華海青科の14nmプロセス装置は検証段階にある。新西東西は6月17日、華海青科有限公司（以下「華海青科」）が上海証券取引所科学技術革新委員会の会議を通過したと報じた。会議草案から、華海青科の主力事業はCMP（化学機械研磨）装置であり、現在、半導体向け12インチCMP商用モデルを提供できる国内唯一のメーカーであることがわかる。CMP装置は、高度な集積回路製造フロントエンドプロセス、高度なパッケージングなどのリンクに必要なキープロセス技術である。チップの製造を家の建設に例えると、次の階を建てる前に各階が非常に平らでなければならない。そうでなければ、不均一になり、チップの全体的な性能に影響を与える。チップを「構築」する鍵はCMP技術であり、これはトランジスタプロセスをナノメートルレベルに到達させる鍵でもある。華海青科の製品は、8インチ（200mm）と12インチ（300mm）のウェハ生産ラインをカバーできる。これらは半導体サプライチェーンにおける国内代替の重要な部分です。これらはSMIC、Yangtze Memory、Huahong Group、Intelなどのメーカーのチップ生産ラインで使用されています。このIPOで、Huahai Qingkeは10億元を調達する予定で、そのうちCMP装置の産業化プロジェクトが3億5000万元、ハイエンド半導体装置の研究開発プロジェクトが2億元を投資して資金を調達する予定で、ウェハ再生拡張アップグレードプロジェクトが1億5000万元を占め、残りの3億元はHuahai Qingkeの流動性を補うことになります。報告期間中、Huahai Qingkeの収益は急速に成長し、2017年の総収益は19.18万元、2020年には3億8600万元に達しました。現在、清華大学がHuahai Qingkeの実質的な支配者であり、株式の37.58%を保有しています。議長は清華大学の教授で博士課程指導教員でもある盧新春氏。清華大学は会議草案の中で、行政機関として直接的な営利活動には関与しないことを約束した。

▲華海青科の株式構成

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  01 .   単年度の売上高は3億8600万ドルに達し、純利益は赤字から黒字に転換した。  

会議の草案によると、2018年から2020年にかけて、華海青科の売上高は1億元以上増加し、2020年の純利益も1億元近くに達しました。華海青科の2018年から2020年までの総売上高は、それぞれ35.66万元、2億1100万元、3億8600万元でした。純利益に関しては、華海青科の2018年から2020年までの純利益は、それぞれ-35.71万元、-1億5400万元、9800万元でした。

▲華海青科の2018年から2020年までの売上高と純利益の推移

華海青科の公式ウェブサイトによると、同社は2013年4月10日に設立され、2016年3月には華海青科初の12インチCMP装置Universal-300がSMICの承認を取得した。会議の草案には、華海青科が2017年に12インチCMP装置をベースに8インチCMP装置Universal-200の開発を完了したことが記載されている。同年、このモデルの装置は顧客に導入され、承認を完了した。2020年、華海青科は12インチ薄化装置Versatile-GP300の開発に成功した。現在、華海青科の装置は主に300シリーズと200シリーズに分かれている。300シリーズの装置は主に12インチチップ生産ラインで使用され、200シリーズの装置は8インチ生産ラインで使用されている。統計によると、華海青科の主力製品は300シリーズ機器です。2020年には、300シリーズ機器の売上高が総売上高の88.91%を占め、200シリーズは2.64%を占めました。材料および技術サービスは8.45%を占めています。2018年から2020年にかけて、300シリーズ機器の売上高は、それぞれ華海青科の売上高の89.01%、92.39%、88.91%を占めました。

▲2020年の華海青科の事業収益シェア

  02 .   アプライアンスマテリアルズと荏原製作所による12インチCMP装置の独占を打破  

世界のCMP装置市場の観点から見ると、米国のアプライドマテリアルズと日本の荏原製作所が業界の主要プレーヤーです。米国の市場調査会社ガートナーのデータによると、世界のCMP装置市場規模は2020年に16億3000万米ドルに達し、アプライドマテリアルズと日本の荏原製作所が市場シェアの約90%を占めています。国内のCMP装置メーカーに関しては、華海青科、北京碩科精威電子設備有限公司、中国電子科技集団公司第45研究所などがあります。現在、華海青科は12インチシリーズCMP装置の量産と販売を実現した唯一の装置メーカーです。国内市場では、華海青科は米国のアプライドマテリアルズと日本の荏原製作所の市場シェアに挑戦し始めています。中国国際入札ネットワークのデータによると、2019年に長江貯蔵、華虹無錫、上海華里第一期・第二期プロジェクト、上海吉塔は合計38台のCMP装置を入札した。華海青科は8台を落札し、全体の21.05%を占めた。2000年1月から9月にかけて、上記のプロジェクトと企業は合計68台のCMP装置を入札した。華海青科は28台を落札し、全体の41.18%を占めた。残りの12インチCMP装置の受注は、米国のアプライドマテリアルズと日本の荏原製作所が獲得した。顧客に関して言えば、半導体産業は技術集約型で資本集約型であるため、華海青科の顧客は比較的集中している。 2018年、2019年、2020年の華海青科の上位5社の顧客は、それぞれ99.09%、94.96%、85.71%を占めました。具体的には、SMICは2017年から、華虹グループは2018年から、華海青科の上位5社の顧客となっています。2020年には、長江メモリの売上高は1億2800万元に達し、同時期の華海青科の売上高の33.22%を占めました。華虹グループ、SMIC、瑞麗集成電路有限公司、浙江赤拓科技有限公司が、華海青科の残りの上位5社の顧客です。

