Haberler
Haberler
Çin'in geçmişteki fotolitografi makinesi araştırma ve geliştirme çalışmaları ve Xu Duanyi
2022-03-16 295


Günümüzde çipler, uçaklardan, gemilerden, uydulardan ve roketlerden, insanların ellerindeki cep telefonlarına ve "Walkman"lara kadar modern insan toplumunun her alanına girmiş durumda ve bunların hepsi çiplerden ayrı düşünülemez. Amerika Birleşik Devletleri önderliğindeki ülkeler Huawei'ye baskı uygularken, "litografi makinesi" internette en çok aranan terimlerden biri haline geldi ve litografi makineleri hakkında yazılan makaleler adeta bir bombardımana dönüştü.

Gerçek durum şu: Çin, yalnızca dünya standartlarında fotolitografi makineleri geliştirmekle kalmadı, aynı zamanda dış abluka ve ambargolara rağmen bunları bağımsız olarak geliştirip üretti ve tüm fikri mülkiyet haklarına sahip oldu. İnsanlar, Çin'in litografi makinelerinin geliştirilmesi ve üretiminin, Guizhou'lu bilim insanı Xu Duanyi ile yakından ilgili olduğunu bile bilmiyorlar.

1955 yılında Xu Duanyi, Guiyang 1 Numaralı Ortaokulundan mezun oldu ve mükemmel sonuçlarla Tsinghua Üniversitesi'ne girdi. 1961 yılında Tsinghua Üniversitesi Hassas Aletler Bölümü'nden mezun olduktan sonra okulda öğretmenlik yapmaya devam etti. "Kültür Devrimi" sırasında, Tsinghua Üniversitesi'nden çok sayıda öğretim üyesi ve personel, Jiangxi Eyaleti'ndeki Poyang Gölü yakınlarındaki çiftliklere gönderildi. "Çalışan Propaganda Ekibi"nin gözetiminde, "zihinlerini değiştirdiler" ve yoksul ve alt orta sınıf köylülerden pirinç yetiştirmeyi öğrendiler. Xu Duanyi de onlardan biriydi. Ertesi yıl, ilk kez baba olan Xu Duanyi, akrabalarını ziyaret etmek için memleketi Guizhou'ya döndüğünde, 2 yaşındaki oğlunu da yanına alarak Jiangxi'deki bir çiftliğe yerleşti ve hayatının geri kalanını çiftçi olarak geçirmeyi planladı. Bir gece geç saatte, Pekin'den acil bir telefon geldi ve Xu Duanyi'nin önemli bir görevi olduğu için derhal Pekin'e dönmesi emredildi. Pekin'e döndükten sonra Xu Duanyi, asıl görevinin ulusal yarı iletken endüstrisi ve savunma sanayii tarafından acilen ihtiyaç duyulan "otomatik litografi makinesi" ve "adım adım tekrarlayan kamera" gibi önemli ekipmanları geliştirmek olduğunu öğrendi.

Bu nedenle, kritik bir anda Guizhou'lu genç yardımcı antrenör Xu Duanyi atandı ve önemli görevi üstlendi.

Tsinghua Üniversitesi, Xu Duanyi'ye güçlü bir araştırma ve geliştirme ekibi kazandırdı. Tsinghua Hassas Aletler Bölümü binası tamamlandıktan sonra, binanın birinci katında hassas optik alet işleme fabrikası (9003 test üssü) kuruldu. Bay Shen Zhao, bölüm müdürü ve fabrika müdürü olarak görev yaptı. Okul, yüzlerce yüksek vasıflı montajcı ve diğer hassas işleme ustaları da dahil olmak üzere fabrikanın tüm mühendislik ve teknik personel ekibini, birleşik bir görevlendirme için Xu Duanyi'ye atadı. Ayrıca, Tsinghua Üniversitesi'nden mezun olan bir grup lisans öğrencisi ve yüksek nitelikli emekli askeri personelden oluşan bir grubu da araştırma ekibine dahil etti. Buna ek olarak, okul diğer birimlerden bilgisayar kontrolü alanında çalışan birkaç öğretmen ve teknik personeli de transfer etti. Geliştirme ekibi, okulun beş farklı bölümünden yüzlerce kişiden oluşuyor. Bu, büyük ölçekli bir grup çalışmasıdır.

