Ngày nay, chip đã len lỏi vào mọi khía cạnh của xã hội hiện đại, từ máy bay, tàu thuyền, vệ tinh và tên lửa đến điện thoại di động và máy nghe nhạc "Walkman" trong tay mọi người, tất cả đều không thể tách rời khỏi chip. Khi các quốc gia do Hoa Kỳ dẫn đầu đàn áp Huawei, "máy khắc quang học" đã trở thành một thuật ngữ tìm kiếm nóng trên Internet, và các bài báo nói về máy khắc quang học tràn lan.

Thực tế là: Trung Quốc không chỉ phát triển các máy quang khắc đẳng cấp thế giới, mà còn tự phát triển và sản xuất chúng bất chấp các lệnh cấm vận và phong tỏa từ bên ngoài, và sở hữu hoàn toàn quyền sở hữu trí tuệ. Thậm chí người ta còn không biết rằng việc phát triển và sản xuất máy quang khắc của Trung Quốc có liên quan mật thiết đến nhà khoa học Xu Duanyi đến từ Quý Châu.

Năm 1955, Xu Duanyi tốt nghiệp trường Trung học số 1 Quý Dương và được nhận vào Đại học Thanh Hoa với thành tích xuất sắc. Sau khi tốt nghiệp chuyên ngành Dụng cụ chính xác của Đại học Thanh Hoa năm 1961, ông ở lại trường làm giảng dạy. Trong thời kỳ Cách mạng Văn hóa, một lượng lớn giảng viên và nhân viên của Đại học Thanh Hoa được đưa đến các trang trại gần hồ Bà Dương ở tỉnh Giang Tây. Dưới sự giám sát của "Đội Tuyên truyền Lao động", họ "cải tạo tư tưởng" và học cách trồng lúa từ những nông dân nghèo và trung lưu. Xu Duanyi là một trong số họ. Năm sau, khi Xu Duanyi, lần đầu làm cha, trở về quê nhà Quý Châu thăm họ hàng, ông đã đưa cậu con trai 2 tuổi đến một trang trại ở Giang Tây, nơi ông dự định sẽ định cư và trở thành một người nông dân suốt đời. Một đêm nọ, ông nhận được một cuộc gọi khẩn cấp từ Bắc Kinh, yêu cầu Xu Duanyi lập tức quay trở lại Bắc Kinh vì có nhiệm vụ quan trọng. Sau khi trở về Bắc Kinh, Xu Duanyi mới biết rằng nhiệm vụ ban đầu của ông là phát triển các thiết bị quan trọng đang rất cần thiết cho ngành công nghiệp bán dẫn và công nghiệp quốc phòng quốc gia - "máy in thạch bản tự động" và "camera sao chép từng bước".

Do đó, Xu Duanyi, một trợ lý huấn luyện viên trẻ đến từ Quý Châu, đã được bổ nhiệm vào thời điểm quan trọng và đảm nhận nhiệm vụ trọng đại này.

Đại học Thanh Hoa đã trang bị cho Xu Duanyi một đội ngũ nghiên cứu và phát triển hùng mạnh. Sau khi tòa nhà Khoa Dụng cụ Chính xác Thanh Hoa hoàn thành, một nhà máy gia công dụng cụ quang học chính xác (cơ sở thử nghiệm 9003) đã được thành lập trên tầng một của tòa nhà. Ông Shen Zhao giữ chức vụ giám đốc khoa kiêm giám đốc nhà máy. Trường đã điều động toàn bộ đội ngũ kỹ sư và kỹ thuật viên của nhà máy, bao gồm hàng trăm thợ lắp ráp lành nghề và các chuyên gia gia công chính xác khác, đến Xu Duanyi để triển khai thống nhất. Trường cũng điều động một nhóm sinh viên tốt nghiệp từ Đại học Thanh Hoa và một nhóm quân nhân về hưu có trình độ cao tham gia nhóm nghiên cứu. Ngoài ra, trường cũng điều động một số giáo viên và kỹ thuật viên chuyên về điều khiển máy tính từ các đơn vị khác. Đội ngũ phát triển bao gồm hàng trăm người từ năm khoa khác nhau trong trường. Đây là một hoạt động nhóm quy mô lớn.

