आजकल, चिप्स आधुनिक मानव समाज के हर पहलू में समाहित हो गए हैं, हवाई जहाज, जहाज, उपग्रह और रॉकेट से लेकर लोगों के हाथों में मौजूद मोबाइल फोन और वॉकमैन तक, ये सभी चिप्स से अविभाज्य रूप से जुड़े हुए हैं। अमेरिका के नेतृत्व वाले देशों द्वारा हुआवेई पर लगाए जा रहे प्रतिबंधों के चलते, "लिथोग्राफी मशीन" इंटरनेट पर एक लोकप्रिय खोज शब्द बन गया है, और लिथोग्राफी मशीनों के बारे में लिखे गए लेखों की भरमार है।

असलियत यह है कि चीन ने न केवल विश्व स्तरीय फोटोलिथोग्राफी मशीनें विकसित की हैं, बल्कि बाहरी नाकाबंदी और प्रतिबंधों के बावजूद स्वतंत्र रूप से उनका विकास और निर्माण किया है, और उसके पास इन पर पूर्ण बौद्धिक संपदा अधिकार हैं। लोगों को यह भी नहीं पता कि चीन की लिथोग्राफी मशीनों का विकास और निर्माण गुइझोऊ के वैज्ञानिक जू डुआनयी से घनिष्ठ रूप से जुड़ा हुआ है।

1955 में, जू डुआनी ने गुइयांग नंबर 1 मिडिल स्कूल से उत्कृष्ट अंकों के साथ स्नातक की उपाधि प्राप्त की और सिंघुआ विश्वविद्यालय में दाखिला लिया। 1961 में सिंघुआ विश्वविद्यालय के परिशुद्धता उपकरण विभाग से स्नातक होने के बाद, वे वहीं अध्यापन कार्य करने लगे। "सांस्कृतिक क्रांति" के दौरान, सिंघुआ विश्वविद्यालय के कई शिक्षकों और कर्मचारियों को जियांग्शी प्रांत में पोयांग झील के पास के खेतों में भेजा गया। "कार्यकारी प्रचार दल" की देखरेख में, उन्होंने अपने विचारों को सुधारा और गरीब एवं निम्न-मध्यम वर्ग के किसानों से चावल उगाना सीखा। जू डुआनी भी उनमें से एक थे। अगले वर्ष, जब पहली बार पिता बने जू डुआनी अपने रिश्तेदारों से मिलने अपने गृहनगर गुइझोऊ लौटे, तो वे अपने 2 वर्षीय बेटे को जियांग्शी के एक खेत में ले गए, जहाँ उन्होंने जीवन भर किसान बनने की योजना बनाई। एक रात देर से, बीजिंग से एक आपातकालीन फोन आया, जिसमें जू डुआनी को एक महत्वपूर्ण कार्य के लिए तुरंत बीजिंग लौटने का आदेश दिया गया। बीजिंग लौटने के बाद, जू डुआनयी को पता चला कि मूल रूप से उन्हें राष्ट्रीय अर्धचालक उद्योग और रक्षा उद्योग द्वारा तत्काल आवश्यक प्रमुख उपकरणों - "स्वचालित लिथोग्राफी मशीन" और "स्टेप-एंड-रिपीट कैमरा" - के विकास के लिए जिम्मेदार ठहराया गया था।

इसलिए, गुइझोऊ के युवा सहायक कोच जू डुआनयी को इस महत्वपूर्ण समय पर नियुक्त किया गया और उन्होंने यह महत्वपूर्ण जिम्मेदारी संभाली।

