1.3 Tổng quan về Chương trình Đo lường Chip và NIST

Tiến sĩ Marla Dowell, từ Chương trình Đo lường Chip và Phòng thí nghiệm NIST Boulder, đã có bài phát biểu quan trọng nổi tiếng tại cuộc họp nhóm làm việc. Bài phát biểu quan trọng bắt đầu bằng việc nhắc nhở những người tham dự về sứ mệnh của NIST: thúc đẩy an ninh kinh tế Hoa Kỳ, cải thiện chất lượng cuộc sống của chúng ta và đạt được sự đổi mới cũng như khả năng cạnh tranh công nghiệp bằng cách thúc đẩy khoa học, tiêu chuẩn và công nghệ đo lường.

Nó nêu bật các khả năng cốt lõi của NIST về (1) khoa học đo lường, (2) truy xuất nguồn gốc nghiêm ngặt và (3) phát triển và sử dụng các tiêu chuẩn. Dowell cung cấp thông tin chi tiết về Chương trình Đo lường Chip, các mối quan hệ tổ chức và nền tảng của các tổ chức nghiên cứu quốc gia tại NIST. Dowell nhấn mạnh sự cần thiết của sự hợp tác giữa ngành và NIST để giải quyết chung các thách thức vi điện tử mà ngành công nghiệp chip phải đối mặt. Bà nhấn mạnh rằng NIST là một phòng thí nghiệm không thuộc quy định và là đối tác thông tin độc quyền đáng tin cậy, trung lập và khách quan, hỗ trợ phát triển các công nghệ chủ chốt nhằm thúc đẩy sự đổi mới và khả năng cạnh tranh công nghiệp của Hoa Kỳ bằng cách phổ biến các phép đo, dữ liệu và nghiên cứu chất lượng cao. Cụ thể, tại Boulder, NIST có khoảng 900 nhân viên và hơn 500,000 feet vuông không gian phòng thí nghiệm, bao gồm sáu khu vực: (1) Công nghệ truyền thông tiên tiến, (2) Khoa học và kỹ thuật lượng tử, (3) Đo lường thời gian và tần số, (4) Đặc tính vật liệu tiên tiến, (5) Hình ảnh chính xác và (6) Laser và quang điện tử. Dowell sau đó nhấn mạnh danh mục đầu tư lâu dài của NIST trong lĩnh vực vi điện tử, liên quan đến nhiều lĩnh vực.

Dowell sau đó đã thảo luận về "Đạo luật CHIPS của Mỹ" và vạch ra các khía cạnh chiến lược trong việc tài trợ cho chip của Hoa Kỳ, bao gồm cách nó sẽ hỗ trợ ba sáng kiến ​​​​riêng biệt: (1) đầu tư đáng kể vào sản xuất tiên tiến nhất, (2) khả năng sản xuất mới cho chip trưởng thành , chip tiên tiến, công nghệ mới và chuyên môn chuyên biệt, và (3) củng cố vai trò lãnh đạo của Hoa Kỳ trong nghiên cứu và phát triển. Sự khác biệt giữa 39 tỷ USD dành cho khuyến khích sản xuất và 11 tỷ USD dành cho khuyến khích R&D đã được nêu rõ, tập trung vào tài trợ nghiên cứu và phân bổ khoa học đo lường của NIST. Dowell đã thảo luận về cách ngành sản xuất chất bán dẫn, giới học thuật và chính phủ đưa ra phản hồi sâu rộng thông qua bảy cơ hội chiến lược đã được xác định, bao gồm cả cuộc họp nhóm làm việc EUVL.

Phòng thí nghiệm Công nghệ Truyền thông (CTL) đã đưa ra một ví dụ về đo lường vật liệu và trước khi trở thành Giám đốc Chương trình Đo lường Chip, Tiến sĩ Dowell từng giữ chức vụ Trưởng phòng ở đó, đặc biệt là trong lĩnh vực vật liệu tham chiếu tiêu chuẩn vật liệu 5G (SRM). Tài liệu NIST SP1278 mà cô là đồng tác giả được trình bày như một ví dụ về cách đo lường cải thiện tính bảo mật và khả năng truy xuất nguồn gốc của các sản phẩm và linh kiện vi điện tử.