Because the manufacturing technology of photolithography machines is too complex and difficult, the international "Paris Coordinating Committee" (Batumi) has long listed them as cutting-edge technology products and imposed a blockade and embargo on China. At this time, China was isolated from the outside world and it was impossible to obtain any foreign information. Xu Duanyi led his team to develop new equipment. All drawings were designed by himself, and all parts were processed and manufactured in his own workshop. Everything was started from scratch.

Mặc dù Xu Duanyi và các thành viên trong nhóm chưa từng tham gia nghiên cứu, phát triển và sản xuất máy quang khắc trước đây và thiếu kiến ​​thức trong lĩnh vực này, nhưng mọi người đều làm việc rất chăm chỉ và học hỏi trong quá trình làm việc, đạt được tiến bộ nhanh chóng. Điều đáng khen là vào thời điểm đó không có tiền thưởng hay tiền làm thêm giờ, vì vậy tất cả các thành viên trong nhóm đều chủ động làm thêm giờ và làm việc chăm chỉ ngày đêm.

Nhóm của Xu Duanyi bắt đầu từ việc phát triển laser khí heli-neon có thể ổn định tần số bằng giao thoa kế của máy in thạch bản. Sau đó, họ tự thiết kế và chế tạo các thanh dẫn hướng chính xác, ốc vít, bi, động cơ bước, máy tính điều khiển số, hệ thống quang học, thấu kính chiếu khẩu độ lớn, v.v.

Under extremely difficult conditions, after more than a year of hard work, Xu Duanyi's team lived up to expectations and finally developed China's first photolithography machine and step-and-repeat camera in 1971, and put them into large-scale production for use by the national semiconductor industry. This achievement won the National Science and Technology Conference Award in 1978.

Phát triển máy quang khắc đầu tiên của Trung Quốc vào năm 1971.

máy quay lặp bước

Bắt đầu từ năm 1975, Xu Duanyi đã đầu tư vào việc phát triển "máy in thạch bản chiếu từng bước tự động căn chỉnh" bằng cách sử dụng phương pháp in thạch bản mạch tích hợp trực tiếp trên tấm bán dẫn. Năm 1980, nhóm của Xu Duanyi đã hoàn thành việc phát triển "máy in thạch bản chiếu từng bước tự động căn chỉnh" đầu tiên của Trung Quốc, có thể xử lý độ rộng đường kẻ mỏng nhất là 0.8 micron. Nó đã lấp đầy khoảng trống công nghệ trong nước và được đưa vào sản xuất hàng loạt, đưa vào sử dụng. Đây là máy in thạch bản thế hệ thứ hai của Trung Quốc. Thành tựu này đã giành giải nhất Giải thưởng Thành tựu Khoa học và Công nghệ Bắc Kinh lần thứ nhất năm 1981. Cho đến nay, chỉ có một vài quốc gia trên thế giới, như Hoa Kỳ và Nhật Bản, có thể sản xuất loại thiết bị này.

Máy in thạch bản thế hệ thứ hai của Trung Quốc

Năm 1987, Bộ Công nghiệp Điện tử đã tổ chức thành lập "Hiệp hội Công nghiệp Thiết bị Điện tử Chuyên dụng Trung Quốc" (CEPEA), một hiệp hội công nghiệp quốc gia có tư cách pháp nhân được nhà nước phê duyệt và có hơn 100 đơn vị thành viên trên cả nước. Viện Kỹ thuật Vi mô thuộc Đại học Thanh Hoa do Xu Duanyi lãnh đạo là đơn vị duy nhất chuyên nghiên cứu về thiết bị điện tử chuyên dụng trong số các trường đại học trên cả nước vào thời điểm đó.

Ông Xu Duanyi được bầu làm phó chủ tịch Hiệp hội Công nghiệp Thiết bị Điện tử Chuyên dụng Trung Quốc, trực thuộc Bộ Công nghiệp và Thông tin.

Sau khi Hiệp hội Công nghiệp Thiết bị Điện tử Chuyên nghiệp Trung Quốc được thành lập, Xu Duanyi được mời đến giảng dạy tại nhiều đơn vị. Ông đã tổ chức một khóa đào tạo ngắn hạn về công nghệ gia công vi mô quang học tại Đại học Thanh Hoa và biên soạn các tài liệu giảng dạy như "Nguyên lý cấu trúc và thiết kế máy in thạch bản chiếu" và "Công nghệ căn chỉnh và lấy nét tự động quang điện" dành cho các kỹ thuật viên đang làm việc. Đồng thời, ông cũng là thành viên ban biên tập của tạp chí "Thiết bị chuyên dụng cho ngành công nghiệp điện tử".