सिंघुआ विश्वविद्यालय ने जू डुआनी को एक सशक्त अनुसंधान एवं विकास टीम प्रदान की है। सिंघुआ प्रेसिजन इंस्ट्रूमेंट विभाग भवन के निर्माण के बाद, भवन की पहली मंजिल पर एक प्रेसिजन ऑप्टिकल इंस्ट्रूमेंट प्रोसेसिंग फैक्ट्री (9003 टेस्ट बेस) स्थापित की गई। श्री शेन झाओ ने विभाग निदेशक और फैक्ट्री निदेशक के रूप में कार्य किया। विश्वविद्यालय ने फैक्ट्री के सभी इंजीनियरिंग और तकनीकी कर्मियों की टीम, जिसमें सैकड़ों उच्च कुशल फिटर और अन्य प्रकार की प्रेसिजन मशीनिंग के उस्ताद शामिल हैं, को एकीकृत तैनाती के लिए जू डुआनी को सौंप दिया। साथ ही, सिंघुआ विश्वविद्यालय से स्नातक हुए कुछ स्नातक छात्रों और उच्च योग्यता प्राप्त सेवानिवृत्त सैन्य कर्मियों को भी अनुसंधान टीम में शामिल किया गया। इसके अतिरिक्त, विश्वविद्यालय ने अन्य इकाइयों से कंप्यूटर नियंत्रण में लगे कई शिक्षकों और तकनीकी कर्मचारियों को भी स्थानांतरित किया। विकास टीम में विश्वविद्यालय के पांचों विभागों के सैकड़ों लोग शामिल हैं। यह एक बड़े पैमाने का सामूहिक अभियान है।

फोटोलिथोग्राफी मशीनों की निर्माण तकनीक अत्यंत जटिल और कठिन होने के कारण, अंतरराष्ट्रीय "पेरिस समन्वय समिति" (बटुमी) ने इन्हें अत्याधुनिक प्रौद्योगिकी उत्पादों की सूची में शामिल कर चीन पर नाकाबंदी और प्रतिबंध लगा दिया था। उस समय चीन बाहरी दुनिया से पूरी तरह अलग-थलग पड़ गया था और किसी भी प्रकार की विदेशी जानकारी प्राप्त करना असंभव था। जू डुआनयी ने अपनी टीम के नेतृत्व में नए उपकरण विकसित किए। सभी रेखाचित्र उन्होंने स्वयं तैयार किए और सभी पुर्जे उनकी अपनी कार्यशाला में ही संसाधित और निर्मित किए गए। सब कुछ बिल्कुल नए सिरे से शुरू किया गया था।

हालांकि जू डुआनयी और उनकी टीम के सदस्यों ने पहले कभी फोटोलिथोग्राफी मशीनों के अनुसंधान, विकास और निर्माण में भाग नहीं लिया था और इस क्षेत्र में उन्हें पर्याप्त ज्ञान भी नहीं था, फिर भी सभी ने कड़ी मेहनत की और काम करते हुए सीखा, जिससे तेजी से प्रगति हुई। प्रशंसनीय बात यह है कि उस समय कोई बोनस या ओवरटाइम वेतन नहीं था, इसलिए टीम के सभी सदस्यों ने स्वेच्छा से ओवरटाइम किया और दिन-रात कड़ी मेहनत की।

जू डुआनयी की टीम ने लिथोग्राफी मशीन के इंटरफेरोमीटर द्वारा आवृत्ति-स्थिरीकरण योग्य हीलियम-नियॉन गैस लेजर के विकास से शुरुआत की। इसके बाद उन्होंने स्वयं ही सटीक गाइड रेल, स्क्रू, बॉल, स्टेपर मोटर, डिजिटल नियंत्रण के लिए कंप्यूटर, ऑप्टिकल सिस्टम, बड़े एपर्चर वाले प्रोजेक्शन ऑब्जेक्टिव आदि का डिजाइन और निर्माण किया।

बेहद कठिन परिस्थितियों में, एक वर्ष से अधिक के अथक परिश्रम के बाद, जू डुआनयी की टीम ने उम्मीदों पर खरा उतरते हुए अंततः 1971 में चीन की पहली फोटोलिथोग्राफी मशीन और स्टेप-एंड-रिपीट कैमरा विकसित किया और राष्ट्रीय अर्धचालक उद्योग के उपयोग के लिए इनका बड़े पैमाने पर उत्पादन शुरू किया। इस उपलब्धि के लिए उन्हें 1978 में राष्ट्रीय विज्ञान और प्रौद्योगिकी सम्मेलन पुरस्कार से सम्मानित किया गया।

