華海青科的14nm機器正在進行驗證。6月17日，新西東西報道，華海青科股份有限公司（以下簡稱「華海青科」）今日通過了上海證券交易所科技創新板會議。從會議草案可以看出，華海青科的主要業務是CMP（化學機械拋光）設備，是目前國內唯一能夠提供12吋商用半導體CMP設備的廠商。 CMP設備是先進積體電路製造前端製程、先進封裝等環節的關鍵製程技術。如果把晶片製造比喻為蓋房子，那麼每一層都必須非常平整才能蓋上一層，否則就會出現不平整，影響晶片的整體性能。讓晶片「蓋」得平整的關鍵在於CMP技術，這也是電晶體製程達到奈米級的關鍵。華海青科的產品可以覆蓋8吋（200毫米）和12吋（300毫米）晶圓生產線。它們是半導體供應鏈中國內替代的重要組成部分，已被中芯國際、長江儲存、華虹集團、英特爾等廠商的晶片生產線廣泛採用。此次IPO，華海青科計畫募集10億元人民幣，其中CMP設備產業化計畫將投資3.5億元人民幣，高端半導體設備研發計畫投資2億元人民幣，晶圓再生擴建升級計畫將投資1.5億元人民幣，剩餘3億元人民幣將用於補充華海青科的流動資金。報告期內，華海青科營收快速成長，2017年營收達19.18萬元人民幣，2020年營收達386億元。目前，清華大學是華海青科的實際控制人，持有37.58%的股份。董事長為清華大學教授、博士生指導教授盧新春。清華大學也在會議草案中承諾，作為行政機構，不會直接從事商業活動。

▲華海青科股權結構

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  01 .   單年營收達386億，淨利轉虧為盈。  

會議草案顯示，2018年至2020年，華海青科的營業收入成長超過100億元人民幣，2020年的淨利也接近100億元。華海青科2018年至2020年的總營業收入分別為35.66萬元人民幣、211億元和386億元。淨利方面，華海青科2018年至2020年的總淨利分別為-35.71萬元人民幣、-154億元和98萬元。

▲華海青科2018年至2020年營收及淨利變化

根據華海青科官網訊息，該公司成立於2013年4月10日；2016年3月，華海青科首台12吋CMP設備Universal-300通過中芯國際驗收。會議紀錄顯示，華海青科在12吋CMP設備的基礎上，於2017年完成了8吋CMP設備Universal-200的研發，並於同年交付客戶驗收。 2020年，華海青科成功研發出12吋減薄設備Versatile-GP300。目前，華海青科的設備主要分為300系列及200系列兩大類，其中300系列設備主要用於12吋晶片生產線，200系列設備主要用於8吋晶片生產線。根據統計，300系列設備是華海青科的主力產品。 2020年，300系列設備的銷售額佔總收入的88.91%，200系列設備佔2.64%，材料和技術服務佔8.45%；2018年至2020年，300系列設備的銷售額分別佔華海青科收入的89.01%、92.39%和88.91%。

▲華海青科2020年業務收入份額

  02 .   Appliance Materials 和 Ebara 打破了 12 吋 CMP 設備的壟斷地位  

從全球CMP設備市場來看，美國應用材料公司（Applied Materials）和日本荏原公司（Ebara）是業界領導者。根據美國市場研究公司Gartner的數據顯示，2020年全球CMP設備市場規模將達1.63億美元，其中應用材料公司和日本荏原公司佔約90%的市場份額。國內CMP設備製造商方面，有華海青科、北京碩科精威電子設備有限公司、中國電子科技集團公司第四十五研究所等。目前，華海青科是唯一實現12吋系列CMP設備量產銷售的製造商。在國內市場，華海青科已開始挑戰美國應用材料公司和日本荏原公司的市佔率。根據中國國際招標網的數據，2019年，長江儲存、華虹無錫、上海華力第一期、二期工程以及上海吉塔共招標38台CMP設備，華海青科中標8台，佔21.05%；200 0年1月至9月，上述項目及公司共招標68台CMP設備，華海青科得標28台，佔41.18%；剩餘12吋CMP設備訂單分別由美國應用材料公司及日本荏原公司取得。客戶方面，由於半導體產業技術密集、資本密集，華海青科的客戶相對集中。 2018年、2019年及2020年，華海青科前五大客戶的佔比分別為99.09%、94.96%及85.71%。具體而言，自2017年以來，中芯國際一直是華海青科的前五大客戶，而自2018年以來，華虹集團一直是其前五名客戶。 2020年，揚子儲存的銷售額達128億元人民幣，佔華海青科同期營收的33.22%。華虹集團、中芯國際、瑞利積體電路股份有限公司和浙江馳拓科技有限公司是華海青科的其餘五大客戶。

