화하이칭커의 14nm 장비가 검증 과정을 거치고 있습니다.신시둥시(Xinxi Dongxi)는 6월 17일, 화하이칭커(Huahai Qingke Co., Ltd., 이하 "화하이칭커")가 상하이 증권거래소 과학기술혁신위원회 회의에 통과했다고 보도했습니다. 회의록에 따르면 화하이칭커의 주력 사업은 CMP(화학기계연마) 장비이며, 현재 반도체용 12인치 CMP 상용 모델을 공급할 수 있는 국내 유일의 제조업체입니다. CMP 장비는 첨단 집적회로 제조의 전처리 공정, 첨단 패키징 등 핵심 공정에 필수적인 핵심 기술입니다. 칩 제조를 집을 짓는 것에 비유하자면, 각 층이 매우 평평해야 그 위에 다음 층을 지을 수 있습니다. 그렇지 않으면 표면이 고르지 않아 칩의 전체적인 성능에 영향을 미칩니다. 칩 "건물"을 평평하게 만드는 핵심이 바로 CMP 기술이며, 이는 트랜지스터 공정이 나노미터 수준에 도달하는 데에도 핵심적인 역할을 합니다. 화하이칭커의 제품은 8인치(200mm) 및 12인치(300mm) 웨이퍼 생산 라인을 모두 지원합니다. 화하이칭커(Huahai Qingke)의 웨이퍼는 반도체 공급망에서 국내 대체재로서 중요한 역할을 담당하고 있습니다. SMIC, 양쯔 메모리, 화홍그룹, 인텔 등 여러 제조업체의 칩 생산 라인에 사용되고 있습니다. 이번 기업공개(IPO)를 통해 화하이칭커는 10억 위안을 조달할 계획이며, 이 중 3억 5천만 위안은 CMP 장비 산업화 프로젝트에, 2억 위안은 고성능 반도체 장비 연구 개발 프로젝트에, 1억 5천만 위안은 웨이퍼 재생 설비 확장 및 업그레이드 프로젝트에 투자하고, 나머지 3억 위안은 유동성 확보에 사용할 예정입니다. 화하이칭커는 보고 기간 동안 매출이 빠르게 성장하여 2017년 19.18만 위안에서 2020년 3억 8,600만 위안으로 증가했습니다. 현재 칭화대학교가 화하이칭커의 실질적인 지배주주로서 37.58%의 지분을 보유하고 있습니다. 의장은 칭화대학교 교수이자 박사 지도교수인 루신춘입니다. 칭화대학교는 회의록 초안에서 행정기관으로서 사업 활동에 직접 관여하지 않겠다고 약속했습니다.

▲화하이칭커 지분 구조

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  01 .   연간 매출액은 3억 8,600만 위안에 달했으며, 순이익은 손실을 흑자로 전환했습니다.  

회의록에 따르면, 화하이칭커의 2018년부터 2020년까지 매출은 1억 위안 이상 증가했으며, 2020년 순이익 또한 1억 위안에 근접했습니다. 화하이칭커의 2018년부터 2020년까지 총 매출은 각각 35.66만 위안, 2억 1,100만 위안, 3억 8,600만 위안이었습니다. 순이익의 경우, 2018년부터 2020년까지 순손실은 -35.71만 위안, 순손실은 -1억 5,400만 위안, 순이익은 9,800만 위안이었습니다.

▲화하이칭커의 2018년부터 2020년까지 매출 및 순이익 변화

화하이칭커(Huahai Qingke) 공식 웹사이트에 따르면, 이 회사는 2013년 4월 10일에 설립되었습니다. 2016년 3월, 화하이칭커의 첫 번째 12인치 CMP 장비인 유니버설-300(Universal-300)이 SMIC의 승인을 받았습니다. 회의록에 따르면, 화하이칭커는 12인치 CMP 장비를 기반으로 2017년에 8인치 CMP 장비인 유니버설-200(Universal-200) 개발을 완료했으며, 같은 해에 이 장비가 고객에게 인도되어 승인을 받았습니다. 2020년에는 12인치 박막화 장비인 버사타일-GP300(Versatile-GP300) 개발에 성공했습니다. 현재 화하이칭커의 장비는 크게 300 시리즈와 200 시리즈로 나뉘는데, 300 시리즈는 주로 12인치 칩 생산 라인에 사용되고, 200 시리즈는 8인치 생산 라인에 사용됩니다. 통계적으로 300 시리즈 장비가 화하이칭커의 주력 제품입니다. 2020년에는 300 시리즈 장비의 매출액이 전체 매출의 88.91%를 차지했으며, 200 시리즈는 2.64%를 차지했습니다. 자재 및 기술 서비스는 8.45%를 차지했습니다. 2018년부터 2020년까지 화하이칭커의 매출에서 300 시리즈 장비가 차지하는 비중은 각각 89.01%, 92.39%, 88.91%였습니다.

