امروزه، تراشه‌ها در تمام جنبه‌های جامعه مدرن بشری، از هواپیماها، کشتی‌ها، ماهواره‌ها و موشک‌ها گرفته تا تلفن‌های همراه و «واکمن»های موجود در دست مردم، وارد شده‌اند و همه اینها از تراشه‌ها جدایی‌ناپذیرند. در حالی که کشورهایی به رهبری ایالات متحده، هواوی را سرکوب می‌کنند، «دستگاه لیتوگرافی» به یک عبارت جستجوی داغ در اینترنت تبدیل شده است و مقالاتی که در مورد دستگاه‌های لیتوگرافی صحبت می‌کنند، بسیار زیاد هستند.

وضعیت واقعی این است: چین نه تنها دستگاه‌های لیتوگرافی نوری در سطح جهانی را توسعه داده است، بلکه با وجود محاصره‌ها و تحریم‌های خارجی، آنها را به طور مستقل توسعه داده و تولید کرده و از حقوق مالکیت معنوی کاملی برخوردار است. مردم حتی نمی‌دانند که توسعه و ساخت دستگاه‌های لیتوگرافی چین ارتباط نزدیکی با شو دوانیی، دانشمندی از گوئیژو، دارد.

در سال ۱۹۵۵، شو دوانیی از مدرسه راهنمایی شماره ۱ گویانگ فارغ‌التحصیل شد و با نتایج عالی در دانشگاه تسینگهوا پذیرفته شد. پس از فارغ‌التحصیلی از دانشکده ابزار دقیق دانشگاه تسینگهوا در سال ۱۹۶۱، او برای تدریس در مدرسه ماند. در طول "انقلاب فرهنگی"، تعداد زیادی از اعضای هیئت علمی و کارکنان دانشگاه تسینگهوا به مزارع نزدیک دریاچه پویانگ در استان جیانگشی فرستاده شدند. آنها تحت نظارت "تیم تبلیغات فعال"، "ذهن خود را اصلاح کردند" و یاد گرفتند که از دهقانان فقیر و متوسط ​​رو به پایین برنج بکارند. شو دوانیی در میان آنها بود. سال بعد، وقتی شو دوانیی، که برای اولین بار پدر شده بود، برای دیدار با اقوام به زادگاهش، گوییژو، بازگشت، پسر ۲ ساله‌اش را به مزرعه‌ای در جیانگشی برد، جایی که قصد داشت ریشه بدواند و تا آخر عمر کشاورز شود. اواخر یک شب، یک تماس اضطراری از پکن آمد و به شو دوانیی دستور داده شد که فوراً به پکن بازگردد زیرا مأموریت مهمی داشت. شو دوانی پس از بازگشت به پکن، متوجه شد که در ابتدا مسئول توسعه تجهیزات کلیدی مورد نیاز فوری صنعت نیمه‌هادی ملی و صنایع دفاعی - «دستگاه لیتوگرافی خودکار» و «دوربین گام به گام و تکرار» - بوده است.

بنابراین، شو دوانیی، دستیار مربی جوان اهل گوئیژو، در لحظه حساس منصوب شد و این وظیفه مهم را بر عهده گرفت.

دانشگاه تسینگهوا، شو دوانیی را به یک تیم تحقیق و توسعه قوی مجهز کرده است. پس از تکمیل ساختمان دپارتمان ابزار دقیق تسینگهوا، یک کارخانه پردازش ابزار نوری دقیق (پایگاه آزمایشی ۹۰۰۳) در طبقه اول ساختمان تأسیس شد. آقای شن ژائو به عنوان مدیر دپارتمان و مدیر کارخانه فعالیت داشت. این دانشکده، کل تیم مهندسی و پرسنل فنی کارخانه، شامل صدها نفر از نصاب‌های بسیار ماهر و استادان سایر انواع ماشینکاری دقیق، را برای استقرار یکپارچه به شو دوانیی اختصاص داد. همچنین گروهی از دانشجویان کارشناسی که از دانشگاه تسینگهوا فارغ‌التحصیل شده‌اند و گروهی از پرسنل نظامی بازنشسته بسیار ماهر را برای پیوستن به تیم تحقیقاتی منصوب کرد. علاوه بر این، این دانشکده چندین معلم و کارگر فنی شاغل در کنترل کامپیوتر را از واحدهای دیگر نیز منتقل کرده است. تیم توسعه شامل صدها نفر از پنج دپارتمان در سراسر دانشکده است. این یک عملیات گروهی در مقیاس بزرگ است.

