华海青科的14nm机器正在进行验证。6月17日，新西东西报道，华海青科股份有限公司（以下简称“华海青科”）今日通过了上海证券交易所科技创新板会议。从会议草案可以看出，华海青科的主营业务是CMP（化学机械抛光）设备，是目前国内唯一一家能够提供12英寸商用半导体CMP设备的厂商。CMP设备是先进集成电路制造前端工艺、先进封装等环节的关键工艺技术。如果把芯片制造比作盖房子，那么每一层都必须非常平整才能盖上下一层，否则就会出现不平整，影响芯片的整体性能。让芯片“盖”得平整的关键在于CMP技术，这也是晶体管工艺达到纳米级的关键。华海青科的产品可以覆盖8英寸（200毫米）和12英寸（300毫米）晶圆生产线。它们是半导体供应链中国内替代的重要组成部分，已被中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔等厂商的芯片生产线广泛采用。此次IPO，华海青科计划募集10亿元人民币，其中CMP设备产业化项目将投资3.5亿元人民币，高端半导体设备研发项目计划投资2亿元人民币，晶圆再生扩建升级项目将投资1.5亿元人民币，剩余3亿元人民币将用于补充华海青科的流动资金。报告期内，华海青科营收快速增长，2017年营收达19.18万元人民币，2020年营收达386亿元人民币。目前，清华大学是华海青科的实际控制人，持有37.58%的股份。董事长为清华大学教授、博士生导师卢新春。清华大学也在会议草案中承诺，作为行政机构，不会直接从事商业活动。

▲华海青科股权结构

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  01 .   单年营收达到386亿，净利润扭亏为盈。  

会议草案显示，2018年至2020年，华海青科的营业收入增长超过100亿元人民币，2020年的净利润也接近100亿元人民币。华海青科2018年至2020年的总营业收入分别为35.66万元人民币、211亿元人民币和386亿元人民币。净利润方面，华海青科2018年至2020年的总净利润分别为-35.71万元人民币、-154亿元人民币和98万元人民币。

▲华海青科2018年至2020年营收及净利润变化

根据华海青科官网信息，该公司成立于2013年4月10日；2016年3月，华海青科首台12英寸CMP设备Universal-300通过中芯国际验收。会议纪要显示，华海青科在12英寸CMP设备的基础上，于2017年完成了8英寸CMP设备Universal-200的研发，并于同年交付客户验收。2020年，华海青科成功研发出12英寸减薄设备Versatile-GP300。目前，华海青科的设备主要分为300系列和200系列两大类，其中300系列设备主要用于12英寸芯片生产线，200系列设备主要用于8英寸芯片生产线。据统计，300系列设备是华海青科的主力产品。 2020年，300系列设备的销售额占总收入的88.91%，200系列设备占2.64%，材料和技术服务占8.45%；2018年至2020年，300系列设备的销售额分别占华海青科收入的89.01%、92.39%和88.91%。

▲华海青科2020年业务收入份额

  02 .   Appliance Materials 和 Ebara 打破了 12 英寸 CMP 设备的垄断地位  

从全球CMP设备市场来看，美国应用材料公司（Applied Materials）和日本荏原公司（Ebara）是行业领先企业。据美国市场研究公司Gartner的数据显示，2020年全球CMP设备市场规模将达到1.63亿美元，其中应用材料公司和日本荏原公司占据约90%的市场份额。国内CMP设备制造商方面，有华海青科、北京硕科精威电子设备有限公司、中国电子科技集团公司第四十五研究所等。目前，华海青科是唯一一家实现12英寸系列CMP设备量产销售的制造商。在国内市场，华海青科已开始挑战美国应用材料公司和日本荏原公司的市场份额。根据中国国际招标网的数据，2019年，长江存储、华虹无锡、上海华力一期、二期工程以及上海吉塔共招标38台CMP设备，华海青科中标8台，占比21.05%；2000年45月至202月，上述项目及公司共招标68台CMP设备，华海青科中标28台，占比41.18%；剩余12英寸CMP设备订单分别由美国应用材料公司和日本荏原公司获得。客户方面，由于半导体行业技术密集、资本密集，华海青科的客户相对集中。2018年、2019年和2020年，华海青科前五大客户的占比分别为99.09%、94.96%和85.71%。具体而言，自2017年以来，中芯国际一直是华海青科的前五大客户，而自2018年以来，华虹集团一直是其前五大客户。2020年，扬子存储的销售额达128亿元人民币，占华海青科同期营收的33.22%。华虹集团、中芯国际、瑞利集成电路股份有限公司和浙江驰拓科技有限公司是华海青科的其余五大客户。