▲2020년 화하이칭커의 사업 매출 점유율

  02 .   어플라이언스 머티리얼즈와 에바라가 12인치 CMP 장비 시장을 독점하고 있는 상황을 타파합니다.  

글로벌 CMP 장비 시장에서 미국의 Applied Materials와 일본의 Ebara는 업계를 선도하는 기업입니다. 미국 시장조사기관 가트너의 자료에 따르면, 글로벌 CMP 장비 시장 규모는 2020년에 16억 3천만 달러에 달할 것으로 예상되며, Applied Materials와 Ebara가 시장 점유율의 약 90%를 차지하고 있습니다. 국내 CMP 장비 제조업체로는 Huahai Qingke, Beijing Shuoke Jingwei Electronic Equipment Co., Ltd., China Electronics Technology Group Corporation 45th Research Institute 등이 있습니다. 현재 Huahai Qingke는 12인치 시리즈 CMP 장비의 양산 및 판매를 성공적으로 진행하고 있는 유일한 제조업체입니다. Huahai Qingke는 국내 시장에서 미국의 Applied Materials와 일본의 Ebara의 시장 점유율에 도전장을 내밀고 있습니다. 중국 국제 입찰 네트워크 자료에 따르면, 양쯔 스토리지, 화홍 우시, 상하이 화리 1, 2단계 프로젝트, 상하이 지타는 2019년에 총 38대의 CMP 장비 입찰에 참여했으며, 화하이 칭커는 8대를 수주하여 21.05%를 차지했습니다. 2000년 1월부터 9월까지는 앞서 언급한 프로젝트 및 기업들이 총 68대의 CMP 장비 입찰에 참여했으며, 화하이 칭커는 28대를 수주하여 41.18%를 차지했습니다. 나머지 12인치 CMP 장비는 미국의 어플라이드 머티리얼즈와 일본의 에바라가 수주했습니다. 반도체 산업의 기술 집약적이고 자본 집약적인 특성상, 화하이 칭커의 고객층은 비교적 집중되어 있습니다. 2018년, 2019년, 2020년 화하이칭커의 상위 5개 고객사가 각각 전체 매출의 99.09%, 94.96%, 85.71%를 차지했습니다. 특히 SMIC는 2017년부터, 화홍그룹은 2018년부터 꾸준히 화하이칭커의 상위 5개 고객사로 자리매김해 왔습니다. 2020년 양쯔메모리의 매출은 1억 2,800만 위안으로, 같은 기간 화하이칭커 전체 매출의 33.22%를 차지했습니다. 화홍그룹, SMIC, 루이리집적회로, 저장치투오테크놀로지가 화하이칭커의 나머지 상위 5개 고객사로 남아 있습니다.

▲2018년부터 2020년까지 화하이칭커의 주요 고객 5곳

그중 양쯔 스토리지, 화홍 그룹, 화하이 칭커는 서로 관련이 있습니다. 양쯔 메모리는 칭화 홀딩스가 소유한 또 다른 회사이며, 화하이 칭커의 장궈밍 대표는 화홍 그룹의 사외이사로 재직 중입니다. 원자재 및 장비 조달 측면에서 베이징 진통창 정밀기계설비 유한회사는 화하이 칭커의 최대 부품 공급업체입니다. 2020년 1월부터 6월까지 화하이 칭커의 진통창 정밀기계설비 유한회사로부터의 구매액은 4,162만 6,700위안으로 전체 구매액의 18.29%를 차지했습니다.

