중국 전자정보 산업의 공급망 보안과 완전한 현지 생태계를 추구하는 것은 단계별로 어려운 과정입니다. 초기 단계는 칩의 자체 개발 및 생산이며, 이후 국산 장비에 대한 수요가 도출됩니다. 하지만 장비를 국산화한다고 해도 턱없이 부족하다는 사실이 드러난다. 미국은 중국 웨이퍼 제조 기업을 제재했고, 일부 중국 장비 제조업체는 미국의 제재에 굴복해야 했다. 근본 원인은 핵심 부품을 미국에 의존했기 때문입니다. 전체 장비에 비해 예비 부품의 시장 규모는 크지 않지만 소형에서 대형으로 이어지는 전형적인 병목 고리입니다.

2020년 중국 본토 웨이퍼 라인용 8인치, 12인치 전공정 장비 부품(부품) 구매금액이 1억 달러를 넘어섰다. 중국 본토에 있는 삼성, 하이닉스, TSMC 등 해외 제조업체의 생산라인을 제외하면 중국 현지 웨이퍼 제조업체(주로 SMIC, Hua Hong Group, China Resources Microelectronics, Yangtze River Storage 등 포함)의 구매 금액은 12인치입니다. 및 430인치 전면장비 부품(아래 동일)은 약 10억 XNUMX천만 달러 규모이다. 중국 웨이퍼 제조업체가 구매하는 장비 부품에는 주로 Quartz, RF Generator, 각종 펌프 등이 포함되어 부품 구매 금액의 XNUMX% 이상을 차지합니다. 이 밖에도 각종 밸브(Valve), 석션컵(Chuck), 반응실 샤워헤드(Shower Head), 엣지링(Edge Ring) 등 기타 부품 조달 비중도 상대적으로 높다.

8년 중국 웨이퍼 제조사가 구매한 12~2020인치 웨이퍼 장비 부품의 제품 구조

위에서 언급한 주요 부품 중 Quartz 완제품, 샤워헤드, Edge ring 등이 국산화율이 10% 이상이며, 나머지 부품, 특히 Valve, Gauge, O-ring 등은 국산화율이 상대적으로 낮다. 수입품에 따라 다릅니다. Xinmou의 요약에 따르면 국산화율이 낮은 부품은 일반적으로 다음 특성 중 하나 이상을 충족합니다.

1. 복잡한 전자 및 기계제품은 기술개발이 어렵고 높은 정밀도를 요구한다. 예를 들어, RF 발생기는 캐비티의 플라즈마 농도 및 균일성과 직접적인 관련이 있습니다. Etch, PECVD 등 중요 장비의 가장 중요한 부품 중 하나입니다. 국내 RF 발생기의 주요 기술 문제는 전원 전압, 주파수 등의 매개 변수가 충분하지 않다는 것입니다. AE 등 외국업체에 비해 안정적이고 어느 정도 격차가 있는 편이다. 또 다른 예는 펌프입니다. 중국의 Shenyang Scientific Instruments가 중국 웨이퍼 라인용 건식 펌프의 주요 공급업체 중 하나가 되었지만, 반도체의 고진공 수준은 더 높은 가격의 크라이오펌프와 터보 펌프를 통해서만 달성할 수 있으며 이는 중국 제조업체의 강점이 아닙니다. 게이지도 마찬가지다. 중국 기기 산업은 일반 진공 측정 요구 사항만 충족할 수 있지만 반도체 기술의 고정밀 요구 사항은 충족할 수 없습니다.

2. 재료에 대한 높은 요구 사항. 중국 제조사들은 가공, 성형보다는 강하지만 소재산업 기반은 취약하다. 밸브, 샤워 헤드, 세라믹 및 기타 부품은 중국 제조업체가 도면에 따라 형상을 만들 수 있지만 재료 및 표면 처리 문제를 해결할 수 없는 경우가 많아 기초에 따라 개발이 제한됩니다.

3. 시장은 작고 파편화되어 있습니다. 예를 들어 게이지, MFC, O-링 및 기타 부품은 정밀도와 재료에 대한 요구 사항이 높을 뿐만 아니라 반도체 수준 제품의 시장 규모도 매우 작습니다. 시장 규모가 작을 뿐만 아니라 일부 제품에는 다양한 제품이 있으며 다양한 유형의 작동 원리가 크게 다릅니다. 전형적인 단편화된 특성을 지닌 시장이고, 중국 제조사들은 관심과 동기가 부족합니다.