Fotolitografi makinelerinin üretim teknolojisi çok karmaşık ve zor olduğu için, uluslararası "Paris Koordinasyon Komitesi" (Batumi) uzun zamandır bunları en ileri teknoloji ürünleri olarak listelemiş ve Çin'e abluka ve ambargo uygulamıştır. Bu dönemde Çin dış dünyadan izole edilmiş ve yabancı kaynaklardan bilgi edinmesi imkansız hale gelmiştir. Xu Duanyi, ekibiyle birlikte yeni bir ekipman geliştirmek için çalışmalara başlamıştır. Tüm çizimler kendi tasarımı olup, tüm parçalar kendi atölyesinde işlenmiş ve üretilmiştir. Her şey sıfırdan başlamıştır.

Xu Duanyi ve ekip üyeleri daha önce fotolitografi makinelerinin araştırma, geliştirme ve üretiminde hiç yer almamış ve bu alanda bilgi eksikliği çekmiş olsalar da, herkes çok çalıştı ve çalışırken öğrendi, böylece hızlı ilerleme kaydetti. Takdire şayan olan ise, o dönemde prim veya fazla mesai ücreti olmamasına rağmen, tüm ekip üyelerinin fazla mesai yapma inisiyatifini alıp gece gündüz çok çalışmasıydı.

Xu Duanyi'nin ekibi, litografi makinesinin interferometresi ile frekans stabilizasyonu sağlanabilen helyum-neon gaz lazerlerinin geliştirilmesiyle işe başladı. Ardından, hassas kılavuz rayları, vidalar, bilyeler, kademeli motorlar, dijital kontrol için bilgisayarlar, optik sistemler, geniş açıklıklı projeksiyon objektifleri vb. bileşenleri kendileri tasarlayıp ürettiler.

Son derece zor koşullar altında, bir yıldan fazla süren yoğun çalışmanın ardından, Xu Duanyi'nin ekibi beklentileri karşılayarak 1971'de Çin'in ilk fotolitografi makinesini ve tekrarlı baskı kamerasını geliştirdi ve bunları ulusal yarı iletken endüstrisinin kullanımına sunmak üzere seri üretime geçirdi. Bu başarı, 1978'de Ulusal Bilim ve Teknoloji Konferansı Ödülü'nü kazandı.

1971'de Çin'in ilk fotolitografi makinesini geliştirdi.

adım tekrarlayan kamera

1975'ten itibaren Xu Duanyi, entegre devrelerin doğrudan yarı iletken levhalar üzerine litografisi yöntemini kullanarak "otomatik hizalama adım adım projeksiyon litografi makinesi"nin geliştirilmesine yatırım yaptı. 1980'de Xu Duanyi'nin ekibi, 0.8 mikronluk en ince çizgi genişliğini işleyebilen Çin'in ilk "otomatik hizalama adım adım projeksiyon litografi makinesini" geliştirmeyi tamamladı. Bu, yerli teknoloji açığını doldurdu ve seri üretime geçirilerek kullanıma sunuldu. Bu, Çin'in ikinci nesil litografi makinesidir. Bu başarı, 1981'de ilk Pekin Bilim ve Teknoloji Başarı Ödülü'nü kazandı. Bugüne kadar, Amerika Birleşik Devletleri ve Japonya gibi dünyada sadece birkaç ülke bu tür ekipmanı üretebilmektedir.