▲2018년부터 2020년까지 화하이칭커의 5대 공급업체

  03 .   3년간 1억 3500만 달러 투자, 회장은 CMP 장비 분야 세계 최고 전문가  

화하이칭커가 SMIC, 화홍그룹, 양쯔메모리, 다롄인텔 등 반도체 제조업체들로부터 선호되는 주요 이유는 국내 최고 수준의 기술력 덕분입니다. 화하이칭커의 핵심 기술 인력은 루신춘 회장 겸 수석과학자, 왕퉁칭 부사장을 포함한 8명과 총 125명의 연구개발 인력으로 구성되어 있으며, 이는 회사 전체 직원의 32.98%에 해당합니다. 루신춘 회장은 화하이칭커의 수석과학자이자 기술 및 제품 연구 개발을 이끄는 리더입니다. 그는 100건 이상의 국가 발명 특허를 보유하고 있으며, 회사 제품 표준 제정에 주도적인 역할을 하기도 했습니다. 2020년 12월 31일 기준, 루신춘 회장은 CMP 관련 SCI 논문을 86편 발표했으며, 각 논문의 평균 인용 횟수는 10회 이상입니다. 그는 CMP 장비 분야에서 세계 3대 기술 전문가 중 한 명으로 꼽히며, CMP 장비 기술 관련 특허를 가장 많이 보유한 전문가이기도 합니다.

▲루신춘, 화하이칭커 회장 겸 수석과학자

지난 3년간 화하이칭커의 연구개발 투자액은 총 1억 3,500만 위안에 달했으며, 이는 같은 기간 매출의 21.33%를 차지합니다. 이러한 연구개발 투자를 통해 화하이칭커는 173건의 특허를 획득했습니다. 회의록에 따르면, 화하이칭커는 나노 수준 연마, 나노 정밀 박막 두께 온라인 측정, 나노 입자 초청정 세척, 빅데이터 분석 및 지능형 제어, 초정밀 박막화 등 다수의 핵심 기술을 보유하고 있습니다.

▲화하이칭커 제품의 핵심 기술 및 수준 평가

또한, 화하이칭커는 국가 과학기술 02 중대 프로젝트인 "28~14nm 연마 장비, 공정 및 지원 재료의 산업화"를 수행했습니다. "CMP 연마 시스템 연구 개발 및 전체 기계 시스템 통합" 프로젝트는 2020년 6월에 성공적으로 선정되었으며, 관련 과학 기술적 성과는 이미 산업화되었습니다. 현재 화하이칭커는 고객 측에서 14nm 생산 라인 검증을 위한 장비를 보유하고 있으며, 조만간 국내 28~14nm CMP 장비의 대체에 기여할 수 있을 것으로 예상됩니다.  
  04 .   칭화대학교가 실질적인 통제자입니다.  

회의록에 따르면, 칭화대학교가 화하이칭커의 실질적인 지배주주로서 회사 지분의 37.58%를 보유하고 있으며, 충진허우더가 10.24%로 두 번째로 큰 주주이고, 루신춘 회장이 7.93%로 세 번째로 큰 주주입니다. 화하이칭커의 지분 5% 이상을 보유한 다른 주주로는 커하이투자와 SDIC펀드가 각각 7.43%와 6.35%를 보유하고 있습니다.

▲화하이칭커의 10대 주주

  05 .   결론: 화하이칭커의 상장은 기술 발전을 가속화할 수 있지만, 여전히 치열한 경쟁에 직면해야 한다.  

전 세계적인 반도체 부족 현상이 심화됨에 따라 유럽과 미국을 비롯한 여러 국가들은 반도체 공급망을 국가 안보의 중요한 부분으로 간주해 왔습니다. 특히 미국의 반도체 인센티브 법안이 점차 진전되면서 반도체는 국가 간 경쟁의 주요 분야로 부상했습니다.

이러한 배경에서 우리나라 반도체 공급망의 안전과 통제 가능성을 확보하는 것은 매우 중요합니다. 화하이칭커는 12인치 CMP 장비에 대한 독자적인 지적재산권을 보유하고 있습니다. 만약 이 장비가 성공적으로 상장된다면 연구 개발 자금이 더욱 풍부해져 기술 개발을 가속화할 수 있을 것입니다. 그러나 미국의 어플라이드머티리얼즈와 일본의 에바라는 이미 5nm 공정 수준의 CMP 장비를 보유하고 있어 기술적으로 화하이칭커보다 앞서 있습니다. 점차 통합되는 반도체 시장에서 화하이칭커가 상장에 성공하더라도 더욱 치열한 경쟁에 직면할 것이며, 향후 거대 기업들의 독점을 깨뜨릴 수 있을지는 미지수입니다.

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