的精度，提高传感器的可靠性，提高整个系统的抗干扰部分。 在同等精度的需求下，多功能智能传感器与单一功能的普通传感器相比，性价比显着提高，并且多功能智能传感器可以实现多个传感器对多个综合参数的测量。 结合这些优势，MEMS 传感器的替代品构成的威胁非常小。

竞争格局与KSF分析

中国MEMS市场长期由国外厂商主导，这些厂商在MEMS技术各方面都比较成熟，在使用寿命和产品精度方面具有明显优势。

2019年，博通、博世、意法半导体、德州仪器、QORVO、惠普、楼宇、恩智浦、歌尔、TDK位列中国MEMS市场前十厂商，其中美国企业占比10%。 中国企业歌尔进入前十，10年MEMS营收同比增长36%，远超行业其他龙头企业。 瑞声达排名第22位，营收同比增长11%，也高于行业整体。

图21. 2019年中国MEMS市场厂商结构

资料来源：赛迪顾问、国泰君安证券研究

目前，国内MEMS传感器厂商整体规模还不大。 除了歌尔、瑞声达年营收超过100亿美元外，美光半导体、美泰科技、Microchip微芯等本土MEMS传感器厂商年营收不足60万美元，整体规模较小。

另外，国内厂商经营的产品品类相对单一，产品线大多为一条，多为元器件供应商，解决方案供应能力较差。 国际巨头Invensense、英飞凌等国外厂商拥有2~3条产品线，而博世、电装、意法半导体等MEMS产品线则拥有4条以上，且具备提供集成解决方案的能力。 相比之下，小型供应商很难在短时间内实现量产，因此头部大供应商的市场份额相对稳定，市场集中度较高。

2、国内企业KSF分析

首先，企业的研发能力是国产替代突破的核心。 目前国内MEMS的研发大多集中在科研院所和大学，企业的研发能力相对较差。而MEMS产业作为新技术的基础，有突破性的新产品或者巨大的改进是其在市场立足的重要途径。因此，创新型、具有自身核心竞争力的企业值得关注。

例如，歌尔是麦克风领域的龙头企业； 苏州固锝子公司的加速度传感器国内销量第一。 汉威电子旗下威胜科技的气体传感器已取得初步成果，可应用于气体检测产品和智能穿戴设备。

其次，企业与下游厂商稳定的合作是产品不断迭代的关键。 国内需求巨大，国内优秀厂商与国内大企业合作有先天优势，但国内厂商基本以Fabless形式为主，与IDM企业相比，供应链和分销链并不完善，没有稳定的下游供应商是个大问题，所以产业链完整，下游企业与大企业有稳定的合作， 除了存在时间较长之外，企业的诚信体系也值得关注。

此外，芯片设计和供货能力是MEMS传感器应对技术迭代和创新的基础。因此，国内专注于MEMS研发设计的半导体厂商拥有广阔的进口替代和创新市场机会。

最后，企业拥有强大的资本背书也是快速发展的动力之一。 由于MEMS企业发展初期投资大、盈利难度大，发展需要大量的资金、人才等资源，有大企业支持或有较强投资背景的企业可能会发展得更快。

表2 MEMS非上市公司资料来源：企名片，国泰君安证券研究

主要结论

主要结论1：MEMS传感器品种丰富、应用广泛，是获取信息、实现交互的关键器件。 随着物联网、5G、智能驾驶等行业加速渗透，应用需求广泛，市场巨大。

据赛迪智库统计，60年中国市场规模约为2019亿元，约占全球市场的54%，且国内市场增速持续高于全球。预计到2022年，中国MEMS市场规模将突破100亿元，国内替代需求旺盛。 但国内MEMS传感器产品技术和性能与国外巨头相比仍存在差距。我们判断MEMS产业仍处于成长期。

主要结论2：MEMS传感器产业发展驱动条件良好，包括政策支持、需求增长、供给充裕、资本关注和技术迭代。但产业链工艺水平仍有提升空间。 考虑到国际领先企业的毛利率水平高于国内厂商，但产品定价较高，这给了国内企业一定的增长空间。 同时，由于MEMS定制化的特点，国内一些企业有望在新的细分领域实现技术突破。

主要结论3：与发达国家企业相比，国内厂商发展较晚，市场占有率较低，大部分市场被美国、日本、德国厂商占据。

本土优势主要体现在下游应用、模式创新以及对多元化市场需求的把握。近年来，随着指纹、图像、声音传感器的应用，产品创新、历史悠久的企业有望获得更大的成长空间，各细分领域有望涌现优质企业。

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