La machine 14 nm de Huahai Qingke est en cours de vérification.Le Xinxi Dongxi a rapporté le 17 juin que Huahai Qingke Co., Ltd. (ci-après « Huahai Qingke ») a passé avec succès la réunion du Conseil de l'innovation scientifique et technologique de la Bourse de Shanghai. Il ressort du compte rendu de cette réunion que l'activité principale de Huahai Qingke est la fabrication d'équipements de polissage chimico-mécanique (CMP) et qu'elle est actuellement le seul fabricant chinois à proposer des modèles commerciaux de CMP de 12 pouces pour semi-conducteurs. Le CMP est une technologie de pointe indispensable aux étapes de fabrication avancées des circuits intégrés, notamment le packaging. Si l'on compare la fabrication de puces à la construction d'une maison, chaque étage doit être parfaitement plat avant d'en ajouter un autre. Dans le cas contraire, l'ensemble sera inégal et les performances globales de la puce s'en trouveront affectées. La technologie CMP est essentielle pour obtenir une structure parfaitement plane, et elle est également indispensable pour atteindre l'échelle nanométrique dans la fabrication des transistors. Les produits de Huahai Qingke couvrent les lignes de production de plaquettes de 8 pouces (200 mm) et de 12 pouces (300 mm). Ces équipements constituent un maillon essentiel de la chaîne d'approvisionnement nationale en semi-conducteurs. Ils sont utilisés dans les lignes de production de puces de SMIC, Yangtze Memory, Huahong Group, Intel et d'autres fabricants. Lors de son introduction en bourse, Huahai Qingke prévoit de lever 1 milliard de yuans, dont 350 millions seront alloués au projet d'industrialisation des équipements de polissage chimico-mécanique (CMP), 200 millions au projet de recherche et développement d'équipements semi-conducteurs haut de gamme, 150 millions à l'extension et à la modernisation de son unité de régénération de plaquettes, et les 300 millions restants à son fonds de roulement. Au cours de la période considérée, le chiffre d'affaires de Huahai Qingke a connu une croissance rapide, passant de 19.18 millions de yuans en 2017 à 386 millions de yuans en 2020. L'Université Tsinghua détient actuellement 37.58 % des parts de Huahai Qingke. Son président est Lu Xinchun, professeur et directeur de thèse à l'Université Tsinghua. L’université Tsinghua s’est également engagée, dans le projet de compte rendu de la réunion, qu’en tant qu’institution administrative, elle ne s’engagerait pas directement dans des activités commerciales.

▲Structure du capital de Huahai Qingke

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  01 .   Le chiffre d'affaires annuel a atteint 386 millions et le bénéfice net est passé d'une perte à un profit.  

Le compte rendu de la réunion indique qu'entre 2018 et 2020, le chiffre d'affaires de Huahai Qingke a progressé de plus de 100 millions de yuans et que son bénéfice net en 2020 avoisinait également les 100 millions de yuans. Le chiffre d'affaires total de Huahai Qingke s'est élevé respectivement à 35.66 millions de yuans en 2018, 211 millions de yuans en 2020 et 386 millions de yuans en 2020. Quant au bénéfice net, il a été respectivement de -35.71 millions de yuans en 2018, -154 millions de yuans en 2020 et de 98 millions de yuans en 2020.

▲Évolution du chiffre d'affaires et du bénéfice net de Huahai Qingke entre 2018 et 2020

Selon le site web officiel de Huahai Qingke, l'entreprise a été fondée le 10 avril 2013. En mars 2016, son premier équipement de polissage chimico-mécanique (CMP) de 12 pouces, l'Universal-300, a été homologué par SMIC. Le compte rendu de la réunion mentionne que Huahai Qingke a finalisé le développement de l'équipement CMP de 8 pouces, l'Universal-200, en 2017, basé sur le modèle de 12 pouces. Ce modèle a été livré au client la même année et a obtenu sa réception. En 2020, Huahai Qingke a développé avec succès l'équipement d'amincissement de 12 pouces Versatile-GP300. Actuellement, la gamme d'équipements de Huahai Qingke se divise principalement en deux séries : la série 300 et la série 200. Les équipements de la série 300 sont principalement utilisés dans les lignes de production de puces de 12 pouces, tandis que ceux de la série 200 sont utilisés dans les lignes de production de 8 pouces. D'après les statistiques, la série 300 représente le produit phare de Huahai Qingke. En 2020, les ventes d'équipements de la série 300 ont représenté 88.91 % du chiffre d'affaires total, tandis que celles de la série 200 en ont représenté 2.64 %. Les matériaux et les services techniques ont représenté 8.45 %. De 2018 à 2020, les ventes d'équipements de la série 300 ont représenté respectivement 89.01 %, 92.39 % et 88.91 % du chiffre d'affaires de Huahai Qingke.