از آنجا که فناوری ساخت دستگاه‌های فوتولیتوگرافی بسیار پیچیده و دشوار است، «کمیته هماهنگی پاریس» بین‌المللی (باتومی) مدت‌هاست که آنها را به عنوان محصولات فناوری پیشرفته فهرست کرده و محاصره و تحریمی را علیه چین اعمال کرده است. در این زمان، چین از جهان خارج منزوی شده بود و دستیابی به هرگونه اطلاعات خارجی غیرممکن بود. شو دوانیی تیم خود را برای توسعه تجهیزات جدید رهبری کرد. تمام نقشه‌ها توسط خودش طراحی شده و تمام قطعات در کارگاه خودش پردازش و ساخته شدند. همه چیز از ابتدا شروع شد.

اگرچه شو دوانی و اعضای تیمش در گذشته هرگز در تحقیق و توسعه و ساخت دستگاه‌های فوتولیتوگرافی مشارکت نکرده بودند و در این زمینه دانش کافی نداشتند، اما همه بسیار سخت کار کردند و در حین انجام کار یاد گرفتند و به سرعت پیشرفت کردند. نکته قابل تحسین این است که در آن زمان هیچ پاداش یا اضافه کاری وجود نداشت، بنابراین همه اعضای تیم ابتکار عمل را برای اضافه کاری به دست گرفتند و روز و شب سخت کار کردند.

تیم شو دوانیی کار خود را با توسعه لیزرهای گازی هلیوم-نئون که می‌توانند توسط تداخل‌سنج دستگاه لیتوگرافی تثبیت فرکانس شوند، آغاز کرد. سپس آنها ریل‌های راهنمای دقیق، پیچ‌ها، گوی‌ها، موتورهای پله‌ای، کامپیوترهای کنترل دیجیتال، سیستم‌های نوری، عدسی‌های شیئی با دیافراگم بزرگ و غیره را خودشان طراحی و تولید کردند.

تحت شرایط بسیار دشوار، پس از بیش از یک سال کار سخت، تیم شو دوانیی انتظارات را برآورده کرد و سرانجام در سال ۱۹۷۱ اولین دستگاه فوتولیتوگرافی و دوربین گام به گام و تکرارشونده چین را توسعه داد و آنها را برای استفاده در صنعت نیمه‌هادی ملی به تولید انبوه رساند. این دستاورد در سال ۱۹۷۸ جایزه کنفرانس ملی علوم و فناوری را از آن خود کرد.

اولین دستگاه فوتولیتوگرافی چین را در سال ۱۹۷۱ توسعه داد

دوربین تکرار مرحله

از سال ۱۹۷۵، شو دوانیی با استفاده از روش لیتوگرافی مدارهای مجتمع به طور مستقیم روی ویفرهای نیمه‌هادی، در توسعه "دستگاه لیتوگرافی طرح‌ریزی گام به گام با تراز خودکار" سرمایه‌گذاری کرد. در سال ۱۹۸۰، تیم شو دوانیی توسعه اولین "دستگاه لیتوگرافی طرح‌ریزی گام به گام با تراز خودکار" چین را به پایان رساند که می‌توانست باریک‌ترین خط با عرض ۰.۸ میکرون را پردازش کند. این دستگاه شکاف فناوری داخلی را پر کرد و به تولید انبوه رسید و برای استفاده عرضه شد. این دستگاه، دستگاه لیتوگرافی نسل دوم چین است. این دستاورد در سال ۱۹۸۱ جایزه اول اولین جایزه دستاوردهای علمی و فناوری پکن را از آن خود کرد. تا به امروز، تنها چند کشور در جهان، مانند ایالات متحده و ژاپن، می‌توانند این نوع تجهیزات را تولید کنند.

