1.3 एनआईएसटी और चिप मेट्रोलॉजी कार्यक्रम का अवलोकन

चिप मेट्रोलॉजी प्रोग्राम और एनआईएसटी बोल्डर प्रयोगशाला से डॉ. मार्ला डॉवेल ने कार्य समूह की बैठक में एक लोकप्रिय मुख्य भाषण दिया। मुख्य भाषण उपस्थित लोगों को एनआईएसटी के मिशन की याद दिलाते हुए शुरू हुआ: अमेरिकी आर्थिक सुरक्षा को बढ़ावा देना, हमारे जीवन की गुणवत्ता में सुधार करना, और माप विज्ञान, मानकों और प्रौद्योगिकी को आगे बढ़ाकर नवाचार और औद्योगिक प्रतिस्पर्धात्मकता हासिल करना।

इसने एनआईएसटी की (1) माप विज्ञान, (2) कठोर पता लगाने की क्षमता, और (3) मानकों के विकास और उपयोग की मुख्य क्षमताओं पर प्रकाश डाला। डॉवेल ने चिप मेट्रोलॉजी कार्यक्रम, संगठनात्मक संबंधों और एनआईएसटी में राष्ट्रीय अनुसंधान संस्थानों की पृष्ठभूमि पर विवरण प्रदान किया। डॉवेल ने चिप उद्योग के सामने आने वाली माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक चुनौतियों को सामूहिक रूप से संबोधित करने के लिए उद्योग और एनआईएसटी सहयोग की आवश्यकता पर जोर दिया। उन्होंने इस बात पर जोर दिया कि एनआईएसटी एक गैर-नियामक प्रयोगशाला है और एक विश्वसनीय मालिकाना सूचना भागीदार, तटस्थ और उद्देश्यपूर्ण रहा है, जो उच्च गुणवत्ता वाले माप, डेटा और अनुसंधान का प्रसार करके अमेरिकी नवाचार और औद्योगिक प्रतिस्पर्धा को बढ़ावा देने वाली प्रमुख प्रौद्योगिकियों के विकास का समर्थन करता है। विशेष रूप से, बोल्डर में, एनआईएसटी में लगभग 900 कर्मचारी सदस्य और 500,000 वर्ग फुट से अधिक प्रयोगशाला स्थान है, जिसमें छह क्षेत्र शामिल हैं: (1) उन्नत संचार प्रौद्योगिकी, (2) क्वांटम विज्ञान और इंजीनियरिंग, (3) समय और आवृत्ति मेट्रोलॉजी, (4) उन्नत सामग्री विशेषता, (5) सटीक इमेजिंग, और (6) लेजर और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स। इसके बाद डॉवेल ने माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स क्षेत्र में एनआईएसटी के लंबे समय से चले आ रहे निवेश पोर्टफोलियो पर प्रकाश डाला, जिसमें कई क्षेत्र शामिल हैं।

डॉवेल ने बाद में "अमेरिकन चिप्स एक्ट" पर चर्चा की और चिप्स के लिए अमेरिकी फंडिंग के रणनीतिक पहलुओं को रेखांकित किया, जिसमें यह भी शामिल है कि यह तीन अलग-अलग पहलों का समर्थन कैसे करेगा: (1) अग्रणी विनिर्माण में महत्वपूर्ण निवेश, (2) परिपक्व चिप्स के लिए नई विनिर्माण क्षमताएं , उन्नत चिप्स, नई प्रौद्योगिकियाँ, और विशेष विशेषज्ञता, और (3) अनुसंधान और विकास में अमेरिकी नेतृत्व को मजबूत करना। अनुसंधान निधि और एनआईएसटी के माप विज्ञान विनियोजन पर ध्यान देने के साथ, विनिर्माण प्रोत्साहन के लिए $39 बिलियन और अनुसंधान एवं विकास प्रोत्साहन के लिए $11 बिलियन के बीच अंतर पर प्रकाश डाला गया। डॉवेल ने चर्चा की कि कैसे सेमीकंडक्टर विनिर्माण उद्योग, शिक्षा जगत और सरकार ने ईयूवीएल कार्य समूह की बैठक सहित सात पहचाने गए रणनीतिक अवसरों के माध्यम से व्यापक प्रतिक्रिया प्रदान की।

संचार प्रौद्योगिकी प्रयोगशाला (सीटीएल) ने सामग्री मेट्रोलॉजी का एक उदाहरण प्रदान किया, और चिप मेट्रोलॉजी कार्यक्रम के निदेशक बनने से पहले, डॉ. डॉवेल ने वहां डिवीजन प्रमुख के रूप में कार्य किया, विशेष रूप से 5जी सामग्री मानक संदर्भ सामग्री (एसआरएम) के क्षेत्र में। उनके सह-लेखक एनआईएसटी एसपी1278 दस्तावेज़ को एक उदाहरण के रूप में प्रस्तुत किया गया था कि कैसे मेट्रोलॉजी माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक घटकों और उत्पादों की सुरक्षा और पता लगाने की क्षमता में सुधार करती है।