Xu Duanyi, Đại học Thanh Hoa, đã tổ chức một khóa đào tạo ngắn hạn về công nghệ vi gia công quang học.

Ngành công nghiệp thiết bị chuyên dụng điện tử của Trung Quốc phát triển nhanh chóng trong giai đoạn này và có cơ sở hạ tầng hỗ trợ hoàn chỉnh, điều hiếm thấy ở các nước khác.

Trên cơ sở nghiên cứu và phát triển lâu dài, Xu Duanyi đã dẫn dắt nhóm của mình tích cực thực hiện việc phát triển một "máy in thạch bản chiếu từng bước" tiên tiến hơn.

Các chỉ tiêu thiết kế của máy khắc quang học mới này hướng đến tiêu chuẩn quốc tế cao nhất vào thời điểm đó. Ví dụ: diện tích chip tối đa có thể khắc quang học là 10×10 mm vuông, độ phân giải hiệu dụng thực tế là 1.25 micron, hành trình bàn làm việc là 160×160 mm, và có thể xử lý các tấm wafer 4-6 inch.

After the photolithography machine was successfully developed, three units were put into production at the same time. Among them, one is kept at Tsinghua Micro Engineering Institute for experimental research; the other two are provided to Factory 109 of the Chinese Academy of Sciences and Beijing Semiconductor Device Factory for trial evaluation.

Mr. Wang Shouwu of the Chinese Academy of Sciences has used this photolithography machine to develop a variety of large-scale integrated circuits. Compared with traditional processes, the yield has increased by an average of 27%.

Ông Wang Shouwu đánh giá cao phương pháp mới thêm lớp màng bảo vệ lên mặt nạ quang khắc do Xu Duanyi phát minh, đồng thời giới thiệu một công ty Mỹ hợp tác với nhóm của Xu Duanyi trong sản xuất.

Sau khi kết quả này được báo cáo lên Bộ Công nghiệp Điện tử, các lãnh đạo có liên quan đã rất coi trọng nó và đích thân đến thăm các địa điểm thử nghiệm của Đại học Thanh Hoa và Viện Hàn lâm Khoa học Trung Quốc.

Tháng 1 năm 1991, Bộ Công nghiệp Điện tử và Ủy ban Giáo dục Quốc gia đã triệu tập các chuyên gia có thẩm quyền trong nước và tổ chức một cuộc họp đánh giá quy mô lớn và trao đổi kỹ thuật tại Đại học Thanh Hoa để đánh giá "máy in thạch bản chiếu từng bước tự động căn chỉnh thế hệ thứ ba" do Xu Duanyi và các cộng sự của Đại học Thanh Hoa phát triển. Cuộc họp đánh giá do lãnh đạo Bộ Công nghiệp Điện tử chủ trì, và ông Wang Shouwu, một nhân vật hàng đầu trong cộng đồng vật lý Trung Quốc, giữ vai trò trưởng nhóm chuyên gia đánh giá. Xu Duanyi đã giới thiệu nghiên cứu và phát triển máy in thạch bản của Thanh Hoa tại cuộc họp.

Cuộc họp đánh giá này rất lớn và long trọng. Ngoài ông Lu Jinrong, Giám đốc Vụ Thiết bị Chuyên dụng thuộc Bộ Công nghiệp Điện tử và các lãnh đạo khác, còn có sự tham dự của lãnh đạo Bộ Khoa học và Công nghệ cùng Ủy ban Giáo dục Quốc gia. Ông Ni Weidou, Phó Hiệu trưởng điều hành Đại học Thanh Hoa phụ trách nghiên cứu khoa học, đảm nhiệm công tác tiếp đón. Bên cạnh đó, một nhóm đại diện từ các nhà sản xuất thiết bị chuyên dụng trong ngành chế biến bán dẫn trên cả nước cũng tham gia.

Ông Vương Thọ Vũ vẫn giữ phong cách độc đáo thường thấy. Bài phát biểu của ông ngắn gọn, súc tích và chỉ gồm ba câu:

"This lithography machine is not bad. I hope everyone will seriously provide suggestions for modifications. User units should actively participate in equipment development."