دستگاه لیتوگرافی نسل دوم چین

در سال ۱۹۸۷، وزارت صنایع الکترونیک، تأسیس «انجمن صنایع تجهیزات ویژه الکترونیکی چین» (CEPEA) را سازماندهی کرد، که یک انجمن ملی صنایع صنعتی با شخصیت حقوقی شرکتی مورد تأیید دولت است و بیش از ۱۰۰ واحد عضو در سراسر کشور دارد. مؤسسه مهندسی میکرو دانشگاه چینگ‌هوا به رهبری شو دوانیی، تنها واحد متخصص در تحقیقات تجهیزات ویژه الکترونیکی در بین کالج‌ها و دانشگاه‌های سراسر کشور در آن زمان بود.

شو دوانی به عنوان نایب رئیس انجمن صنایع تجهیزات ویژه الکترونیکی چین انتخاب شد و وزارت صنایع و فناوری اطلاعات، دپارتمان تجاری ارشد آن است.

پس از تأسیس انجمن صنعت تجهیزات حرفه‌ای الکترونیک چین، از شو دوانیی برای سخنرانی در بسیاری از واحدها دعوت شد. او یک دوره آموزشی کوتاه در مورد فناوری میکروماشین‌کاری نوری در دانشگاه تسینگهوا برگزار کرد و مطالب آموزشی مانند «اصول ساختار و طراحی ماشین‌های لیتوگرافی تصویری» و «فناوری تنظیم و فوکوس خودکار فوتوالکتریک» را برای تکنسین‌های در حال کار گردآوری کرد. در عین حال، او به عنوان عضو هیئت تحریریه مجله «تجهیزات ویژه برای صنعت الکترونیک» نیز فعالیت می‌کند.

دانشگاه شو دوانیی چینهوا یک دوره آموزشی کوتاه در زمینه فناوری میکروماشین‌کاری نوری برگزار کرد.

صنعت تجهیزات ویژه الکترونیک چین در این دوره به سرعت توسعه یافت و از امکانات پشتیبانی کاملی برخوردار است که در کشورهای دیگر نادر است.

بر اساس تحقیق و توسعه بلندمدت، شو دوانیی تیم خود را به طور فعال به سمت توسعه یک "ماشین لیتوگرافی گام به گام" پیشرفته‌تر هدایت کرد.

شاخص‌های طراحی این دستگاه لیتوگرافی جدید در آن زمان در بالاترین سطح بین‌المللی قرار داشت. به عنوان مثال: حداکثر مساحت تراشه‌ای که می‌تواند فتولیتوگرافی شود 10×10 میلی‌متر مربع، وضوح مؤثر واقعی 1.25 میکرون، میزان حرکت میز کار 160×160 میلی‌متر و قابلیت پردازش ویفرهای 4 تا 6 اینچی.

پس از توسعه موفقیت‌آمیز دستگاه فوتولیتوگرافی، سه واحد از آن به طور همزمان به تولید رسید. از این تعداد، یکی در موسسه مهندسی میکرو تسینگهوا برای تحقیقات تجربی نگهداری می‌شود؛ دو دستگاه دیگر برای ارزیابی آزمایشی در اختیار کارخانه ۱۰۹ آکادمی علوم چین و کارخانه دستگاه‌های نیمه‌هادی پکن قرار گرفته‌اند.

آقای وانگ شووو از آکادمی علوم چین از این دستگاه فوتولیتوگرافی برای توسعه انواع مدارهای مجتمع در مقیاس بزرگ استفاده کرده است. در مقایسه با فرآیندهای سنتی، بازده به طور متوسط ​​۲۷ درصد افزایش یافته است.

آقای وانگ شووو از روش جدید افزودن یک لایه محافظ روی ماسک فوتولیتوگرافی که توسط شو دوانیی اختراع شده بود، بسیار قدردانی کرد و همچنین یک شرکت آمریکایی را برای همکاری با تیم شو دوانیی در تولید معرفی کرد.

After this result was reported to the Ministry of Electronic Industry, the relevant leaders attached great importance to it and personally visited the test sites of Tsinghua University and the Chinese Academy of Sciences.

