Die 14-nm-Maschine von Huahai Qingke wird derzeit verifiziert.Xinxi Dongxi berichtete am 17. Juni, dass Huahai Qingke Co., Ltd. (im Folgenden „Huahai Qingke“) heute die Sitzung des Innovationsbeirats für Wissenschaft und Technologie der Shanghaier Börse erfolgreich absolviert hat. Dem Protokoll der Sitzung zufolge ist Huahai Qingkes Hauptgeschäft die Herstellung von CMP-Anlagen (Chemical Mechanical Polishing). Das Unternehmen ist derzeit der einzige chinesische Hersteller, der kommerzielle 12-Zoll-CMP-Anlagen für Halbleiter anbietet. CMP-Anlagen sind eine Schlüsseltechnologie für die fortschrittlichen Fertigungsprozesse integrierter Schaltungen, insbesondere für die Gehäusefertigung. Vergleicht man die Chipherstellung mit dem Bau eines Hauses, so muss jede Etage absolut eben sein, bevor die nächste daraufgesetzt werden kann. Andernfalls entstehen Unebenheiten, die die Gesamtleistung des Chips beeinträchtigen. Die CMP-Technologie ist der Schlüssel zur Ebenheit der Chip-„Bauweise“ und gleichzeitig der Schlüssel zur Nanometer-Fertigung von Transistoren. Huahai Qingke bietet Produkte für 8-Zoll- (200 mm) und 12-Zoll- (300 mm) Wafer-Produktionslinien an. Sie sind ein wichtiger Bestandteil der inländischen Substitution in der Halbleiter-Lieferkette. Sie werden in den Chip-Produktionslinien von SMIC, Yangtze Memory, der Huahong Group, Intel und anderen Herstellern eingesetzt. Mit diesem Börsengang plant Huahai Qingke, 1 Milliarde Yuan einzunehmen. Davon sind 350 Millionen Yuan für das Projekt zur Industrialisierung von CMP-Anlagen, 200 Millionen Yuan für das Forschungs- und Entwicklungsprojekt für High-End-Halbleiteranlagen, 150 Millionen Yuan für die Erweiterung und Modernisierung der Wafer-Regeneration und die verbleibenden 300 Millionen Yuan zur Stärkung der Liquidität von Huahai Qingke vorgesehen. Im Berichtszeitraum wuchs der Umsatz von Huahai Qingke rasant: von 19.18 Millionen Yuan im Jahr 2017 auf 386 Millionen Yuan im Jahr 2020. Die Tsinghua-Universität ist derzeit mit 37.58 % der Anteile der faktische Eigentümer von Huahai Qingke. Den Vorsitz führt Lu Xinchun, Professor und Doktorvater an der Tsinghua-Universität. Die Tsinghua-Universität verpflichtete sich im Sitzungsentwurf außerdem dazu, als Verwaltungseinrichtung keine direkten Geschäftsaktivitäten auszuüben.

▲Huahai Qingke Eigenkapitalstruktur

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  01 .   Der Jahresumsatz erreichte 386 Millionen, und der Nettogewinn wandelte den Verlust in einen Gewinn um.  

Dem Sitzungsentwurf zufolge stieg der Umsatz von Huahai Qingke zwischen 2018 und 2020 um mehr als 100 Millionen Yuan, und der Nettogewinn lag 2020 ebenfalls bei nahezu 100 Millionen Yuan. Der Gesamtumsatz von Huahai Qingke betrug in den Jahren 2018 bis 2020 35.66 Millionen Yuan, 211 Millionen Yuan bzw. 386 Millionen Yuan. Der Nettogewinn von Huahai Qingke belief sich in den Jahren 2018 bis 2020 auf -35.71 Millionen Yuan, -154 Millionen Yuan bzw. 98 Millionen Yuan.

▲Changes in Huahai Qingke’s revenue and net profit from 2018 to 2020

Laut der offiziellen Website von Huahai Qingke wurde das Unternehmen am 10. April 2013 gegründet. Im März 2016 erhielt die erste 12-Zoll-CMP-Anlage von Huahai Qingke, die Universal-300, die Abnahme durch SMIC. Dem Protokoll zufolge entwickelte Huahai Qingke 2017 auf Basis der 12-Zoll-Anlage die 8-Zoll-CMP-Anlage Universal-200. Noch im selben Jahr wurde dieses Modell an einen Kunden ausgeliefert und erfolgreich abgenommen. 2020 entwickelte Huahai Qingke erfolgreich die 12-Zoll-Dünnschichtanlage Versatile-GP300. Aktuell gliedert sich das Anlagenportfolio von Huahai Qingke hauptsächlich in die Serien 300 und 200. Die Anlagen der Serie 300 werden vorwiegend in 12-Zoll-Chipfertigungslinien eingesetzt, die der Serie 200 in 8-Zoll-Produktionslinien. Laut Statistik ist die 300er-Serie das Hauptprodukt von Huahai Qingke. Im Jahr 2020 entfielen 88.91 % des Gesamtumsatzes auf die 300er-Serie, 2.64 % auf die 200er-Serie und 8.45 % auf Material und technische Dienstleistungen. Von 2018 bis 2020 betrugen die Umsatzanteile der 300er-Serie am Gesamtumsatz von Huahai Qingke 89.01 %, 92.39 % bzw. 88.91 %.