Rất hiếm khi nhận được lời khẳng định như vậy từ ông Wang Shouwu.

Trước cuộc họp thẩm định, ông Wang đã đưa cho ông Xu Duanyi một danh sách các chuyên gia và yêu cầu Đại học Thanh Hoa chính thức mời các chuyên gia này thành lập nhóm thẩm định. Ngoài ra, ông cũng chỉ định một nhóm kỹ sư và nhân viên kỹ thuật từ các đơn vị thiết kế và sản xuất thiết bị và sản xuất linh kiện bán dẫn để làm việc với lãnh đạo Bộ Công nghiệp Điện tử nhằm tiến hành thử nghiệm tại chỗ máy khắc quang và gửi dữ liệu thử nghiệm cho nhóm chuyên gia của ủy ban thẩm định xem xét.

Cuối cùng, ông Wang Shouwu đã soạn thảo một bản báo cáo đánh giá dựa trên các dữ liệu này và ý kiến ​​của nhóm chuyên gia, và đích thân đọc kết quả đánh giá tại cuộc họp.

Xu Duanyi đã có nhiều năm kinh nghiệm trong lĩnh vực thiết bị chuyên dụng cho ngành điện tử và tham gia nhiều cuộc họp thẩm định sản phẩm, nhưng chưa từng trải qua quy trình thẩm định nào khắt khe và nghiêm ngặt như vậy.

Cuộc họp đánh giá này có ý nghĩa mang tính bước ngoặt.

Như vậy, Đại học Thanh Hoa đã trở thành đơn vị duy nhất tại Trung Quốc có khả năng tự phát triển và sản xuất các máy in thạch bản cao cấp đạt tiêu chuẩn quốc tế.

Sau khi vượt qua vòng thẩm định chính thức cấp quốc gia, "máy in thạch bản chiếu từng bước tự động căn chỉnh thế hệ thứ ba" do nhóm của Xu Duanyi phát triển và thấu kính được sử dụng bởi máy này đều đã giành được "Giải thưởng Thành tựu Khoa học và Công nghệ Quốc gia".

In March 1991, the Ministry of Electronics Industry decided to exhibit the machine at the "First National Industrial Enterprise Technological Progress Achievements Exhibition" hosted by the State Planning Commission. Therefore, the "automatic alignment step-by-step projection lithography machine" developed by Tsinghua University was placed in the main exhibition hall of the Beijing Exhibition Hall and displayed to Chinese and foreign audiences, domestic and foreign experts and media reporters.

After "People's Daily" (overseas edition), "Beijing Daily", Beijing TV and other media reported the news, it attracted the attention of the scientific community in various countries.

Vào ngày hôm đó, Xu Duanyi nhận được một cuộc gọi từ Trung tâm Triển lãm Bắc Kinh thông báo rằng họ sắp đón tiếp một phái đoàn nước ngoài quan trọng và đề nghị Xu Duanyi đích thân tiếp đón.

Sau khi Xu Duanyi đến đúng giờ tại sảnh triển lãm chính của Trung tâm Triển lãm Bắc Kinh, ông Wang Shouwu đã cùng một đoàn đại biểu nước ngoài đến thăm gian hàng của Đại học Thanh Hoa để tham quan máy in thạch bản chiếu tự động do trường đại học này phát triển, cùng với nhiều phóng viên trong và ngoài nước.

Xu Duanyi không biết những người này là ai nên không dám hỏi thêm. Ông lịch sự mời họ tham quan máy in thạch bản và trả lời mọi câu hỏi của họ.

At this time, the Chinese scientific community did not have the concept of "intellectual property rights" at all, and they did not know how to keep confidentiality. No matter what people asked, they would tell everything.

In March 1991, the third-generation "automatic alignment step-by-step projection lithography machine" developed by Tsinghua University participated in the "First National Industrial Enterprise Technological Progress Achievements Exhibition" at the Beijing Exhibition Hall. The picture shows Xu Duanyi (middle) introducing the research and development status of China's lithography machines to the experts attending the meeting

Các chuyên gia nước ngoài này đi vòng quanh máy in thạch bản, quan sát rất kỹ và đặt những câu hỏi rất chuyên môn; một số chuyên gia thậm chí còn bò trên mặt đất, quay lưng lại và xem xét cẩn thận cấu trúc bên trong của máy in thạch bản.