در ژانویه ۱۹۹۱، وزارت صنایع الکترونیک و کمیسیون آموزش ملی، کارشناسان معتبر داخلی مربوطه را گرد هم آوردند و یک جلسه ارزیابی در مقیاس بزرگ و جلسه تبادل فنی در دانشگاه تسینگهوا ترتیب دادند تا نسل سوم "دستگاه لیتوگرافی طرح‌ریزی گام به گام با تراز خودکار" که توسط شو دوانی و دیگران از دانشگاه تسینگهوا توسعه داده شده بود را ارزیابی کنند. جلسه ارزیابی توسط رهبران وزارت صنایع الکترونیک برگزار شد و آقای وانگ شووو، چهره برجسته جامعه فیزیک چین، به عنوان رهبر گروه کارشناسان ارزیابی فعالیت کرد. شو دوانی در این جلسه، تحقیق و توسعه دستگاه‌های لیتوگرافی تسینگهوا را معرفی کرد.

این جلسه ارزیابی بسیار بزرگ و باشکوه بود. علاوه بر لو جینرونگ، مدیر بخش تجهیزات ویژه وزارت صنایع الکترونیک و دیگر رهبران، رهبرانی از وزارت علوم و فناوری و کمیسیون ملی آموزش نیز حضور داشتند. نی ویدو، معاون اجرایی رئیس جمهور چینگهوا در امور تحقیقات علمی، مسئول پذیرایی بود. علاوه بر این، گروهی از نمایندگان تولیدکنندگان تجهیزات ویژه پردازش نیمه هادی از سراسر کشور در آن شرکت داشتند.

آقای وانگ شووو همچنان سبک منحصر به فرد همیشگی خود را حفظ کرد. سخنرانی او مختصر و مفید بود و فقط سه جمله گفت:

«این دستگاه لیتوگرافی بد نیست. امیدوارم همه به‌طور جدی پیشنهادهایی برای اصلاحات ارائه دهند. واحدهای کاربری باید به‌طور فعال در توسعه تجهیزات مشارکت داشته باشند.»

دریافت چنین تأییدی از آقای وانگ شوو بسیار نادر است.

قبل از جلسه ارزیابی، آقای وانگ فهرستی از متخصصان را به شو دوانیی داد و از دانشگاه تسینگهوا خواست تا رسماً از این متخصصان برای تشکیل تیم ارزیابی دعوت کند. علاوه بر این، او گروهی از پرسنل مهندسی و فنی از واحدهای طراحی و ساخت تجهیزات و تولید دستگاه‌های نیمه‌هادی را نیز تعیین کرد تا با رهبران وزارت صنایع الکترونیک همکاری کنند تا آزمایش دستگاه لیتوگرافی را در محل انجام دهند و داده‌های آزمایش را برای بررسی به گروه متخصص کمیته ارزیابی ارسال کنند.

در نهایت، آقای وانگ شووو بر اساس این داده‌ها و نظرات گروه کارشناسی، پیش‌نویس نظر ارزیابی را تهیه کرد و شخصاً نتایج ارزیابی را در جلسه قرائت نمود.

شو دوانی سال‌هاست که در زمینه تجهیزات ویژه صنعت الکترونیک فعالیت دارد و در جلسات مختلف ارزیابی محصول شرکت کرده است، اما هرگز چنین فرآیند ارزیابی سختگیرانه و جدی را تجربه نکرده است.

این جلسه ارزیابی از اهمیت ویژه‌ای برخوردار است.

بنابراین، دانشگاه چینهوا به تنها واحد در چین تبدیل شده است که می‌تواند به‌طور مستقل دستگاه‌های لیتوگرافی پیشرفته در سطح جهانی را توسعه داده و تولید کند.

پس از گذراندن ارزیابی رسمی ملی، نسل سوم «دستگاه لیتوگرافی طرح‌ریزی گام به گام با ترازبندی خودکار» که توسط تیم شو دوانیی توسعه داده شده بود و لنز مورد استفاده در دستگاه، هر دو برنده «جایزه دستاورد ملی علوم و فناوری» شدند.

در مارس ۱۹۹۱، وزارت صنایع الکترونیک تصمیم گرفت این دستگاه را در «اولین نمایشگاه دستاوردهای پیشرفت فناوری شرکت‌های صنعتی ملی» که توسط کمیسیون برنامه‌ریزی دولتی برگزار شد، به نمایش بگذارد. بنابراین، «دستگاه لیتوگرافی طرح‌ریزی گام به گام با ترازبندی خودکار» که توسط دانشگاه تسینگهوا توسعه داده شده بود، در سالن اصلی نمایشگاه پکن قرار گرفت و در معرض دید مخاطبان چینی و خارجی، کارشناسان داخلی و خارجی و خبرنگاران رسانه‌ها قرار گرفت.