1971 में चीन की पहली फोटोलिथोग्राफी मशीन विकसित की।

स्टेप रिपीट कैमरा

1975 में, जू डुआनी ने सेमीकंडक्टर वेफर्स पर सीधे इंटीग्रेटेड सर्किट की लिथोग्राफी विधि का उपयोग करके "स्वचालित अलाइनमेंट स्टेप-बाय-स्टेप प्रोजेक्शन लिथोग्राफी मशीन" के विकास में निवेश किया। 1980 में, जू डुआनी की टीम ने चीन की पहली "स्वचालित अलाइनमेंट स्टेप-बाय-स्टेप प्रोजेक्शन लिथोग्राफी मशीन" का विकास पूरा किया, जो 0.8 माइक्रोन की सबसे पतली लाइन चौड़ाई को प्रोसेस कर सकती थी। इसने घरेलू प्रौद्योगिकी की कमी को पूरा किया और इसका बड़े पैमाने पर उत्पादन शुरू किया गया और उपयोग के लिए वितरित किया गया। यह चीन की दूसरी पीढ़ी की लिथोग्राफी मशीन है। इस उपलब्धि ने 1981 में पहले बीजिंग विज्ञान और प्रौद्योगिकी उपलब्धि पुरस्कार में प्रथम पुरस्कार जीता। आज तक, दुनिया के कुछ ही देश, जैसे संयुक्त राज्य अमेरिका और जापान, इस प्रकार के उपकरण का निर्माण कर सकते हैं।

चीन की दूसरी पीढ़ी की लिथोग्राफी मशीन

1987 में, इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग मंत्रालय ने "चीन इलेक्ट्रॉनिक विशेष उपकरण उद्योग संघ" (सीईपीईए) की स्थापना की व्यवस्था की, जो राज्य द्वारा मान्यता प्राप्त एक राष्ट्रीय औद्योगिक संघ है और जिसके देशभर में 100 से अधिक सदस्य इकाइयाँ हैं। उस समय, त्सिंगहुआ विश्वविद्यालय का सूक्ष्म इंजीनियरिंग संस्थान, जिसका नेतृत्व जू डुआनी कर रहे थे, देशभर के कॉलेजों और विश्वविद्यालयों में इलेक्ट्रॉनिक विशेष उपकरणों के अनुसंधान में विशेषज्ञता रखने वाली एकमात्र इकाई थी।

जू डुआनयी को चीन इलेक्ट्रॉनिक विशेष उपकरण उद्योग संघ के उपाध्यक्ष के रूप में चुना गया है, और इसका शीर्ष व्यापार विभाग उद्योग और सूचना प्रौद्योगिकी मंत्रालय है।

चीन इलेक्ट्रॉनिक्स व्यावसायिक उपकरण उद्योग संघ की स्थापना के बाद, जू डुआनयी को कई संस्थानों में व्याख्यान देने के लिए आमंत्रित किया गया। उन्होंने सिंघुआ विश्वविद्यालय में ऑप्टिकल माइक्रो-मशीनिंग प्रौद्योगिकी पर एक संक्षिप्त प्रशिक्षण पाठ्यक्रम आयोजित किया और "प्रोजेक्शन लिथोग्राफी मशीनों के संरचनात्मक सिद्धांत और डिजाइन" और "फोटोइलेक्ट्रिक स्वचालित संरेखण और फोकसिंग प्रौद्योगिकी" जैसी शिक्षण सामग्री को कार्यरत तकनीशियनों के लिए संकलित किया। साथ ही, वे "इलेक्ट्रॉनिक उद्योग के लिए विशेष उपकरण" पत्रिका के संपादकीय मंडल के सदस्य के रूप में भी कार्यरत हैं।

त्सिंगहुआ विश्वविद्यालय के जू डुआनयी ने ऑप्टिकल माइक्रोमशीनिंग प्रौद्योगिकी पर एक संक्षिप्त प्रशिक्षण पाठ्यक्रम आयोजित किया।

इस अवधि के दौरान चीन के इलेक्ट्रॉनिक उद्योग के विशेष उपकरण उद्योग का तेजी से विकास हुआ और इसमें पूर्ण सहायक सुविधाएं मौजूद हैं, जो अन्य देशों में दुर्लभ है।

दीर्घकालीन अनुसंधान और विकास के आधार पर, जू डुआनयी ने अपनी टीम का नेतृत्व करते हुए अधिक उन्नत "चरण-दर-चरण प्रक्षेपण लिथोग्राफी मशीन" के विकास को सक्रिय रूप से अंजाम दिया।