▲Huahai Qingkes Umsatzanteil im Jahr 2020

  02 .   Durchbruch des Monopols von Appliance Materials und Ebara bei 12-Zoll-CMP-Anlagen  

Aus Sicht des globalen Marktes für CMP-Anlagen sind Applied Materials (USA) und Ebara (Japan) die führenden Unternehmen der Branche. Laut Daten des US-amerikanischen Marktforschungsunternehmens Gartner wird der globale Markt für CMP-Anlagen im Jahr 2020 ein Volumen von 1.63 Milliarden US-Dollar erreichen, wobei Applied Materials und Ebara zusammen etwa 90 % des Marktanteils ausmachen. Zu den chinesischen Herstellern von CMP-Anlagen zählen unter anderem Huahai Qingke, Beijing Shuoke Jingwei Electronic Equipment Co., Ltd. und das 45. Forschungsinstitut der China Electronics Technology Group Corporation. Huahai Qingke ist derzeit der einzige Hersteller, der CMP-Anlagen der 12-Zoll-Serie in Serie produziert und vertreibt. Auf dem chinesischen Markt hat Huahai Qingke begonnen, die Marktanteile von Applied Materials und Ebara herauszufordern. Laut Daten des China International Tendering Network schrieben Yangtze Storage, Huahong Wuxi, die Projekte Shanghai Huali Phase I und II sowie Shanghai Jita im Jahr 2019 insgesamt 38 CMP-Anlagen aus. Huahai Qingke erhielt den Zuschlag für 8 Anlagen (21.05 %). Von Januar bis September 2000 schrieben die oben genannten Projekte und Unternehmen insgesamt 68 CMP-Anlagen aus. Huahai Qingke erhielt den Zuschlag für 28 Anlagen (41.18 %). Die restlichen Aufträge für 12-Zoll-CMP-Anlagen gingen an Applied Materials (USA) und Ebara (Japan). Aufgrund der Technologie- und Kapitalintensität der Halbleiterindustrie ist der Kundenstamm von Huahai Qingke relativ konzentriert. In den Jahren 2018, 2019 und 2020 entfielen 99.09 %, 94.96 % bzw. 85.71 % des Umsatzes von Huahai Qingke auf die fünf größten Kunden. SMIC zählt seit 2017 zu den fünf größten Kunden, die Huahong Group seit 2018. Yangtze Memory erzielte 2020 einen Umsatz von 128 Millionen Yuan, was 33.22 % des Gesamtumsatzes von Huahai Qingke im selben Zeitraum entsprach. Die übrigen fünf größten Kunden von Huahai Qingke sind die Huahong Group, SMIC, Ruili Integrated Circuit Co., Ltd. und Zhejiang Chituo Technology Co., Ltd.

▲Die fünf wichtigsten Kunden von Huahai Qingke von 2018 bis 2020

Unter ihnen sind Yangtze Storage, die Huahong Group und Huahai Qingke miteinander verbunden. Yangtze Memory ist ein weiteres Unternehmen der Tsinghua Holdings; Zhang Guoming, Geschäftsführer von Huahai Tsingke, ist externer Direktor der Huahong Group. Im Bereich der Rohstoff- und Gerätebeschaffung ist Beijing Jintongchang Precision Machinery Equipment Co., Ltd. seit jeher Huahai Qingkes größter Teilelieferant. Von Januar bis Juni 2020 beliefen sich die Einkäufe von Huahai Qingke bei diesem Unternehmen auf 41.6267 Millionen Yuan, was 18.29 % des gesamten Einkaufsvolumens entspricht.