▲Part de Huahai Qingke dans le chiffre d'affaires de l'entreprise en 2020

  02 .   Briser le monopole des équipements CMP de 12 pouces détenu par Appliance Materials et Ebara  

Du point de vue du marché mondial des équipements de polissage chimico-mécanique (CMP), Applied Materials (États-Unis) et Ebara (Japon) sont les leaders du secteur. Selon les données du cabinet d'études de marché américain Gartner, le marché mondial des équipements CMP devrait atteindre 1.63 milliard de dollars américains en 2020, Applied Materials et Ebara détenant alors environ 90 % des parts de marché. Parmi les fabricants chinois d'équipements CMP, on trouve notamment Huahai Qingke, Beijing Shuoke Jingwei Electronic Equipment Co., Ltd. et le 45e Institut de recherche de China Electronics Technology Group Corporation. Actuellement, Huahai Qingke est le seul fabricant à avoir réussi la production et la commercialisation en série d'équipements CMP de 12 pouces. Sur le marché chinois, Huahai Qingke a commencé à concurrencer les parts de marché d'Applied Materials et d'Ebara. D'après les données du Réseau chinois d'appels d'offres internationaux, Yangtze Storage, Huahong Wuxi, les projets Shanghai Huali Phase I et II et Shanghai Jita ont soumissionné pour un total de 38 équipements de polissage chimico-mécanique (CMP) en 2019. Huahai Qingke a remporté 8 lots, soit 21.05 % du marché. De janvier à septembre 2000, les mêmes projets et entreprises ont soumissionné pour un total de 68 équipements CMP. Huahai Qingke a remporté 28 lots, soit 41.18 % du marché ; les commandes restantes d'équipements CMP de 12 pouces ont été attribuées à Applied Materials (États-Unis) et Ebara (Japon). Compte tenu de la forte intensité technologique et capitalistique du secteur des semi-conducteurs, la clientèle de Huahai Qingke est relativement concentrée. En 2018, 2019 et 2020, les cinq principaux clients de Huahai Qingke représentaient respectivement 99.09 %, 94.96 % et 85.71 % de son chiffre d'affaires. Plus précisément, SMIC figure parmi les cinq principaux clients de Huahai Qingke depuis 2017, et Huahong Group depuis 2018. En 2020, le chiffre d'affaires de Yangtze Memory s'élevait à 128 millions de yuans, soit 33.22 % du chiffre d'affaires total de Huahai Qingke sur la même période. Huahong Group, SMIC, Ruili Integrated Circuit Co., Ltd. et Zhejiang Chituo Technology Co., Ltd. complètent le top 202 des clients de Huahai Qingke.

▲Les cinq principaux clients de Huahai Qingke de 2018 à 2020

Parmi ces entreprises, Yangtze Storage, Huahong Group et Huahai Qingke sont liées. Yangtze Memory est une autre société contrôlée par Tsinghua Holdings ; Zhang Guoming, directeur général de Huahai Qingke, est administrateur indépendant chez Huahong Group. En matière d'approvisionnement en matières premières et en équipements, Beijing Jintongchang Precision Machinery Equipment Co., Ltd. a toujours été le principal fournisseur de pièces détachées de Huahai Qingke. De janvier à juin 2020, le montant des achats de Huahai Qingke auprès de cette société s'élevait à 41.6267 millions de yuans, soit 18.29 % du montant total de ses achats.