پس از آنکه «پیپلز دیلی» (نسخه خارج از کشور)، «بیجینگ دیلی»، تلویزیون پکن و سایر رسانه‌ها این خبر را منتشر کردند، توجه جامعه علمی در کشورهای مختلف را به خود جلب کرد.

در این روز، شو دوانیی تماسی از مرکز نمایشگاه‌های پکن دریافت کرد که می‌گفتند قرار است از یک هیئت خارجی مهم استقبال کنند و از شو دوانیی خواست که شخصاً از آنها پذیرایی کند.

پس از اینکه شو دوانیی به موقع به سالن اصلی نمایشگاه مرکز نمایشگاه‌های پکن رسید، آقای وانگ شووو به همراه یک هیئت خارجی به غرفه دانشگاه چینهوا رفت تا از دستگاه لیتوگرافی پروجکشن اتوماتیک توسعه یافته توسط دانشگاه چینهوا بازدید کند، که بسیاری از خبرنگاران چینی و خارجی نیز او را همراهی می‌کردند.

شو دوانیی نمی‌دانست این افراد چه کسانی هستند، بنابراین جرات نکرد سوال بیشتری بپرسد. او مودبانه آنها را برای بازدید از دستگاه لیتوگرافی پذیرفت و به هر سوالی که پرسیدند پاسخ داد.

در این زمان، جامعه علمی چین اصلاً مفهومی به نام «حقوق مالکیت معنوی» نداشت و نمی‌دانست چگونه باید محرمانگی را حفظ کند. مهم نبود مردم چه می‌پرسیدند، آنها همه چیز را می‌گفتند.

در مارس ۱۹۹۱، نسل سوم «دستگاه لیتوگرافی طرح‌ریزی گام به گام با ترازبندی خودکار» که توسط دانشگاه چینهوا توسعه داده شده بود، در «اولین نمایشگاه دستاوردهای پیشرفت فناوری شرکت‌های صنعتی ملی» در سالن نمایشگاه پکن شرکت کرد. تصویر، شو دوانیی (وسط) را نشان می‌دهد که وضعیت تحقیق و توسعه دستگاه‌های لیتوگرافی چین را به متخصصان حاضر در جلسه معرفی می‌کند.

این کارشناسان خارجی دور دستگاه لیتوگرافی قدم می‌زدند، با دقت بسیار به آن نگاه می‌کردند و سوالات بسیار حرفه‌ای می‌پرسیدند؛ حتی برخی از کارشناسان روی زمین می‌خزیدند، به سمت عقب برمی‌گشتند و با دقت به ساختار داخلی دستگاه لیتوگرافی نگاه می‌کردند.

تنها در آن زمان بود که شو دوانیی فهمید که اعضای این هیئت همگی متخصصان دستگاه‌های لیتوگرافی نوری از ایالات متحده و ژاپن هستند.

وقتی متخصصانی از ایالات متحده و ژاپن با چشمان خود دیدند که چین علی‌رغم تحریم‌های خارجی، به‌طور مستقل یک دستگاه فتولیتوگرافی در سطح جهانی با حقوق مالکیت معنوی کامل توسعه داده است، شگفت‌زده شدند و حتی گفتند: «غیرقابل تصور است!»

اندکی پس از عزیمت متخصصان آمریکایی و ژاپنی، متخصصان فتولیتوگرافی از کشورهای دیگر نیز یکی پس از دیگری از راه رسیدند. در آن زمان، تقریباً همه شرکت‌ها و تولیدکنندگان مشهور خارجی که دستگاه‌های لیتوگرافی تولید می‌کردند، افرادی را برای بازدید و بررسی دستگاه‌های لیتوگرافی که به‌طور مستقل توسط دانشگاه تسینگهوا توسعه داده شده بودند، به پکن می‌فرستادند. همه آنها با دقت نگاه می‌کردند و در پرسیدن سوالات بسیار ماهر بودند. شو دوانیی با رویی دوستانه از این متخصصان خارجی استقبال کرد و به سوالات مختلف مطرح شده توسط آنها در محل پاسخ داد. این متخصصان صمیمانه متقاعد شده بودند که چین به‌طور مستقل دستگاه‌های لیتوگرافی را توسعه داده است و از شو دوانیی به گرمی دعوت کردند تا برای تبادل نظر از آنها بازدید کند. متأسفانه، در بین بازدیدکنندگان، هیچ نماینده‌ای از شرکت هلندی ASML (ASML) که بعدها به غولی در صنعت دستگاه‌های لیتوگرافی جهان تبدیل شد، وجود نداشت. در این زمان، این شرکت هنوز متولد نشده بود.