Çin'in ikinci nesil litografi makinesi

1987 yılında Elektronik Sanayi Bakanlığı, devlet tarafından onaylanmış tüzel kişiliğe sahip ulusal bir sanayi birliği olan ve ülke genelinde 100'den fazla üye birimi bulunan "Çin Elektronik Özel Ekipman Sanayi Birliği"nin (CEPEA) kurulmasını organize etti. O dönemde, Xu Duanyi liderliğindeki Tsinghua Üniversitesi Mikro Mühendislik Enstitüsü, ülke genelindeki üniversiteler arasında elektronik özel ekipman araştırmalarında uzmanlaşmış tek birimdi.

Xu Duanyi, Çin Elektronik Özel Ekipman Sanayi Birliği'nin başkan yardımcılığına seçildi ve birliğin üst yönetim birimi Sanayi ve Bilgi Teknolojileri Bakanlığı'dır.

Çin Elektronik Profesyonel Ekipman Sanayi Birliği'nin kurulmasının ardından Xu Duanyi birçok birimde ders vermeye davet edildi. Tsinghua Üniversitesi'nde optik mikro işleme teknolojisi üzerine kısa bir eğitim kursu verdi ve "Projeksiyon Litografi Makinelerinin Yapı Prensipleri ve Tasarımı" ve "Fotoelektrik Otomatik Hizalama ve Odaklama Teknolojisi" gibi saha teknisyenleri için eğitim materyalleri derledi. Aynı zamanda "Elektronik Sanayi İçin Özel Ekipmanlar" dergisinin yayın kurulu üyesi olarak da görev yapmaktadır.

Tsinghua Üniversitesi'nden Xu Duanyi, optik mikro işleme teknolojisi üzerine kısa bir eğitim kursu düzenledi.

Çin'in elektronik endüstrisi özel ekipman sektörü bu dönemde hızla gelişti ve diğer ülkelerde nadir görülen eksiksiz destek tesislerine sahip oldu.

Uzun süreli araştırma ve geliştirme çalışmaları temelinde, Xu Duanyi ve ekibi, daha gelişmiş bir "adım adım projeksiyon litografi makinesi"nin geliştirilmesini aktif olarak yürüttü.

Bu yeni litografi makinesinin tasarım göstergeleri, o dönemdeki en yüksek uluslararası standartlara yönelikti. Örneğin: fotolitografi ile işlenebilen maksimum çip alanı 10×10 milimetre kare, gerçek etkili çözünürlük 1.25 mikron, çalışma tablası hareket mesafesi 160×160 mm ve 4-6 inçlik wafer'lar işlenebiliyor.

Fotolitografi makinesi başarıyla geliştirildikten sonra, üç adet aynı anda üretime alındı. Bunlardan biri deneysel araştırma için Tsinghua Mikro Mühendislik Enstitüsü'nde tutulurken, diğer ikisi deneme değerlendirmesi için Çin Bilimler Akademisi'nin 109 numaralı fabrikasına ve Pekin Yarı İletken Cihaz Fabrikası'na verildi.

Çin Bilimler Akademisi'nden Bay Wang Shouwu, bu fotolitografi makinesini kullanarak çeşitli büyük ölçekli entegre devreler geliştirdi. Geleneksel süreçlerle karşılaştırıldığında, verimlilik ortalama %27 arttı.

Bay Wang Shouwu, Xu Duanyi tarafından icat edilen fotolitografi maskesine koruyucu film ekleme yöntemini çok takdir etti ve ayrıca üretimde Xu Duanyi'nin ekibiyle işbirliği yapmak üzere bir Amerikan şirketini de tanıttı.

Bu sonuç Elektronik Sanayi Bakanlığı'na bildirildikten sonra, ilgili yetkililer buna büyük önem verdiler ve bizzat Tsinghua Üniversitesi ile Çin Bilimler Akademisi'nin test alanlarını ziyaret ettiler.