▲2018年至2020年華海青科前五大客戶

其中，長江儲存、華虹集團和華海青科存在關聯。長江儲存是清華控股旗下的另一家公司；華海青科總經理張國明同時擔任華虹集團的外部董事。在原料和設備採購方面，北京金通昌精密機械設備有限公司一直是華海青科最大的零件供應商。 2020年1月至6月，華海青科從該公司採購金額為41.6267萬元，佔總採購額的18.29%。

▲2018年至2020年華海青科五大供應商

  03 .   三年內投資135億，董事長是CMP設備領域的全球頂尖專家。  

華海青科之所以受到中芯國際、華虹集團、長江存儲、大連英特爾等半導體廠商的青睞，很大程度上歸功於其相對領先的國內技術實力。華海青科的核心技術人員包括董事長兼首席科學家盧新春、副總經理王同慶等8人，以及125名研發人員，占公司員工總數的32.98%。盧新春是華海青科的首席科學家，也是公司技術和產品研發的領導者。他擁有100餘項國家發明專利授權，曾主導起草公司產品標準。截至2020年12月31日，盧新春已發表86篇CMP相關SCI論文，平均每篇論文被引用10次以上。他是全球CMP設備領域頂尖的技術專家之一，也是全球CMP設備技術授權專利數量最多的專家。

▲華海青科董事長暨首席科學家盧新春

過去三年，公司研發投入累計達135億元人民幣，占同期營收的21.33%。憑藉如此強勁的研發投入，華海青科已累計獲得173項授權專利。根據會議草案，華海青科擁有奈米級拋光、奈米級薄膜厚度線上檢測、奈米顆粒超淨清洗、大數據分析與智慧控制、超精密減薄等多項核心技術。

▲華海青科產品關鍵技術及水平評價

此外，華海青科也承接了國家科技02重大計畫「28-14nm拋光設備、製程及配套材料的產業化」。其「CMP拋光系統研發及整機系統整合」專案於2020年6月成功獲批，相關科技成果已產業化。目前，華海青科已具備在客戶方驗證14nm生產線的設備，預計很快就會實現國內28-14nm CMP設備的替換。  
  04 .   清華大學是實際控制方。  

根據會議草案，清華大學是華海青科的實際控制人，持有公司37.58%的股份；崇金厚德是第二大股東，持有公司10.24%的股份；董事長盧新春是第三大股東，持有公司7.93%的股份。其他持股超過5%的股東包括科海投資和國投基金，分別持有公司7.43%和6.35%的股份。

▲華海青科十大股東

  05 .   結論：華海青科上市或將加速技術進步，但仍需面對激烈的競爭。  

隨著全球半導體短缺問題日益嚴峻，歐美等國家已將半導體供應鏈視為國家安全的重要組成部分。隨著美國《半導體激勵法案》的逐步推進，半導體也成為各國競爭的重要領域。

在此背景下，保障我國半導體供應鏈的安全與可控制性具有重要意義。華海青科擁有12吋CMP設備的自主智慧財產權。如果上市成功，其研發資金將更充裕，或將加速其技術發展。另一方面，美國應用材料公司和日本荏原公司的CMP設備已達到5nm製程水平，技術領先華海青科。在半導體市場逐步整合的背景下，即便華海青科成功上市，仍將面臨更大的競爭壓力。未來能否打破巨頭壟斷，仍有待觀察。

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