اندکی پس از پایان نمایشگاه پکن و بازگشت این متخصصان خارجی از چین و بازگشت به خانه، «کمیته هماهنگی پاریس» بین‌المللی اعلام کرد که تحریم صادرات دستگاه‌های لیتوگرافی پروجکشن به چین لغو خواهد شد. ایالات متحده و ژاپن، دو کشوری که در آن زمان عمدتاً «دستگاه‌های لیتوگرافی پروجکشن گام به گام» را در جهان تولید می‌کردند، همزمان اعلام کردند که ممنوعیت صادرات به چین را لغو می‌کنند و می‌توانند چنین دستگاه‌های لیتوگرافی پروجکشنی را با قیمت مناسب‌تری به چین صادر کنند. در عین حال، یک سلاح جادویی بسیار وسوسه‌انگیز ارائه شد - «هر شرکت چینی که دستگاه‌های لیتوگرافی شرکت ما را خریداری کند، می‌تواند از رهبران خود برای بازدید از شرکت ما استقبال کند. بلیط هواپیما رفت و برگشت، اقامت در هتل و تمام هزینه‌های سفر بر عهده شرکت ما خواهد بود.»

در این زمان، کشور تازه درهایش را باز کرده بود. دنیای بیرون برای رهبران شرکت‌های چینی بسیار هیجان‌انگیز و جذاب بود. همه آنها می‌خواستند فرصتی پیدا کنند تا به خارج از کشور بروند، ببینند، تفریح ​​کنند و افق دید خود را گسترش دهند.

در نتیجه، بسیاری از واحدهایی که در ابتدا قصد خرید دستگاه‌های لیتوگرافی پروژکتوری تولید شده توسط دانشگاه تسینگهوا را داشتند، نظر خود را تغییر دادند و تماس گرفتند تا اعلام کنند که دیگر آنها را نمی‌خواهند. حتی کارخانه ۱۰۹ موسسه نیمه‌هادی‌های آکادمی علوم چین، که رابطه همکاری بلندمدتی با دانشگاه تسینگهوا داشت، و سایر واحدهای بزرگ در پکن، شانگهای، تیانجین، ووشی و سایر نقاط، همگی سفارشات خود را لغو کردند. دستگاه لیتوگرافی اتوماتیک جدید که توسط دانشگاه تسینگهوا توسعه و تولید شده است، هیچ بازاری ندارد و فضای زندگی خود را از دست داده است.

در نتیجه، تیم شو دوانی تلاش‌های بی‌شماری را برای توسعه موفقیت‌آمیز دستگاه لیتوگرافی خودکار، که یک تجهیز مهم و کلیدی برای تولید و پردازش تراشه‌ها بود، صرف کرد، اما این دستگاه از کار افتاد. تمام زحمات و تلاش‌های بی‌پایان در طول سال‌ها بی‌نتیجه ماند.

شو دوانیی، دانشمندی که بر توسعه اولین دستگاه لیتوگرافی چین نظارت داشت، دیگر نمی‌تواند دستگاه لیتوگرافی دیگری بسازد. می‌توان غم درونی او را تصور کرد. او در اوج ناامیدی مجبور شد از حوزه تحقیق و توسعه دستگاه لیتوگرافی خداحافظی کند و توجه خود را به تحقیقات بین‌المللی نوظهور دیسک نوری معطوف کند.

از آن زمان، تیم شو دوانیی در دانشگاه تسینگهوا دستاوردهای چشمگیری در زمینه تحقیقات دیسک نوری داشته است. تحقیق و توسعه و تولید دیسک نوری چین در جهان پیشرو است و از نظر تولید، فروش و حجم صادرات رتبه اول جهان را دارد. چین جایگاهی در جهان به خود اختصاص داده و جهان را تحت تأثیر قرار داده است.