Kết thúc bài phát biểu quan trọng, Dowell đã giới thiệu các ấn phẩm của NIST mang lại cơ hội đo lường liên quan đến chip. Ngoài ra, vào sáng ngày 25 tháng 2023 năm XNUMX, bộ phận của cô đã công bố một tài liệu phác thảo tầm nhìn và chiến lược của Trung tâm Công nghệ Bán dẫn Quốc gia, mô tả cách thức tương tác giữa ngành và NIST trong tương lai.

Tiến sĩ Stephanie Hooker, Quyền Giám đốc Phòng thí nghiệm Đo lường Vật liệu (MML) tại Viện Tiêu chuẩn và Công nghệ Quốc gia (NIST), đã có bài phát biểu quan trọng tại cuộc họp nhóm làm việc, chào mừng những người tham dự trước phiên họp buổi chiều. Hooker nhắc lại sứ mệnh của NIST và nhấn mạnh sức mạnh lớn nhất của nó chính là danh tiếng của nó đối với các kỹ sư và nhà khoa học đẳng cấp thế giới. Bên cạnh việc chia sẻ quy mô và khả năng của NIST, trọng tâm là các dịch vụ đo lường do NIST cung cấp. Các dịch vụ đo lường bao gồm hơn 1100 Tài liệu Tham chiếu Tiêu chuẩn (SRM), khoảng 100 sản phẩm Dữ liệu Tham chiếu Tiêu chuẩn (SRD), 5 Chương trình Đảm bảo Chất lượng cũng như vô số công cụ và cơ quan đăng ký dữ liệu. Người ta cũng nhấn mạnh vào các tiêu chuẩn tài liệu và cách hơn 400 nhân viên kỹ thuật của NIST tham gia vào hơn 100 ủy ban tiêu chuẩn, giữ vị trí lãnh đạo trong nhiều tổ chức tiêu chuẩn quốc tế, từ đó nâng cao khả năng cạnh tranh của Hoa Kỳ trên toàn cầu. Bài phát biểu của bà nhấn mạnh các lĩnh vực công nghệ quan trọng mà NIST tham gia và mở rộng, bao gồm trí tuệ nhân tạo (AI), khoa học lượng tử, truyền thông tiên tiến, sản xuất tiên tiến và kinh tế sinh học. Hooker kết luận bằng cách giới thiệu các lĩnh vực tương tác đã được thiết lập và các phương pháp cộng tác với NIST, bao gồm các cuộc họp nhóm làm việc, tập đoàn, CRADA và MTA, cũng là trọng tâm của báo cáo này.

Hai bài phát biểu quan trọng này đã thể hiện sự gắn kết và tham gia giữa các thành viên nhóm công tác và lãnh đạo NIST.

Công nghệ EUVL (In thạch bản cực tím)

Phần giới thiệu chi tiết đã được cung cấp về các khía cạnh kỹ thuật của EUVL được đề xuất và thảo luận tại cuộc họp nhóm làm việc. Sau đây là ba phần cụ thể (2.1-2.3) dành riêng cho việc thảo luận về mô-đun nguồn EUV. Sau đó, hiện trạng và yêu cầu của các bộ phận tương tác với ánh sáng EUV sẽ được thảo luận (2.4). Cả hai thành phần này đều tương tác với ánh sáng EUV. Cuối cùng, việc sử dụng ánh sáng EUV làm công cụ đo lường để phân tích các thành phần trong quy trình sản xuất chất bán dẫn được giới thiệu (2.5). Khía cạnh đo lường của ánh sáng EUV như một công cụ có liên quan trực tiếp đến các phép đo bức xạ được thảo luận trong Phần Sec. Các chi tiết kỹ thuật được thảo luận ở đây đã được phát hành công khai. Tuy nhiên, việc kết hợp chuyên môn kỹ thuật và tình trạng nghiên cứu công nghiệp và NIST trong một báo cáo sẽ hữu ích để hiểu được bối cảnh công nghệ. Các tài liệu tham khảo đánh giá đã được đưa vào để bổ sung cho các chi tiết kỹ thuật được cung cấp trong báo cáo này.

Còn tiếp...