Ocak 1991'de Elektronik Sanayi Bakanlığı ve Milli Eğitim Komisyonu, Tsinghua Üniversitesi'nden Xu Duanyi ve diğerlerinin geliştirdiği üçüncü nesil "otomatik hizalama adım adım projeksiyon litografi makinesi"ni değerlendirmek üzere ilgili yerli otorite uzmanlarını bir araya getirerek Tsinghua Üniversitesi'nde geniş çaplı bir değerlendirme ve teknik bilgi alışverişi toplantısı düzenledi. Değerlendirme toplantısına Elektronik Sanayi Bakanlığı yetkilileri ev sahipliği yaptı ve Çin fizik camiasının önde gelen isimlerinden Bay Wang Shouwu, değerlendirme uzman grubunun başkanlığını üstlendi. Xu Duanyi, toplantıda Tsinghua litografi makinelerinin araştırma ve geliştirme çalışmalarını tanıttı.

Bu değerlendirme toplantısı çok büyük ve görkemliydi. Elektronik Sanayi Bakanlığı Özel Ekipman Dairesi Müdürü Lu Jinrong ve diğer üst düzey yetkililerin yanı sıra, Bilim ve Teknoloji Bakanlığı ve Milli Eğitim Komisyonu'ndan da yetkililer katıldı. Tsinghua Üniversitesi Bilimsel Araştırmalardan Sorumlu Rektör Yardımcısı Ni Weidou resepsiyonu yönetti. Ayrıca, ülke genelinden yarı iletken işleme özel ekipman üreticilerinden bir grup temsilci de katıldı.

Bay Wang Shouwu her zamanki eşsiz üslubunu korudu. Konuşması özlü ve doğrudan konuya odaklıydı ve sadece üç cümle söyledi:

"Bu litografi makinesi fena değil. Umarım herkes ciddi anlamda değişiklik önerilerinde bulunur. Kullanıcı birimleri ekipman geliştirme sürecine aktif olarak katılmalıdır."

Sayın Wang Shouwu'dan böyle bir onay almak çok nadir rastlanan bir durumdur.

Değerlendirme toplantısından önce Bay Wang, Xu Duanyi'ye bir uzman listesi verdi ve Tsinghua Üniversitesi'nden bu uzmanları değerlendirme ekibini oluşturmak üzere resmen davet etmesini istedi. Ayrıca, Elektronik Sanayi Bakanlığı liderleriyle birlikte çalışmak üzere ekipman tasarımı ve üretimi ile yarı iletken cihaz üretim birimlerinden bir grup mühendis ve teknik personeli görevlendirdi; bu kişiler litografi makinesinin yerinde testini yapacak ve test verilerini değerlendirme komitesinin uzman grubuna inceleme için sunacaklardı.

Son olarak, Bay Wang Shouwu bu veriler ve uzman grubunun görüşleri doğrultusunda bir değerlendirme raporu hazırladı ve değerlendirme sonuçlarını toplantıda bizzat okudu.

Xu Duanyi, uzun yıllardır elektronik endüstrisi için özel ekipmanlarla uğraşmakta ve çeşitli ürün değerlendirme toplantılarına katılmaktadır, ancak daha önce hiç bu kadar titiz ve ciddi bir değerlendirme süreciyle karşılaşmamıştır.

Bu değerlendirme toplantısı, dönüm noktası niteliğinde bir öneme sahip.

Böylece Tsinghua Üniversitesi, Çin'de dünya standartlarında yüksek kaliteli litografi makinelerini bağımsız olarak geliştirebilen ve üretebilen tek kurum haline geldi.

Ulusal resmi değerlendirmeden geçtikten sonra, Xu Duanyi'nin ekibi tarafından geliştirilen üçüncü nesil "otomatik hizalama adım adım projeksiyon litografi makinesi" ve makinede kullanılan lens, "Ulusal Bilim ve Teknoloji Başarı Ödülü"nü kazandı.