इस नई लिथोग्राफी मशीन के डिजाइन संकेतक उस समय के उच्चतम अंतरराष्ट्रीय स्तर को ध्यान में रखकर बनाए गए थे। उदाहरण के लिए: फोटोलिथोग्राफी द्वारा संसाधित की जा सकने वाली चिप का अधिकतम क्षेत्रफल 10×10 वर्ग मिलीमीटर है, वास्तविक प्रभावी रिज़ॉल्यूशन 1.25 माइक्रोन है, वर्कटेबल की यात्रा 160×160 मिमी है, और 4-6 इंच के वेफर्स को संसाधित किया जा सकता है।

फोटोलिथोग्राफी मशीन के सफल विकास के बाद, तीन इकाइयों को एक साथ उत्पादन में लाया गया। इनमें से एक को प्रायोगिक अनुसंधान के लिए सिंघुआ माइक्रो इंजीनियरिंग संस्थान में रखा गया है; अन्य दो को परीक्षण मूल्यांकन के लिए चीनी विज्ञान अकादमी के कारखाने 109 और बीजिंग सेमीकंडक्टर डिवाइस कारखाने को प्रदान किया गया है।

चीनी विज्ञान अकादमी के श्री वांग शौवू ने इस फोटोलिथोग्राफी मशीन का उपयोग करके कई प्रकार के बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट विकसित किए हैं। पारंपरिक प्रक्रियाओं की तुलना में, उत्पादन में औसतन 27% की वृद्धि हुई है।

श्री वांग शौवू ने जू डुआनयी द्वारा आविष्कृत फोटोलिथोग्राफी मास्क पर सुरक्षात्मक फिल्म जोड़ने की नई विधि की बहुत सराहना की, और उत्पादन में जू डुआनयी की टीम के साथ सहयोग करने के लिए एक अमेरिकी कंपनी का भी परिचय कराया।

इस परिणाम की सूचना इलेक्ट्रॉनिक उद्योग मंत्रालय को दिए जाने के बाद, संबंधित नेताओं ने इसे बहुत महत्व दिया और व्यक्तिगत रूप से सिंघुआ विश्वविद्यालय और चीनी विज्ञान अकादमी के परीक्षण स्थलों का दौरा किया।

जनवरी 1991 में, इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग मंत्रालय और राष्ट्रीय शिक्षा आयोग ने संबंधित घरेलू विशेषज्ञ विशेषज्ञों को आमंत्रित किया और सिंघुआ विश्वविद्यालय में जू डुआनी और अन्य द्वारा विकसित तीसरी पीढ़ी की "स्वचालित संरेखण चरण-दर-चरण प्रक्षेपण लिथोग्राफी मशीन" का मूल्यांकन करने के लिए एक व्यापक मूल्यांकन बैठक और तकनीकी आदान-प्रदान बैठक का आयोजन किया। मूल्यांकन बैठक की मेजबानी इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग मंत्रालय के प्रमुखों ने की, और चीनी भौतिकी समुदाय के एक प्रमुख व्यक्ति श्री वांग शौवू ने मूल्यांकन विशेषज्ञ समूह के नेता के रूप में कार्य किया। जू डुआनी ने बैठक में सिंघुआ लिथोग्राफी मशीनों के अनुसंधान और विकास का परिचय दिया।

यह मूल्यांकन बैठक बहुत बड़ी और भव्य थी। इसमें इलेक्ट्रॉनिक उद्योग मंत्रालय के विशेष उपकरण विभाग के निदेशक लू जिनरोंग और अन्य प्रमुख व्यक्तियों के अलावा विज्ञान और प्रौद्योगिकी मंत्रालय तथा राष्ट्रीय शिक्षा आयोग के प्रमुख भी उपस्थित थे। त्सिंगहुआ के वैज्ञानिक अनुसंधान प्रभारी कार्यकारी उपाध्यक्ष नी वेइडो ने स्वागत समारोह का संचालन किया। इसके अतिरिक्त, देश भर से सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण विशेष उपकरण निर्माताओं के प्रतिनिधियों का एक समूह भी उपस्थित था।

श्री वांग शौवु ने अपनी हमेशा की तरह अनूठी शैली बरकरार रखी। उनका भाषण संक्षिप्त और सटीक था, और उन्होंने केवल तीन वाक्य कहे:

"यह लिथोग्राफी मशीन खराब नहीं है। मुझे उम्मीद है कि सभी लोग संशोधन के लिए गंभीरता से सुझाव देंगे। उपयोगकर्ता इकाइयों को उपकरण विकास में सक्रिय रूप से भाग लेना चाहिए।"

श्री वांग शौवू से इस तरह की पुष्टि मिलना बहुत दुर्लभ है।

मूल्यांकन बैठक से पहले, श्री वांग ने जू डुआनयी को विशेषज्ञों की एक सूची दी और सिंघुआ विश्वविद्यालय से इन विशेषज्ञों को मूल्यांकन दल में शामिल करने के लिए औपचारिक रूप से आमंत्रित करने का अनुरोध किया। इसके अतिरिक्त, उन्होंने उपकरण डिजाइन और निर्माण तथा अर्धचालक उपकरण उत्पादन इकाइयों से इंजीनियरिंग और तकनीकी कर्मियों के एक समूह को इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग मंत्रालय के प्रमुखों के साथ मिलकर लिथोग्राफी मशीन का ऑन-साइट परीक्षण करने और परीक्षण डेटा को समीक्षा के लिए मूल्यांकन समिति के विशेषज्ञ समूह को प्रस्तुत करने का भी निर्देश दिया।

अंत में, श्री वांग शौवु ने इन आंकड़ों और विशेषज्ञ समूह की राय के आधार पर एक मूल्यांकन रिपोर्ट तैयार की और बैठक में स्वयं मूल्यांकन के परिणाम पढ़कर सुनाए।

जू डुआनयी कई वर्षों से इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग के लिए विशेष उपकरणों के क्षेत्र में कार्यरत हैं और उन्होंने विभिन्न उत्पाद मूल्यांकन बैठकों में भाग लिया है, लेकिन उन्होंने कभी भी इतनी सख्त और गंभीर मूल्यांकन प्रक्रिया का अनुभव नहीं किया है।

यह मूल्यांकन बैठक एक मील का पत्थर है।

इस प्रकार, सिंघुआ विश्वविद्यालय चीन की एकमात्र ऐसी इकाई बन गई है जो स्वतंत्र रूप से विश्व स्तरीय उच्च स्तरीय लिथोग्राफी मशीनों का विकास और उत्पादन कर सकती है।

राष्ट्रीय औपचारिक मूल्यांकन उत्तीर्ण करने के बाद, जू डुआनयी की टीम द्वारा विकसित तीसरी पीढ़ी की "स्वचालित संरेखण चरण-दर-चरण प्रक्षेपण लिथोग्राफी मशीन" और मशीन द्वारा उपयोग किए जाने वाले लेंस दोनों ने "राष्ट्रीय विज्ञान और प्रौद्योगिकी उपलब्धि पुरस्कार" जीता।

मार्च 1991 में, इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग मंत्रालय ने राज्य योजना आयोग द्वारा आयोजित "प्रथम राष्ट्रीय औद्योगिक उद्यम तकनीकी प्रगति उपलब्धि प्रदर्शनी" में इस मशीन को प्रदर्शित करने का निर्णय लिया। इसलिए, सिंघुआ विश्वविद्यालय द्वारा विकसित "स्वचालित संरेखण चरण-दर-चरण प्रक्षेपण लिथोग्राफी मशीन" को बीजिंग प्रदर्शनी हॉल के मुख्य प्रदर्शनी कक्ष में रखा गया और चीनी और विदेशी दर्शकों, घरेलू और विदेशी विशेषज्ञों और मीडिया रिपोर्टरों के सामने प्रदर्शित किया गया।

"पीपुल्स डेली" (विदेशी संस्करण), "बीजिंग डेली", बीजिंग टीवी और अन्य मीडिया द्वारा इस खबर को प्रकाशित करने के बाद, इसने विभिन्न देशों के वैज्ञानिक समुदाय का ध्यान आकर्षित किया।

इसी दिन, जू डुआनयी को बीजिंग प्रदर्शनी केंद्र से एक कॉल आया जिसमें बताया गया कि वे एक महत्वपूर्ण विदेशी प्रतिनिधिमंडल का स्वागत करने जा रहे हैं और जू डुआनयी से व्यक्तिगत रूप से उनका स्वागत करने के लिए कहा गया।

