中国の電子情報産業においてサプライチェーンのセキュリティと完全なローカルエコシステムを追求することは、段階的かつ困難なプロセスです。最初のレベルはチップの独立した開発と生産であり、その後国内の装置の需要が導き出されます。しかし事実は、たとえ設備が国産できたとしても十分ではないことを示しています。米国は中国のウェーハ製造会社を制裁し、一部の中国の装置メーカーは米国の禁止措置に屈せざるを得なかった。根本的な原因は、主要なコンポーネントを米国に依存していることにあった。設備全体と比較すると、スペアパーツの市場規模は大きくありませんが、まさに小規模から大規模までの典型的なボトルネックリンクです。

2020年の中国本土のウエハーライン向け8インチと12インチの前工程装置部品（部品）の購入額は1億ドルを超えた。中国本土のSamsung、Hynix、TSMCなどの海外メーカーの生産ラインを除くと、中国地場ウェーハメーカー（主にSMIC、華宏集団、華潤微電子、長江貯蔵庫などを含む）の購入額を換算12インチフロント装備品、以下同）は約430億10万ドル。中国ウェーハメーカーが購入する装置部品は主に石英、高周波発生器、各種ポンプ等であり、部品購入額のXNUMX％以上を占めています。また、各種バルブ（Valve）、吸引カップ（Chuck）、反応室用シャワーヘッド（Shower Head）、エッジリング（Edge Ring）などの部品の調達比率も比較的高いです。

8年に中国ウェーハメーカーが購入した12～2020インチウェーハ装置部品の製品構成

上記主要部品のうち、現地化率が10％を超えるのは石英完成品、シャワーヘッド、エッジリング等で、残りは比較的現地化度が低い、特にバルブ、ゲージ、Oリング等です。輸入に依存します。 Xinmou の概要によると、定位率が低い部品は一般に次の特性の XNUMX つ以上を満たしています。

1. 複雑な電子・機械製品は技術開発が難しく、高い精度が求められます。たとえば、RF 発生器は、キャビティ内のプラズマの濃度と均一性に直接関係します。これは、エッチングや PECVD などの重要なマシンの最も重要なコンポーネントの XNUMX つです。家庭用RF発生器の主な技術的問題は、電源電圧や周波数などのパラメータが十分ではないことです。 AEなどの外資系企業と比べると安定しており一定の差があります。別の例はポンプです。中国の瀋陽科学計器は中国のウェーハライン用ドライポンプの主要サプライヤーの一つとなっているが、半導体の高真空レベルはより高価なクライオポンプやターボポンプでしか実現できず、これは中国メーカーの強みではない。ゲージも同様です。中国の機器産業は、一般的な真空測定の要件のみを満たすことができますが、半導体技術の高精度要件を満たすことはできません。

2. 材料に対する高い要求。中国メーカーは機械加工や成形では強いが、素材産業の基盤は弱い。バルブ、シャワーヘッド、セラミックなどの部品は、中国メーカーは図面通りの形状は作れますが、材料や表面処理の問題が解決できないことが多く、基礎的な部分で開発が制限されています。

3. 市場は小さく、細分化されています。たとえば、ゲージ、MFC、O リングなどのコンポーネントには、精度や材料に対する高い要件があるだけでなく、半導体レベルの製品の市場規模は非常に小さいです。市場規模が小さいだけでなく、製品によっては多種多様な製品があり、種類によって動作原理が大きく異なります。この市場は典型的に細分化された特徴を持っており、中国メーカーの関心と意欲は十分ではありません。

8～12インチウェーハ装置部品サプライヤーと自給率

半導体製造装置部品のスタックネック問題を解決するには、まず国内のウエハーファブや装置工場がこの問題を重視し、現地の部品メーカーと協力して重要な問題に共同で取り組む必要がある。地方のウェーハラインは、国内の設備や部品の検証の機会をあえて与え、大規模な生産ラインの組織と調整の役割を効果的に果たさなければならない。 OEMメーカーはその両端を直列に接続する役割を果たし、国内部品メーカーの認証を積極的に推進し、顧客に推奨すべきである。機械、電子、化学分野の装置部品メーカーは、ファブや装置工場の強力な支援を受けながら、半導体事業の積極的な拡大・拡大を図り、半導体装置のニーズに応えるハイエンド製品の開発を推進すべきである。独自の技術基盤。中国の部品メーカーの多くは基本技術を習得しているが、一時的に半導体の基準を満たすことができなくなっている。強力な顧客の推進により、チャンスがないわけではありません。国内の石英、RF ジェネレーター、シャワー ヘッド、エッジ リング、MFC、セラミック、その他のコンポーネントはウェーハ ラインで広く検証されており、バッチで出荷されることもあります。今後は市場をさらに安定させ、米国への依存から徐々に脱却していくが、時期はさまざまだ。あるのは長さだけです。

第二に、私たちは依然として海外の企業と技術リソースに注意を払う必要があります。国際的な機器大手でさえ、本土の生産ラインの顧客に便利にサービスを提供するために、一部の部品やコンポーネントの国産化を推進しています。典型的なケース: 世界的な水晶生産能力の逼迫により、国際的な装置大手がフィリピンやパシフィック・クォーツなどの国内水晶材料メーカーの認証を次々と通過させ、自社の水晶完成品が国内ウェーハラインに参入する道を開いた。さらに、Shengong Semiconductor、Jingjiang Pioneer などのメーカーも、国際的な機器大手によって認定された製品を多数提供しています。感染症の影響を受けて、本土の顧客を保護するために地元の部品サプライチェーンを構築する国際的な機器大手の熱意も大幅に高まっている。関連部門は、中国における国際的な装置大手の発展を支援し続ける一方で、国内部品サプライチェーンの構築を支援し、半導体生産リンクの制御可能なエコシステムを構築するための要件や期待に応えるべきである。一部の日本や欧州の部品メーカーは、現地のウェーハ生産能力が徐々に縮小しているため、急成長する中国本土市場への関心を高めており、これは中国資本にとって自社技術の中国での産業化を支援する機会にもなっている。

最後に、市場規模が小さすぎて国内メーカーが参入しようとしない一部の部品については、米国の禁止措置で最も影響を受ける一部の企業のみが主な責任を負い、関連部門の支援を得てチームに投資できる。自立して自分の問題を解決すること。カードネックの脅威。経済的に成り立たない分野については、市場以外の手段でしか問題を解決できません。現時点では、自分自身に尋ねて、非現実的な幻想を持たない方が良いです。

免責事項: この記事は、知的財産権の保護をサポートするために、Wang Xiaolong の「Xinmou Research」から転載されたものです。転載元と著者を明記してください。侵害がある場合は、削除するためにご連絡ください。