شو دوانی یکی از بنیانگذاران اصلی حوزه تحقیقات دیسک نوری در چین شد. او ۶۷ اختراع ثبت شده در چین و ۲ اختراع ثبت شده در ایالات متحده دارد. او بارها به عنوان رئیس کنفرانس‌های بین‌المللی نوری دعوت شده است، "جایزه ملی اختراعات"، بالاترین جایزه علم و فناوری چین، را از آن خود کرده و به عنوان دانشمند ارشد پروژه‌های تحقیقاتی پایه کلیدی ملی منصوب شده است.

پس از اینکه دانشگاه چینهوا تولید دستگاه‌های لیتوگرافی را متوقف کرد، اوضاع بدتر شد. دستگاه‌های فتولیتوگرافی تولید شده در خارج از کشور به سرعت وارد بازار چین شدند و به سرعت بازار این کشور را تصرف کردند.

اکنون که چین «شمشیر خود را از کاخ پایین آورده» و از تحقیق و توسعه و ساخت ماشین‌های لیتوگرافی دست کشیده است، شرکت‌های تولید ماشین‌های لیتوگرافی خارجی هیچ رقیبی ندارند و قیمت ماشین‌های لیتوگرافی پیوسته در حال افزایش است. سال‌ها بعد، ماشین‌های لیتوگرافی خودکار به کالایی کمیاب تبدیل شدند و قیمت آنها به صدها میلیون دلار برای هر واحد رسید که از یک هواپیمای بزرگ گران‌تر بود.

نه تنها گران است، بلکه کشورهای توسعه‌یافته فروش دستگاه‌های لیتوگرافی نوری به چین را نیز ممنوع کرده‌اند و فقط تراشه به چین می‌فروشند. برخی کشورها چین را در عرضه محصولات تراشه‌ای خفه کرده‌اند و شرکت‌های نیمه‌هادی چین تنها می‌توانند در ناامیدی دست و پنجه نرم کنند.

همانطور که شو دوانی پیش‌بینی کرد: «ماشین‌های لیتوگرافی آینده ممکن است نوآوری‌ها و پیشرفت‌های تکنولوژیکی بزرگی داشته باشند.»

پس از آنکه توسعه و تولید ماشین‌های لیتوگرافی در چین متوقف شد، توسعه ماشین‌های لیتوگرافی در خارج از کشور همچنان در حال توسعه و رسیدن به اوج‌های جدید بوده است. اکنون، تراشه‌های تولید شده توسط ماشین‌های لیتوگرافی پیشرفته توسعه یافته توسط کشورهای توسعه یافته به سطح نانومتر رسیده‌اند.

وضعیت بسیار جدی است. رهبرانی که در میان رهبران ارشد، دیدگاه استراتژیک دارند نیز این مشکل را دیده‌اند و امیدوارند که دانشگاه چینهوا تحقیق و توسعه و ساخت دستگاه‌های لیتوگرافی خودکار را از سر بگیرد...

در این زمان، شو دوانی بازنشسته شده بود و اعضای کلیدی تیمش پراکنده شده بودند. سازماندهی مجدد یک تیم تحقیقاتی علمی سطح بالا که به اندازه آن زمان توانمند باشد، کار آسانی نیست!

سلب مسئولیت: این مقاله از «دنیای ادبیات و تاریخ» کپی شده است که از حمایت از حقوق مالکیت معنوی حمایت می‌کند. لطفاً هنگام چاپ مجدد، منبع اصلی و نویسنده را ذکر کنید. در صورت وجود هرگونه نقض، لطفاً برای حذف آن با ما تماس بگیرید.

شماره تلفن شرکت: +86-0755-83044319
فکس/فکس: +86-0755-83975897
ایمیل: 1615456225@qq.com
QQ: 3518641314 مدیر لی

QQ: 332496225 مدیر کیو

آدرس: اتاق ۸۰۹، ساختمان C، ساختمان فناوری ژانتائو، پلاک ۱۰۷۹ خیابان مینزی، منطقه جدید لونگهوا، شنژن