जू डुआनी के बीजिंग प्रदर्शनी केंद्र के मुख्य प्रदर्शनी हॉल में समय पर पहुंचने के बाद, श्री वांग शौवु कई चीनी और विदेशी पत्रकारों के साथ एक विदेशी प्रतिनिधिमंडल के साथ सिंघुआ विश्वविद्यालय के बूथ पर गए, जहां उन्होंने सिंघुआ विश्वविद्यालय द्वारा विकसित स्वचालित प्रक्षेपण लिथोग्राफी मशीन का दौरा किया।

जू डुआनयी को पता नहीं था कि ये लोग कौन हैं, इसलिए उसने और सवाल पूछने की हिम्मत नहीं की। उसने विनम्रतापूर्वक उन्हें लिथोग्राफी मशीन देखने के लिए आमंत्रित किया और उनके हर सवाल का जवाब दिया।

उस समय चीनी वैज्ञानिक समुदाय में "बौद्धिक संपदा अधिकार" की अवधारणा बिल्कुल भी नहीं थी, और उन्हें गोपनीयता बनाए रखने का तरीका भी नहीं पता था। लोग उनसे कुछ भी पूछते, वे सब कुछ बता देते थे।

मार्च 1991 में, सिंघुआ विश्वविद्यालय द्वारा विकसित तीसरी पीढ़ी की "स्वचालित संरेखण चरण-दर-चरण प्रक्षेपण लिथोग्राफी मशीन" ने बीजिंग प्रदर्शनी हॉल में आयोजित "प्रथम राष्ट्रीय औद्योगिक उद्यम तकनीकी प्रगति उपलब्धि प्रदर्शनी" में भाग लिया। चित्र में जू डुआनी (बीच में) बैठक में उपस्थित विशेषज्ञों को चीन की लिथोग्राफी मशीनों की अनुसंधान और विकास स्थिति से अवगत कराते हुए दिखाई दे रहे हैं।

ये विदेशी विशेषज्ञ लिथोग्राफी मशीन के चारों ओर घूमे, उसका बहुत ध्यान से निरीक्षण किया और बहुत ही पेशेवर सवाल पूछे; कुछ विशेषज्ञ तो जमीन पर रेंगते हुए पीछे की ओर मुड़े और लिथोग्राफी मशीन की आंतरिक संरचना का ध्यानपूर्वक अध्ययन किया।

तभी जू डुआनयी को पता चला कि इस प्रतिनिधिमंडल के सभी सदस्य संयुक्त राज्य अमेरिका और जापान के फोटोलिथोग्राफी मशीन विशेषज्ञ थे।

जब संयुक्त राज्य अमेरिका और जापान के विशेषज्ञों ने अपनी आँखों से देखा कि चीन ने विदेशों में प्रतिबंधित और प्रतिबंधित होने के बावजूद पूर्ण बौद्धिक संपदा अधिकारों के साथ एक विश्व स्तरीय फोटोलिथोग्राफी मशीन स्वतंत्र रूप से विकसित कर ली है, तो वे आश्चर्यचकित रह गए और यहाँ तक ​​कहा: "अकल्पनीय!"

अमेरिकी और जापानी विशेषज्ञों के जाने के कुछ ही समय बाद, अन्य देशों के फोटोलिथोग्राफी विशेषज्ञ भी एक-एक करके आने लगे। उस समय, लिथोग्राफी मशीन बनाने वाली लगभग सभी प्रसिद्ध विदेशी कंपनियों और निर्माताओं ने बीजिंग में अपने प्रतिनिधि भेजे थे ताकि वे सिंघुआ विश्वविद्यालय द्वारा स्वतंत्र रूप से विकसित लिथोग्राफी मशीनों का निरीक्षण कर सकें। सभी विशेषज्ञों ने मशीनों का बारीकी से निरीक्षण किया और प्रश्न पूछने में भी तत्पर रहे। जू डुआनी ने इन विदेशी विशेषज्ञों का सौहार्दपूर्ण स्वागत किया और उनके द्वारा पूछे गए विभिन्न प्रश्नों के उत्तर मौके पर ही दिए। ये विशेषज्ञ इस बात से पूरी तरह आश्वस्त थे कि चीन ने स्वतंत्र रूप से लिथोग्राफी मशीनें विकसित की हैं और उन्होंने जू डुआनी को विचारों के आदान-प्रदान के लिए अपने यहाँ आने का हार्दिक निमंत्रण दिया। दुर्भाग्य से, आने वाले लोगों में डच कंपनी एएसएमएल (ASML) का कोई प्रतिनिधि नहीं था, जो बाद में विश्व लिथोग्राफी मशीन उद्योग की एक दिग्गज कंपनी बन गई। उस समय, यह कंपनी अस्तित्व में भी नहीं आई थी।