Mart 1991'de Elektronik Sanayi Bakanlığı, Devlet Planlama Komisyonu tarafından düzenlenen "Birinci Ulusal Sanayi İşletmeleri Teknolojik Gelişme Başarıları Sergisi"nde bu makineyi sergilemeye karar verdi. Bu nedenle, Tsinghua Üniversitesi tarafından geliştirilen "otomatik hizalama adım adım projeksiyon litografi makinesi", Pekin Sergi Salonu'nun ana sergi salonuna yerleştirildi ve Çinli ve yabancı izleyicilere, yerli ve yabancı uzmanlara ve medya muhabirlerine sergilendi.

"People's Daily" (yurtdışı baskısı), "Beijing Daily", Pekin TV ve diğer medya kuruluşlarının haberi yayınlamasının ardından, çeşitli ülkelerdeki bilim camiasının dikkatini çekti.

O gün Xu Duanyi, Pekin Sergi Merkezi'nden bir telefon aldı. Merkezden önemli bir yabancı heyetin ziyareti için geldikleri ve Xu Duanyi'nin heyeti bizzat karşılaması istendiği bildirildi.

Xu Duanyi, Pekin Sergi Merkezi'nin ana sergi salonuna zamanında vardıktan sonra, Bay Wang Shouwu, çok sayıda Çinli ve yabancı gazetecinin de eşlik ettiği yabancı bir heyetle birlikte, Tsinghua Üniversitesi tarafından geliştirilen otomatik projeksiyon litografi makinesini incelemek üzere Tsinghua Üniversitesi standına gitti.

Xu Duanyi bu kişilerin kim olduğunu bilmediği için daha fazla soru sormaya cesaret edemedi. Onları kibarca litografi makinesinin yanına davet etti ve sordukları her soruyu yanıtladı.

O dönemde Çin bilim camiasında "fikri mülkiyet hakları" kavramı hiç yoktu ve gizliliğin nasıl korunacağını bilmiyorlardı. İnsanlar ne sorarsa sorsun, her şeyi anlatırlardı.

Mart 1991'de, Tsinghua Üniversitesi tarafından geliştirilen üçüncü nesil "otomatik hizalama adım adım projeksiyon litografi makinesi", Pekin Sergi Salonu'nda düzenlenen "Birinci Ulusal Sanayi Kuruluşları Teknolojik Gelişme Başarıları Sergisi"ne katıldı. Resimde, Xu Duanyi (ortada), toplantıya katılan uzmanlara Çin'in litografi makinelerinin araştırma ve geliştirme durumunu tanıtırken görülüyor.

Bu yabancı uzmanlar litografi makinesinin etrafında dolaştılar, onu çok dikkatlice incelediler ve son derece profesyonel sorular sordular; hatta bazı uzmanlar yere sürünerek arkasına geçtiler ve litografi makinesinin iç yapısını dikkatlice incelediler.

Xu Duanyi ancak o zaman bu heyet üyelerinin tamamının Amerika Birleşik Devletleri ve Japonya'dan fotolitografi makinesi uzmanları olduğunu öğrendi.

Amerika Birleşik Devletleri ve Japonya'dan uzmanlar, Çin'in yurtdışındaki engellemelere ve ambargolara rağmen, fikri mülkiyet hakları tamamen kendisine ait olmak üzere, dünya standartlarında bir fotolitografi makinesini bağımsız olarak geliştirdiğini kendi gözleriyle gördüklerinde hayrete düştüler ve hatta "İnanılmaz!" dediler.