मुख्य भाषण का समापन करते हुए, डॉवेल ने एनआईएसटी प्रकाशनों की शुरुआत की जो चिप्स से संबंधित मेट्रोलॉजी के अवसर प्रदान करते हैं। इसके अतिरिक्त, 25 अप्रैल, 2023 की सुबह, उनके विभाग ने राष्ट्रीय सेमीकंडक्टर प्रौद्योगिकी केंद्र के दृष्टिकोण और रणनीतियों को रेखांकित करते हुए एक दस्तावेज़ जारी किया, जिसमें बताया गया कि भविष्य में उद्योग और एनआईएसटी की बातचीत कैसे होगी।

नेशनल इंस्टीट्यूट ऑफ स्टैंडर्ड्स एंड टेक्नोलॉजी (एनआईएसटी) में मैटेरियल्स मेट्रोलॉजी लेबोरेटरी (एमएमएल) की कार्यवाहक निदेशक डॉ. स्टेफनी हुकर ने दोपहर के सत्र से पहले उपस्थित लोगों का स्वागत करते हुए कार्य समूह की बैठक में मुख्य भाषण दिया। हूकर ने एनआईएसटी के मिशन को दोहराया और विश्व स्तरीय इंजीनियरों और वैज्ञानिकों के बीच इसकी प्रतिष्ठा के रूप में इसकी सबसे बड़ी ताकत पर जोर दिया। एनआईएसटी के पैमाने और क्षमताओं को साझा करने के अलावा, एनआईएसटी द्वारा प्रदान की गई माप सेवाओं पर ध्यान केंद्रित किया गया था। माप सेवाओं में 1100 से अधिक मानक संदर्भ सामग्री (एसआरएम), लगभग 100 मानक संदर्भ डेटा (एसआरडी) उत्पाद, 5 गुणवत्ता आश्वासन कार्यक्रम और डेटा टूल और रजिस्ट्रियां शामिल हैं। दस्तावेजी मानकों पर भी जोर दिया गया और बताया गया कि कैसे 400 से अधिक एनआईएसटी तकनीकी कर्मचारी 100 से अधिक मानक समितियों में भाग लेते हैं, कई अंतरराष्ट्रीय मानक संगठनों में नेतृत्व की स्थिति रखते हैं, जिससे विश्व स्तर पर अमेरिकी प्रतिस्पर्धात्मकता बढ़ती है। उनके भाषण में प्रमुख प्रौद्योगिकी क्षेत्रों पर प्रकाश डाला गया जिसमें एनआईएसटी शामिल है और विस्तार कर रहा है, जिसमें कृत्रिम बुद्धिमत्ता (एआई), क्वांटम विज्ञान, उन्नत संचार, उन्नत विनिर्माण और जैव अर्थव्यवस्था शामिल हैं। हूकर ने एनआईएसटी के साथ स्थापित जुड़ाव क्षेत्रों और सहयोग के तरीकों की शुरुआत करके निष्कर्ष निकाला, जिसमें कार्य समूह की बैठकें, कंसोर्टिया, सीआरएडीए और एमटीए शामिल हैं, जो इस रिपोर्ट का फोकस भी हैं।

इन दो मुख्य भाषणों ने कार्य समूह के सदस्यों और एनआईएसटी नेतृत्व के बीच सामंजस्य और भागीदारी का प्रदर्शन किया।

ईयूवीएल (एक्सट्रीम अल्ट्रावॉयलेट लिथोग्राफी) तकनीक

कार्य समूह की बैठक में प्रस्तावित और चर्चा किए गए ईयूवीएल के तकनीकी पहलुओं पर एक विस्तृत परिचय प्रदान किया गया है। ईयूवी स्रोत मॉड्यूल की चर्चा के लिए समर्पित तीन विशिष्ट खंड (2.1-2.3) निम्नलिखित हैं। फिर, ईयूवी प्रकाश के साथ बातचीत करने वाले घटकों की वर्तमान स्थिति और आवश्यकताओं पर चर्चा की जाती है (2.4)। ये दोनों घटक ईयूवी प्रकाश के साथ परस्पर क्रिया करते हैं। अंत में, सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में घटकों के विश्लेषण के लिए मेट्रोलॉजी उपकरण के रूप में ईयूवी प्रकाश का उपयोग शुरू किया गया है (2.5)। एक उपकरण के रूप में ईयूवी प्रकाश का मेट्रोलॉजी पहलू सीधे अनुभाग अनुभाग में चर्चा किए गए विकिरण माप से संबंधित है। यहां चर्चा किए गए तकनीकी विवरण पहले ही सार्वजनिक रूप से जारी किए जा चुके हैं। हालाँकि, तकनीकी विशेषज्ञता और औद्योगिक और एनआईएसटी अनुसंधान की स्थिति को एक रिपोर्ट में जोड़ना तकनीकी परिदृश्य को समझने के लिए उपयोगी है। इस रिपोर्ट में प्रदान किए गए तकनीकी विवरण के पूरक के लिए समीक्षा संदर्भ शामिल किए गए हैं।

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