बीजिंग प्रदर्शनी समाप्त होने के कुछ ही समय बाद, जब ये विदेशी विशेषज्ञ चीन छोड़कर अपने-अपने घर लौट गए, तो अंतर्राष्ट्रीय "पेरिस समन्वय समिति" ने घोषणा की कि चीन को प्रोजेक्शन लिथोग्राफी मशीनों के निर्यात पर लगा प्रतिबंध हटा लिया जाएगा। उस समय दुनिया में मुख्य रूप से "स्टेप-बाय-स्टेप प्रोजेक्शन लिथोग्राफी मशीनों" का उत्पादन करने वाले दो देश, संयुक्त राज्य अमेरिका और जापान ने एक साथ घोषणा की कि वे चीन पर लगे निर्यात प्रतिबंध को हटा देंगे और ऐसी प्रोजेक्शन लिथोग्राफी मशीनों का चीन को अधिक अनुकूल कीमत पर निर्यात कर सकेंगे। साथ ही, एक बेहद लुभावना प्रस्ताव भी पेश किया गया - "हमारी कंपनी से लिथोग्राफी मशीनें खरीदने वाली किसी भी चीनी कंपनी के प्रमुख का हमारी कंपनी में स्वागत है। आने-जाने का हवाई टिकट, होटल में ठहरने और सभी यात्रा खर्च हमारी कंपनी वहन करेगी।"

उस समय देश अभी-अभी खुला था। बाहरी दुनिया चीनी कंपनियों के नेताओं के लिए बेहद रोमांचक और आकर्षक थी। वे सभी विदेश जाकर घूमने-फिरने, मौज-मस्ती करने और अपने ज्ञान का विस्तार करने का अवसर तलाश रहे थे।

परिणामस्वरूप, कई इकाइयाँ जिन्होंने मूल रूप से सिंघुआ विश्वविद्यालय द्वारा निर्मित प्रोजेक्शन लिथोग्राफी मशीनें खरीदने की योजना बनाई थी, उन्होंने अपना इरादा बदल दिया और फोन करके कहा कि अब उन्हें ये मशीनें नहीं चाहिए। यहाँ तक कि चीनी विज्ञान अकादमी के अर्धचालक संस्थान की फैक्ट्री 109, जिसका सिंघुआ विश्वविद्यालय के साथ दीर्घकालिक सहयोग संबंध था, और बीजिंग, शंघाई, तियानजिन, वूशी और अन्य स्थानों की अन्य बड़ी इकाइयों ने भी अपने ऑर्डर रद्द कर दिए। सिंघुआ विश्वविद्यालय द्वारा विकसित और निर्मित नई स्वचालित लिथोग्राफी मशीन का कोई बाज़ार नहीं है, और इसने अपना स्थान खो दिया है।

परिणामस्वरूप, जू डुआनयी की टीम ने चिप्स के उत्पादन और प्रसंस्करण के लिए एक महत्वपूर्ण उपकरण, स्वचालित लिथोग्राफी मशीन को सफलतापूर्वक विकसित करने के लिए अथक प्रयास किए, लेकिन वह मशीन विफल हो गई। वर्षों की सारी मेहनत और अथक प्रयास व्यर्थ हो गए।

चीन की पहली लिथोग्राफी मशीन के विकास का नेतृत्व करने वाले वैज्ञानिक जू डुआनी अब दूसरी लिथोग्राफी मशीन नहीं बना सकते। उनकी आंतरिक पीड़ा का अंदाजा लगाया जा सकता है। हताशा में, उन्हें लिथोग्राफी मशीन अनुसंधान और विकास के क्षेत्र को अलविदा कहना पड़ा और उन्होंने अपना ध्यान उभरते अंतरराष्ट्रीय ऑप्टिकल डिस्क अनुसंधान की ओर मोड़ दिया।