▲2018年から2020年までの華海青科の上位5社の顧客

その中で、Yangtze Storage、Huahong Group、Huahai Qingkeは関連している。Yangtze MemoryはTsinghua Holdingsが支配する別の会社であり、Huahai Tsingkeの総経理である張国明はHuahong Groupの社外取締役を務めている。原材料とデバイスの調達に関しては、北京金通昌精密機械設備有限公司が常にHuahai Qingkeの最大の部品サプライヤーである。2020年1月から6月までのHuahai Qingkeの同社からの購入額は4162万6700元で、総購入額の18.29%を占めている。

▲2018年から2020年までの華海青科の主要サプライヤー上位5社

  03 .   3年間で1億3500万ドルを投資し、会長はCMP装置の世界トップエキスパートである。  

華海青科がSMIC、華虹グループ、揚子江メモリ、大連インテルなどの半導体メーカーから好まれている大きな理由の一つは、国内で比較的トップクラスの技術力を持っていることにある。華海青科の中核技術スタッフは、会長兼チーフサイエンティストの陸新春氏、副総経理の王同慶氏を含む8名と、合計125名の研究開発スタッフで構成され、これは同社の全従業員の32.98%を占める。陸新春氏は華海青科のチーフサイエンティストであり、同社の技術および製品の研究開発のリーダーである。彼は100件以上の国家発明特許を取得しており、かつては企業製品標準の草案作成を主導したこともある。2020年12月31日現在、陸新春氏はCMP関連のSCI論文を86本発表しており、各論文は平均10回以上引用されている。彼はCMP装置分野における世界トップ3の技術専門家の一人であり、CMP装置技術に関する特許取得件数でも世界最多を誇る専門家でもある。

▲華海青科会長兼チーフサイエンティスト、盧新春

過去3年間で、同社の研究開発投資総額は1億3500万元に達し、同期間の売上高の21.33%を占めた。こうした研究開発投資により、華海清科は173件の特許を取得している。会議資料によると、華海清科はナノレベル研磨、ナノ精密膜厚オンライン検出、ナノ粒子超クリーン洗浄、ビッグデータ分析とインテリジェント制御、超精密薄膜化など、多くの重要なコア技術を有している。

▲華海青科製品の主要技術とレベルの評価

さらに、華海清科は国家科学技術02重点プロジェクト「28-14nm研磨装置、プロセス、および関連材料の工業化」にも着手しました。同社の「CMP研磨システムの研究開発および全装置システム統合」プロジェクトは2020年6月に採択され、関連する科学技術成果は工業化されました。現在、華海清科は顧客側で14nm生産ラインを検証する設備を保有しており、間もなく国内における28-14nm CMP装置の置き換えを実現できる可能性があります。  
  04 .   清華大学が実際の管理者です  

会議草案によると、清華大学は華海青科の実質的な支配者であり、同社の株式の37.58%を保有している。重金侯徳は第2位の株主で、同社の株式の10.24%を保有している。盧新春会長は第3位の株主で、同社の株式の7.93%を保有している。華海青科の株式の5%以上を保有するその他の株主には、科海投資とSDIC基金があり、それぞれ同社の株式の7.43%と6.35%を保有している。

▲華海青科の上位10株主

  05 .   結論：華海青科の上場は技術進歩を加速させる可能性があるが、依然として激しい競争に直面する必要がある。  

世界的な半導体不足が深刻化するにつれ、欧米諸国は半導体サプライチェーンを国家安全保障の重要な一部とみなすようになった。米国半導体奨励法の段階的な進展に伴い、半導体は国家間の競争における主要な分野にもなっている。

こうした背景から、我が国の半導体サプライチェーンの安全性と制御性を確保することは極めて重要である。華海青科は12インチCMP装置に関する独自の知的財産権を保有している。もし上場が成功すれば、研究開発資金はより豊富になり、技術開発が加速する可能性がある。一方で、米国のアプライドマテリアルズと日本の荏原製作所のCMP装置はすでに5nmプロセスレベルに達しており、その技術は華海青科を凌駕している。徐々に統合が進む半導体市場において、華海青科が上場に成功したとしても、より大きな競争圧力に直面するだろう。今後、巨大企業の独占を打破できるかどうかは未知数である。

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