Amerikalı ve Japon uzmanlar ayrıldıktan kısa bir süre sonra, diğer ülkelerden de fotolitografi uzmanları birbiri ardına gelmeye başladı. O zamanlar, litografi makineleri üreten neredeyse tüm tanınmış yabancı şirketler ve üreticiler, Tsinghua Üniversitesi tarafından bağımsız olarak geliştirilen litografi makinelerini ziyaret etmek ve incelemek için Pekin'e temsilciler gönderdi. Hepsi çok dikkatli bir şekilde inceledi ve çok iyi sorular sordu. Xu Duanyi, bu yabancı uzmanları dostane bir şekilde karşıladı ve yerinde sordukları çeşitli soruları yanıtladı. Bu uzmanlar, Çin'in bağımsız olarak litografi makineleri geliştirdiğine içtenlikle ikna olmuşlardı ve Xu Duanyi'yi ziyaret etmeye ve fikir alışverişinde bulunmaya sıcak bir şekilde davet ettiler. Ne yazık ki, ziyaretçiler arasında, daha sonra dünyanın litografi makinesi endüstrisinde dev bir şirket haline gelen Hollandalı ASML şirketinden (ASML) hiçbir temsilci yoktu. O zamanlar bu şirket henüz kurulmamıştı.

Pekin fuarı sona erdikten ve bu yabancı uzmanlar Çin'den ayrılıp ülkelerine döndükten kısa bir süre sonra, uluslararası "Paris Koordinasyon Komitesi", Çin'e projeksiyon litografi makinelerinin ihracatına uygulanan ambargonun kaldırılacağını duyurdu. O dönemde dünyada "adım adım projeksiyon litografi makineleri"ni en çok üreten iki ülke olan Amerika Birleşik Devletleri ve Japonya, aynı anda Çin'e uygulanan ihracat yasağını kaldıracaklarını ve bu tür projeksiyon litografi makinelerini Çin'e daha uygun bir fiyata ihraç edebileceklerini açıkladılar. Aynı zamanda, çok cazip bir sihirli silah da sunuldu: "Şirketimizin litografi makinelerini satın alan herhangi bir Çinli şirketin yöneticileri şirketimizi ziyaret edebilir. Gidiş-dönüş uçak biletleri, otel konaklaması ve tüm seyahat masrafları şirketimiz tarafından karşılanacaktır."

O dönemde ülke yeni yeni dış dünyaya açılmıştı. Dış dünya Çinli şirketlerin liderleri için çok heyecan verici ve çekiciydi. Hepsi yurtdışına gidip görmek, eğlenmek ve ufuklarını genişletmek için bir fırsat arıyordu.

Sonuç olarak, başlangıçta Tsinghua Üniversitesi tarafından üretilen projeksiyon litografi makinelerini satın almayı planlayan birçok birim fikir değiştirdi ve artık istemediklerini bildirdi. Tsinghua Üniversitesi ile uzun süreli işbirliği ilişkisi bulunan Çin Bilimler Akademisi Yarı İletkenler Enstitüsü'nün 109 numaralı fabrikası ve Pekin, Şanghay, Tianjin, Wuxi ve diğer yerlerdeki diğer büyük birimler bile siparişlerini iptal etti. Tsinghua Üniversitesi tarafından geliştirilen ve üretilen yeni otomatik litografi makinesinin pazarı kalmadı ve varlığını yitirdi.

Sonuç olarak, Xu Duanyi'nin ekibi, çiplerin üretimi ve işlenmesi için önemli ve kilit bir ekipman olan otomatik litografi makinesini geliştirmek için sayısız çaba harcadı, ancak makine arızalandı. Yıllarca süren tüm emek ve sonsuz çabalar boşa gitti.

Çin'in ilk litografi makinesinin geliştirilmesine öncülük eden bilim insanı Xu Duanyi, artık başka bir litografi makinesi üretemeyeceğini anladı. İçindeki üzüntüyü tahmin etmek zor değil. Çaresizlik içinde, litografi makinesi araştırma ve geliştirme alanına veda etmek zorunda kaldı ve dikkatini gelişmekte olan uluslararası optik disk araştırmalarına yöneltti.