तब से, सिंघुआ विश्वविद्यालय में जू डुआनयी की टीम ने ऑप्टिकल डिस्क अनुसंधान के क्षेत्र में उल्लेखनीय उपलब्धियां हासिल की हैं। चीन का ऑप्टिकल डिस्क अनुसंधान एवं विकास एवं विनिर्माण क्षेत्र विश्व में अग्रणी है, उत्पादन, बिक्री और निर्यात मात्रा के मामले में यह विश्व में पहले स्थान पर है। चीन ने विश्व में अपना स्थान बना लिया है और विश्व को प्रभावित किया है।

जू डुआनयी चीन में ऑप्टिकल डिस्क अनुसंधान क्षेत्र के प्रमुख संस्थापकों में से एक हैं। उनके नाम 67 चीनी पेटेंट और 2 अमेरिकी पेटेंट हैं। उन्हें कई बार अंतरराष्ट्रीय ऑप्टिकल सम्मेलनों के अध्यक्ष के रूप में आमंत्रित किया गया है, उन्होंने चीन के सर्वोच्च विज्ञान और प्रौद्योगिकी पुरस्कार "राष्ट्रीय आविष्कार पुरस्कार" से सम्मानित किया है और उन्हें राष्ट्रीय प्रमुख बुनियादी अनुसंधान परियोजनाओं का मुख्य वैज्ञानिक नियुक्त किया गया है।

त्सिंगहुआ विश्वविद्यालय द्वारा लिथोग्राफी मशीनों का उत्पादन बंद करने के बाद स्थिति और भी खराब हो गई। विदेशों में निर्मित फोटोलिथोग्राफी मशीनें तेजी से चीनी बाजार में आ गईं और उन्होंने तुरंत ही इस बाजार पर कब्जा कर लिया।

अब जब चीन ने लिथोग्राफी मशीनों के अनुसंधान, विकास और निर्माण को पूरी तरह से त्याग दिया है, तो विदेशी लिथोग्राफी मशीन उत्पादक कंपनियों का कोई प्रतिस्पर्धी नहीं बचा है, और लिथोग्राफी मशीनों की कीमतें लगातार बढ़ती जा रही हैं। वर्षों बाद, स्वचालित लिथोग्राफी मशीनें दुर्लभ वस्तु बन गईं, और इनकी कीमत प्रति यूनिट करोड़ों डॉलर तक पहुंच गई, जो एक बड़े हवाई जहाज से भी अधिक महंगी थी।

इतना ही नहीं, यह महंगा भी है, और विकसित देश चीन को फोटोलिथोग्राफी मशीनें बेचने पर रोक लगाते हैं और केवल चिप्स ही बेचते हैं। कुछ देशों ने चिप उत्पादों की आपूर्ति में चीन को पूरी तरह से रोक दिया है, और चीन की सेमीकंडक्टर कंपनियां हताशा में संघर्ष करने के अलावा कुछ नहीं कर सकतीं।

जैसा कि जू डुआनी ने भविष्यवाणी की थी: "भविष्य की लिथोग्राफी मशीनों में प्रमुख तकनीकी नवाचार और विकास हो सकते हैं।"

चीन में लिथोग्राफी मशीनों के विकास और निर्माण के रुकने के बाद, विदेशों में लिथोग्राफी मशीनों का विकास जारी रहा और इसने नई ऊंचाइयों को छुआ। अब, विकसित देशों द्वारा विकसित उच्च स्तरीय लिथोग्राफी मशीनों द्वारा उत्पादित चिप्स नैनोमीटर स्तर तक पहुंच गए हैं।

स्थिति बेहद गंभीर है। वरिष्ठ नेताओं में से रणनीतिक दृष्टि रखने वाले नेताओं ने भी इस समस्या को भांप लिया है और आशा व्यक्त करते हैं कि सिंघुआ विश्वविद्यालय स्वचालित लिथोग्राफी मशीनों के अनुसंधान, विकास और निर्माण को पुनः शुरू करेगा।

इस समय, जू डुआनी सेवानिवृत्त हो चुके थे और उनकी टीम के प्रमुख सदस्य अलग-अलग जगहों पर थे। उस समय की तरह सक्षम उच्च स्तरीय वैज्ञानिक अनुसंधान टीम का पुनर्गठन करना आसान नहीं था!

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