▲Die fünf wichtigsten Lieferanten von Huahai Qingke von 2018 bis 2020

  03 .   135 million invested in 3 years, the chairman is the world’s top expert in CMP equipment  

Ein wesentlicher Grund für die Beliebtheit von Huahai Qingke bei Halbleiterherstellern wie SMIC, Huahong Group, Yangtze Memory und Dalian Intel liegt in seiner vergleichsweise führenden Technologiekompetenz in China. Zum technischen Kernteam von Huahai Qingke gehören acht Personen, darunter der Vorsitzende und wissenschaftliche Leiter Lu Xinchun, der stellvertretende Geschäftsführer Wang Tongqing sowie insgesamt 125 Mitarbeiter in Forschung und Entwicklung, was 32.98 % der Gesamtbelegschaft entspricht. Lu Xinchun ist wissenschaftlicher Leiter von Huahai Qingke und verantwortet die Technologie- und Produktentwicklung des Unternehmens. Er hält über 100 nationale Patente und war maßgeblich an der Erstellung eines unternehmensweiten Produktstandards beteiligt. Bis zum 31. Dezember 2020 veröffentlichte Lu Xinchun 86 Fachartikel zum Thema CMP in SCI-gelisteten Zeitschriften, die im Durchschnitt jeweils über zehnmal zitiert wurden. Er zählt zu den drei führenden technischen Experten auf dem Gebiet der CMP-Anlagen weltweit und ist zudem der Experte mit den meisten erteilten Patenten für CMP-Anlagentechnologie weltweit.

▲Lu Xinchun, Vorsitzender und wissenschaftlicher Leiter von Huahai Qingke

In den vergangenen drei Jahren beliefen sich die Investitionen des Unternehmens in Forschung und Entwicklung auf insgesamt 135 Millionen Yuan, was 21.33 % des Umsatzes im gleichen Zeitraum entsprach. Dank dieser Investitionen in Forschung und Entwicklung hat Huahai Qingke 173 Patente angemeldet. Laut dem Sitzungsentwurf verfügt Huahai Qingke über zahlreiche Schlüsseltechnologien, darunter Nanopolierverfahren, Online-Schichtdickenmessung mit Nanopräzision, Ultra-Reinigung mit Nanopartikeln, Big-Data-Analyse und intelligente Steuerung sowie Ultrapräzisions-Dünnschichtverfahren.

▲Bewertung der Schlüsseltechnologien und des Niveaus der Huahai Qingke-Produkte

Darüber hinaus übernahm Huahai Qingke das nationale Wissenschafts- und Technologie-Großprojekt 02 „Industrialisierung von 28-14-nm-Polieranlagen, -prozessen und -materialien“. Das Projekt „Forschung und Entwicklung von CMP-Poliersystemen und Integration von Gesamtmaschinensystemen“ wurde im Juni 2020 erfolgreich bewilligt, und die entsprechenden wissenschaftlichen und technologischen Ergebnisse wurden bereits industrialisiert. Huahai Qingke verfügt derzeit über die Anlagen, um die 14-nm-Produktionslinie beim Kunden zu verifizieren und könnte die 28-14-nm-CMP-Anlagen in China schon bald vollständig ersetzen.  
  04 .   Die Tsinghua-Universität ist der eigentliche Kontrolleur.  

According to the meeting draft, Tsinghua University is the actual controller of Huahai Qingke, holding 37.58% of the company's shares; Chongjin Houde is the second largest shareholder, owning 10.24% of the company's shares; Chairman Lu Xinchun is the third largest shareholder, holding 7.93% of the company's shares. Other shareholders holding more than 5% of Huahai Qingke include Kehai Investment and SDIC Fund, which hold 7.43% and 6.35% of the company's shares respectively.

▲Die 10 größten Aktionäre von Huahai Qingke

  05 .   Fazit: Der Börsengang von Huahai Qingke mag den technologischen Fortschritt beschleunigen, doch das Unternehmen muss sich weiterhin einem harten Wettbewerb stellen.  

Angesichts des zunehmend gravierenden globalen Halbleitermangels betrachten Länder wie Europa und die USA die Halbleiterlieferkette als wichtigen Bestandteil ihrer nationalen Sicherheit. Mit dem schrittweisen Inkrafttreten des US-amerikanischen Halbleiterfördergesetzes (Semiconductor Incentive Act) sind Halbleiter auch zu einem zentralen Feld des nationalen Wettbewerbs geworden.

Vor diesem Hintergrund ist die Gewährleistung der Sicherheit und Kontrollierbarkeit der Halbleiterlieferkette meines Landes von großer Bedeutung. Huahai Qingke besitzt die unabhängigen Schutzrechte an 12-Zoll-CMP-Anlagen. Ein erfolgreicher Börsengang würde die Forschungs- und Entwicklungsfinanzierung deutlich erhöhen und die technologische Entwicklung beschleunigen. Andererseits haben die CMP-Anlagen von Applied Materials (USA) und Ebara (Japan) bereits die 5-nm-Prozesstechnologie erreicht und sind damit Huahai Qingke technologisch voraus. Selbst nach einem erfolgreichen Börsengang wird Huahai Qingke im sich zunehmend konsolidierenden Halbleitermarkt einem erhöhten Wettbewerbsdruck ausgesetzt sein. Ob das Unternehmen künftig die Monopolstellung der Branchenriesen brechen kann, bleibt abzuwarten.

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