O zamandan beri, Tsinghua Üniversitesi'ndeki Xu Duanyi'nin ekibi optik disk araştırmaları alanında dikkat çekici başarılara imza attı. Çin'in optik disk Ar-Ge ve üretimi, üretim, satış ve ihracat hacmi bakımından dünyada birinci sırada yer alarak, Çin'in dünyada kendine yer edinmesini ve dünyayı etkilemesini sağladı.

Xu Duanyi, Çin'in optik disk araştırma alanının başlıca kurucularından biri oldu. 67 Çin patenti ve 2 ABD patenti bulunmaktadır. Birçok kez uluslararası optik konferanslarına başkanlık etmeye davet edildi, Çin'in en yüksek bilim ve teknoloji ödülü olan "Ulusal Buluş Ödülü"nü kazandı ve ulusal temel araştırma projelerinin baş bilim insanı olarak atandı.

Tsinghua Üniversitesi litografi makinelerinin üretimini durdurduktan sonra durum daha da kötüleşti. Yurtdışında üretilen fotolitografi makineleri hızla piyasaya girdi ve Çin pazarını ele geçirdi.

Çin'in "saraydan kılıcını sallaması" ve litografi makinelerinin araştırma, geliştirme ve üretiminden vazgeçmesiyle birlikte, yabancı litografi makinesi üretim şirketlerinin rakibi kalmadı ve litografi makinelerinin fiyatı sürekli yükseldi. Yıllar sonra, otomatik litografi makineleri nadir birer meta haline geldi ve birim fiyatı yüz milyonlarca dolara ulaştı; bu da büyük bir uçaktan daha pahalıya denk geliyordu.

Hem pahalı olması hem de gelişmiş ülkelerin Çin'e fotolitografi makinelerinin satışını yasaklaması ve sadece çip satışı yapması nedeniyle, bazı ülkeler Çin'in çip ürünleri tedarikini engellemiş durumda ve Çin'in yarı iletken şirketleri çaresizlik içinde mücadele etmekten başka çare bulamıyor.

Xu Duanyi'nin öngördüğü gibi: "Geleceğin litografi makinelerinde büyük teknolojik yenilikler ve gelişmeler olabilir."

Çin'de litografi makinelerinin geliştirilmesi ve üretimi durduktan sonra, yurtdışında litografi makinelerinin geliştirilmesi devam etti ve yeni zirvelere ulaştı. Şimdi, gelişmiş ülkeler tarafından geliştirilen yüksek teknoloji ürünü litografi makineleriyle üretilen çipler nanometre seviyesine ulaştı.

Durum çok ciddi. Üst düzey yöneticiler arasında stratejik vizyona sahip liderler de sorunu fark etmiş durumda ve Tsinghua Üniversitesi'nin otomatik litografi makinelerinin araştırma, geliştirme ve üretimini yeniden başlatmasını umuyorlar...

Bu sırada Xu Duanyi emekli olmuştu ve ekibinin kilit üyeleri dağılmıştı. O zamanki kadar yetenekli, üst düzey bir bilimsel araştırma ekibini yeniden organize etmek kolay değildi!


Yasal Uyarı: Bu makale, fikri mülkiyet haklarının korunmasını destekleyen "Edebiyat ve Tarih Dünyası"ndan alınmıştır. Yeniden yayınlarken lütfen orijinal kaynağı ve yazarı belirtin. Herhangi bir telif hakkı ihlali durumunda, lütfen silinmesi için bizimle iletişime geçin.

Şirket telefon numarası: +86-0755-83044319
Faks: +86-0755-83975897
E-posta: 1615456225@qq.com
QQ: 3518641314 Yönetici Li

QQ: 332496225 Yönetici Qiu

Adres: Shenzhen, Longhua Yeni Bölgesi, Minzhi Caddesi No. 1079, Zhantao Teknoloji Binası, C Binası, Oda 809

whatsapp

WhatsApp

Whatsapp:+8618073002950