8~12인치 웨이퍼 장비 부품 공급업체 및 자급률

반도체 생산장비 부품의 막힘 문제를 해결하려면 우선 국내 웨이퍼 팹과 장비공장이 이를 중요하게 여기고, 국내 부품업체와 협력해 핵심 문제를 공동으로 해결해야 한다. 국내 웨이퍼 라인은 감히 국내 장비 및 부품 검증 기회를 제공하고 대규모 생산 라인 조직 및 조정 역할을 효과적으로 수행해야 합니다. OEM은 두 끝을 직렬로 연결하는 역할을 해야 하며, 국내 부품 제조사의 인증을 적극적으로 홍보하고 고객에게 권장해야 한다. 팹과 장비공장의 전폭적인 지원을 바탕으로 기계, 전자, 화학 분야의 장비부품 제조사들이 반도체 사업을 적극적으로 확장·확대하고, 이를 기반으로 반도체 장비 수요에 부응하는 고급 제품을 개발하도록 독려해야 한다. 그들만의 기술적 기반. 대부분의 중국 부품 제조업체는 기본 기술을 습득했지만 일시적으로 반도체 표준을 충족하지 못합니다. 강력한 고객이 이끄는 기회가 없는 것은 아닙니다. 국내 석영, RF 발생기, 샤워 헤드, 엣지 링, MFC, 세라믹 및 기타 구성 요소는 웨이퍼 라인에서 널리 검증되었으며 일괄 배송까지 되었습니다. 앞으로는 시장을 더욱 안정시키고 점차 미국에 대한 의존도를 해소할 예정이지만 시기는 다양하다. 길이만 있습니다.

둘째, 우리는 여전히 해외 기업과 기술 자원에 관심을 기울여야 합니다. 국제적인 거대 장비 기업들도 본토 생산 라인 고객에게 편리하게 서비스를 제공하기 위해 일부 부품의 국산화를 추진하고 있습니다. 전형적인 사례: 글로벌 Quartz 생산 능력의 강화로 인해 국제 장비 거대 기업은 필리핀 및 Pacific Quartz와 같은 국내 Quartz 재료 제조업체의 인증을 연속적으로 통과하여 Quartz 완제품이 국내 웨이퍼 라인에 진입할 수 있는 길을 열었습니다. 또한 Shengong Semiconductor, Jingjiang Pioneer 및 기타 제조업체도 국제 장비 대기업의 인증을 받은 다수의 제품을 보유하고 있습니다. 전염병의 영향으로 본토 고객을 보호하기 위해 현지 부품 공급망을 구축하려는 국제 장비 거대 기업의 열정도 크게 높아졌습니다. 관련 부서는 중국의 국제 장비 대기업의 발전을 지속적으로 지원하는 동시에 국내 부품 공급망 구축 지원에 대한 요구 사항이나 기대에 부응하고 제어 가능한 반도체 생산 링크 생태계를 조성해야 합니다. 일부 일본 및 유럽 부품 제조업체는 현지 웨이퍼 생산 능력이 점진적으로 축소됨에 따라 급성장하는 중국 본토 시장에 점점 더 관심을 갖고 있으며, 이는 또한 중국 자본이 중국에서 기술을 산업화하는 데 도움을 줄 수 있는 기회를 제공합니다.

마지막으로, 시장 규모가 너무 작고 현지 제조업체가 진출할 의사가 없는 일부 부품의 경우 미국 금지로 가장 큰 영향을 받는 일부 회사만이 주요 책임을 맡을 수 있으며 관련 부서의 지원을 받아 팀에 투자합니다. 자립하고 자신의 문제를 해결하는 것. 카드 넥의 위협. 경제적으로 실행 가능하지 않은 영역의 경우 비시장적 수단을 통해서만 문제를 해결할 수 있습니다. 이때는 스스로에게 물어보는 것이 좋으며, 비현실적인 환상을 품지 않는 것이 좋습니다.

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