▲2018年至2020年华海青科前五大客户

其中，长江存储、华虹集团和华海青科存在关联。长江存储是清华控股旗下的另一家公司；华海青科总经理张国明同时担任华虹集团的外部董事。在原材料和设备采购方面，北京金通昌精密机械设备有限公司一直是华海青科最大的零部件供应商。2020年1月至6月，华海青科从该公司采购金额为41.6267万元，占总采购额的18.29%。

▲2018年至2020年华海青科五大供应商

  03 .   三年内投资135亿，董事长是CMP设备领域的全球顶尖专家。  

华海青科之所以受到中芯国际、华虹集团、长江存储、大连英特尔等半导体厂商的青睐，很大程度上归功于其相对领先的国内技术实力。华海青科的核心技术人员包括董事长兼首席科学家卢新春、副总经理王同庆等8人，以及125名研发人员，占公司员工总数的32.98%。卢新春是华海青科的首席科学家，也是公司技术和产品研发的领军人物。他拥有100余项国家发明专利授权，曾牵头起草公司产品标准。截至2020年12月31日，卢新春已发表86篇CMP相关SCI论文，平均每篇论文被引用10次以上。他是全球CMP设备领域顶尖的技术专家之一，也是全球CMP设备技术授权专利数量最多的专家。

▲华海青科董事长兼首席科学家卢新春

过去三年，公司研发投入累计达135亿元人民币，占同期营收的21.33%。凭借如此强劲的研发投入，华海青科已累计获得173项授权专利。根据会议草案，华海青科拥有纳米级抛光、纳米级薄膜厚度在线检测、纳米颗粒超净清洗、大数据分析与智能控制、超精密减薄等多项核心技术。

▲华海青科产品关键技术及水平评价

此外，华海青科还承担了国家科技02重大项目“28-14nm抛光设备、工艺及配套材料的产业化”。其“CMP抛光系统研发及整机系统集成”项目于2020年6月成功获批，相关科技成果已实现产业化。目前，华海青科已具备在客户方验证14nm生产线的设备，有望很快实现国内28-14nm CMP设备的替换。  
  04 .   清华大学是实际控制方。  

根据会议草案，清华大学是华海青科的实际控制人，持有公司37.58%的股份；崇金厚德是第二大股东，持有公司10.24%的股份；董事长卢新春是第三大股东，持有公司7.93%的股份。其他持股超过5%的股东包括科海投资和国投基金，分别持有公司7.43%和6.35%的股份。

▲华海青科十大股东

  05 .   结论：华海青科上市或将加速技术进步，但仍需面对激烈的竞争。  

随着全球半导体短缺问题日益严峻，欧美等国家已将半导体供应链视为国家安全的重要组成部分。随着美国《半导体激励法案》的逐步推进，半导体也成为各国竞争的重要领域。

在此背景下，保障我国半导体供应链的安全和可控性具有重要意义。华海青科拥有12英寸CMP设备的自主知识产权。如果上市成功，其研发资金将更加充裕，或将加速其技术发展。另一方面，美国应用材料公司和日本荏原公司的CMP设备已达到5nm工艺水平，技术领先于华海青科。在半导体市场逐步整合的背景下，即便华海青科成功上市，仍将面临更大的竞争压力。未来能否打破巨头垄断，仍有待观察。

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