Chỉ đến lúc đó, Xu Duanyi mới biết rằng các thành viên trong đoàn đại biểu này đều là các chuyên gia về máy quang khắc đến từ Hoa Kỳ và Nhật Bản.

When experts from the United States and Japan saw with their own eyes that China had independently developed a world-class photolithography machine with complete intellectual property rights despite being blocked and embargoed abroad, they were amazed and even said: "Inconceivable!"

Ngay sau khi các chuyên gia Mỹ và Nhật Bản rời đi, các chuyên gia về quang khắc từ các nước khác cũng lần lượt đến. Vào thời điểm đó, hầu hết các công ty và nhà sản xuất máy quang khắc nổi tiếng nước ngoài đều cử người đến Bắc Kinh tham quan và kiểm tra các máy quang khắc do Đại học Thanh Hoa tự phát triển. Họ đều xem xét rất kỹ lưỡng và đặt rất nhiều câu hỏi. Ông Xu Duanyi đã tiếp đón các chuyên gia nước ngoài một cách thân thiện và trả lời các câu hỏi của họ ngay tại chỗ. Các chuyên gia này đều tin tưởng rằng Trung Quốc đã tự phát triển được máy quang khắc và nhiệt liệt mời ông Xu Duanyi đến thăm và trao đổi. Thật không may, trong số khách tham quan không có đại diện nào từ công ty ASML của Hà Lan, công ty sau này trở thành một gã khổng lồ trong ngành công nghiệp máy quang khắc thế giới. Vào thời điểm đó, công ty này vẫn chưa ra đời.

Ngay sau khi triển lãm Bắc Kinh kết thúc và các chuyên gia nước ngoài rời Trung Quốc trở về nước, "Ủy ban Điều phối Paris" quốc tế tuyên bố dỡ bỏ lệnh cấm xuất khẩu máy in thạch bản chiếu hình sang Trung Quốc. Hoa Kỳ và Nhật Bản, hai quốc gia chủ yếu sản xuất "máy in thạch bản chiếu hình từng bước" trên thế giới vào thời điểm đó, đồng thời tuyên bố sẽ dỡ bỏ lệnh cấm xuất khẩu sang Trung Quốc và có thể xuất khẩu loại máy in thạch bản chiếu hình này sang Trung Quốc với giá ưu đãi hơn. Đồng thời, một "vũ khí thần kỳ" rất hấp dẫn được đưa ra - "Bất kỳ công ty Trung Quốc nào mua máy in thạch bản của công ty chúng tôi đều được hoan nghênh cử lãnh đạo đến thăm công ty. Vé máy bay khứ hồi, chỗ ở khách sạn và tất cả chi phí đi lại sẽ do công ty chúng tôi chi trả."

At this time, the country had just opened. The outside world was very exciting and very attractive to the leaders of Chinese companies. They all wanted to find an opportunity to go abroad to see, have fun and broaden their horizons.

Kết quả là, nhiều đơn vị ban đầu có kế hoạch mua máy in thạch bản chiếu do Đại học Thanh Hoa sản xuất đã thay đổi ý định và gọi điện nói rằng họ không còn muốn mua nữa. Ngay cả Nhà máy 109 thuộc Viện Bán dẫn của Viện Hàn lâm Khoa học Trung Quốc, vốn có mối quan hệ hợp tác lâu dài với Đại học Thanh Hoa, và các đơn vị lớn khác ở Bắc Kinh, Thượng Hải, Thiên Tân, Vô Tích và các nơi khác, đều hủy đơn đặt hàng. Máy in thạch bản tự động mới do Đại học Thanh Hoa phát triển và sản xuất không có thị trường, và nó đã mất đi chỗ đứng của mình.

Kết quả là, nhóm của Xu Duanyi đã bỏ ra vô vàn công sức để phát triển thành công máy in thạch bản tự động, một thiết bị quan trọng và then chốt cho việc sản xuất và gia công chip, nhưng cuối cùng nó đã hỏng. Tất cả công sức và nỗ lực không ngừng nghỉ trong nhiều năm đều trở nên vô ích.

Xu Duanyi, nhà khoa học chủ trì phát triển máy in thạch bản đầu tiên của Trung Quốc, không còn khả năng chế tạo thêm một chiếc máy in thạch bản nào nữa. Có thể hình dung được nỗi buồn trong lòng ông. Trong tuyệt vọng, ông buộc phải từ bỏ lĩnh vực nghiên cứu và phát triển máy in thạch bản, và chuyển sự chú ý sang lĩnh vực nghiên cứu đĩa quang đang nổi lên trên phạm vi quốc tế.