▲Les cinq principaux fournisseurs de Huahai Qingke de 2018 à 2020

  03 .   135 millions investis en 3 ans, le président est le plus grand expert mondial en équipements CMP  

L'une des principales raisons pour lesquelles Huahai Qingke est privilégiée par des fabricants de semi-conducteurs tels que SMIC, Huahong Group, Yangtze Memory et Dalian Intel réside dans son expertise technique de pointe en Chine. L'équipe technique principale de Huahai Qingke comprend huit personnes, dont le président et directeur scientifique Lu Xinchun, le directeur général adjoint Wang Tongqing, et un total de 125 chercheurs et développeurs, soit 32.98 % des effectifs de l'entreprise. Lu Xinchun est le directeur scientifique de Huahai Qingke et le responsable de la recherche et du développement technologique et produit de l'entreprise. Il détient plus de 100 brevets d'invention nationaux et a notamment participé à l'élaboration d'une norme produit d'entreprise. Au 31 décembre 2020, Lu Xinchun avait publié 86 articles scientifiques (SCI) relatifs au polissage chimico-mécanique (CMP), chacun étant cité plus de 10 fois en moyenne. Il figure parmi les trois meilleurs experts mondiaux en équipements CMP et détient le plus grand nombre de brevets dans ce domaine.

▲Lu Xinchun, président et directeur scientifique de Huahai Qingke

Au cours des trois dernières années, les investissements de l'entreprise en R&D se sont élevés à 135 millions de yuans, soit 21.33 % de son chiffre d'affaires sur la même période. Grâce à ces investissements, Huahai Qingke a déposé 173 brevets. Selon le compte rendu de la réunion, Huahai Qingke possède plusieurs technologies clés, notamment le polissage à l'échelle nanométrique, la détection en ligne de l'épaisseur des films avec une précision nanométrique, le nettoyage ultra-propre par nanoparticules, l'analyse de données massives et le contrôle intelligent, ainsi que l'amincissement ultra-précis.

▲Évaluation des technologies clés et du niveau des produits Huahai Qingke

Par ailleurs, Huahai Qingke a également entrepris le projet majeur national de science et technologie n° 02 intitulé « Industrialisation des équipements, procédés et matériaux de polissage 28-14 nm ». Son projet « Recherche et développement d'un système de polissage CMP et intégration de systèmes complets » a été accepté avec succès en juin 2020, et les avancées scientifiques et technologiques correspondantes ont été industrialisées. Huahai Qingke dispose actuellement des équipements nécessaires pour valider la ligne de production 14 nm chez son client et pourrait prochainement assurer le remplacement des équipements CMP 28-14 nm par des équipements de remplacement en Chine.  
  04 .   L'université Tsinghua est le véritable contrôleur.  

D'après le projet de procès-verbal de l'assemblée générale, l'Université Tsinghua est le véritable actionnaire de Huahai Qingke, détenant 37.58 % des actions. Chongjin Houde est le deuxième actionnaire, avec 10.24 % des actions. Le président Lu Xinchun est le troisième actionnaire, avec 7.93 % des actions. Parmi les autres actionnaires détenant plus de 5 % du capital de Huahai Qingke figurent Kehai Investment et SDIC Fund, qui possèdent respectivement 7.43 % et 6.35 % des actions.

▲Les 10 principaux actionnaires de Huahai Qingke

  05 .   Conclusion : L’introduction en bourse de Huahai Qingke pourrait accélérer le progrès technologique, mais elle devra néanmoins faire face à une concurrence féroce.  

Face à la pénurie mondiale croissante de semi-conducteurs, des pays comme l'Europe et les États-Unis considèrent la chaîne d'approvisionnement en semi-conducteurs comme un élément essentiel de leur sécurité nationale. Avec la mise en œuvre progressive de la loi américaine sur les incitations à l'investissement dans les semi-conducteurs (Semiconductor Incentive Act), ce secteur est également devenu un enjeu majeur de la concurrence internationale.

Dans ce contexte, il est crucial de garantir la sécurité et la maîtrise de la chaîne d'approvisionnement en semi-conducteurs de mon pays. Huahai Qingke détient des droits de propriété intellectuelle exclusifs sur son équipement de polissage chimico-mécanique (CMP) de 12 pouces. En cas de succès, ses fonds de recherche et développement seraient plus importants, ce qui pourrait accélérer son développement technologique. Par ailleurs, les équipements CMP d'Applied Materials (États-Unis) et d'Ebara (Japon) ont atteint le niveau de gravure de 5 nm, et leur technologie est plus avancée que celle de Huahai Qingke. Sur un marché des semi-conducteurs en pleine consolidation, même en cas d'introduction en bourse réussie, Huahai Qingke devra faire face à une forte concurrence. L'avenir nous dira si elle parviendra à briser le monopole des géants.

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