Kể từ đó, nhóm nghiên cứu của Xu Duanyi tại Đại học Thanh Hoa đã đạt được những thành tựu đáng kể trong lĩnh vực nghiên cứu đĩa quang. Nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất đĩa quang của Trung Quốc đang dẫn đầu thế giới, với sản lượng, doanh số và xuất khẩu đứng đầu thế giới. Trung Quốc đã khẳng định vị thế của mình trên thế giới và gây ấn tượng mạnh mẽ.

Xu Duanyi là một trong những người tiên phong trong lĩnh vực nghiên cứu đĩa quang tại Trung Quốc. Ông sở hữu 67 bằng sáng chế của Trung Quốc và 2 bằng sáng chế của Mỹ. Ông đã nhiều lần được mời làm chủ tọa các hội nghị quang học quốc tế, đoạt giải thưởng "Phát minh Quốc gia", giải thưởng khoa học và công nghệ cao nhất của Trung Quốc, và được bổ nhiệm làm nhà khoa học trưởng của các dự án nghiên cứu cơ bản trọng điểm quốc gia.

After Tsinghua University stopped producing lithography machines, the situation took a turn for the worse. Photolithography machines produced abroad have been rushing in and quickly seized the Chinese market.

Giờ đây, khi Trung Quốc đã "rút kiếm khỏi cung" và từ bỏ việc nghiên cứu, phát triển và sản xuất máy in thạch bản, các công ty sản xuất máy in thạch bản nước ngoài không còn đối thủ cạnh tranh, và giá máy in thạch bản liên tục tăng cao. Nhiều năm sau, máy in thạch bản tự động trở thành mặt hàng hiếm, giá thành tăng vọt lên hàng trăm triệu đô la mỗi chiếc, đắt hơn cả một chiếc máy bay cỡ lớn.

Không chỉ đắt đỏ, các nước phát triển còn cấm bán máy quang khắc cho Trung Quốc và chỉ bán chip cho nước này. Một số quốc gia đã bóp nghẹt nguồn cung sản phẩm chip cho Trung Quốc, khiến các công ty bán dẫn của Trung Quốc chỉ có thể vật lộn trong tuyệt vọng.

As Xu Duanyi predicted: "Future lithography machines may have major technological innovations and developments."

Sau khi việc phát triển và sản xuất máy khắc quang học ở Trung Quốc bị đình trệ, việc phát triển máy khắc quang học ở nước ngoài đã tiếp tục phát triển và đạt đến những tầm cao mới. Hiện nay, các chip được sản xuất bởi các máy khắc quang học cao cấp do các nước phát triển sản xuất đã đạt đến cấp độ nanomet.

Tình hình rất nghiêm trọng. Các nhà lãnh đạo có tầm nhìn chiến lược trong số các lãnh đạo cấp cao cũng đã nhận thấy vấn đề và hy vọng Đại học Thanh Hoa sẽ tiếp tục nghiên cứu, phát triển và sản xuất máy in thạch bản tự động...

Vào thời điểm đó, Xu Duanyi đã nghỉ hưu và các thành viên chủ chốt trong nhóm của ông đã tản mát khắp nơi. Việc tái tổ chức một nhóm nghiên cứu khoa học cấp cao, vốn rất giỏi giang như trước đây, quả là không dễ dàng!

Lưu ý: Bài viết này được sao chép từ "Thế giới Văn học và Lịch sử", một trang web ủng hộ việc bảo vệ quyền sở hữu trí tuệ. Vui lòng ghi rõ nguồn và tác giả khi đăng lại. Nếu phát hiện vi phạm bản quyền, vui lòng liên hệ với chúng tôi để gỡ bỏ.

Số điện thoại công ty: +86-0755-83044319
Số fax: +86-0755-83975897
Email: 1615456225@qq.com
QQ: 3518641314 Quản lý Li

QQ: 332496225 Quản lý Qiu

Địa chỉ: Phòng 809, Tòa nhà C, Tòa nhà Công nghệ Zhantao, Số 1079 Đại lộ Minzhi, Khu Longhua Mới, Thâm Quyến