Semikonduktor telah memasuki tingkat pemrosesan atom. Pembuatan perangkat semikonduktor dengan presisi ini membutuhkan integrasi pengetahuan dan teknologi dari lebih dari 50 disiplin ilmu. Selain itu, akurasi pemrosesan hanyalah salah satu dimensinya. Hasil produksi sangat penting bagi manufaktur semikonduktor. Oleh karena itu, keseragaman, stabilitas, pengulangan, keandalan, dan kebersihan semuanya penting. Terdapat lebih dari 1,000 tahapan pemrosesan semikonduktor canggih. Jika ada masalah di salah satu tahapan, akan sulit untuk memproduksi chip yang memenuhi persyaratan kinerja produk dan hasil produksi.

Menurut statistik dari organisasi riset pasar SEMI, Tiongkok daratan menjadi pasar regional terbesar di dunia untuk peralatan semikonduktor untuk pertama kalinya pada tahun 2020, dengan penjualan meningkat 39% dari tahun sebelumnya menjadi US$18.72 miliar; Taiwan berada di peringkat kedua, dengan penjualan produsen peralatan di Taiwan mencapai US$17.15 miliar pada tahun 2020; Korea Selatan berada di peringkat ketiga, dengan penjualan meningkat 61% dari tahun sebelumnya menjadi US$16.08 miliar; Jepang berada di peringkat keempat, dengan penjualan juga mencapai US$7.58 miliar. Asia Timur telah menjadi pusat persaingan global peralatan semikonduktor, dengan total pengeluaran US$59.53 miliar pada tahun 2020, yang menyumbang 83.6% dari total pengeluaran global untuk peralatan semikonduktor (US$71.2 miliar) pada tahun tersebut. (Pengingat: Untuk informasi terkait peralatan semikonduktor, silakan kunjungi halaman belakang untuk membalas)Peralatan semikonduktor】menerima)

Akibat meningkatnya dampak geopolitik pada rantai pasokan semikonduktor, persaingan untuk investasi kapasitas produksi semikonduktor di berbagai pasar regional akan semakin sengit pada tahun 2021. TSMC dan Samsung sama-sama telah menyesuaikan rencana belanja modal mereka untuk semikonduktor pada tahun 2021 menjadi lebih dari US$30 miliar. Kedua perusahaan tersebut bersaing ketat dalam kemajuan produksi massal proses canggih. Keduanya berharap dapat memproduksi massal proses 3-nanometer pada tahun 2022. Atas seruan pemerintah AS, TSMC dan Samsung juga akan mendirikan pabrik di Amerika Serikat. Tidak diragukan lagi bahwa tahun 2021 akan menjadi tahun yang menguntungkan bagi produsen peralatan semikonduktor. Namun, karena pembatasan yang relevan, Tiongkok daratan tidak dapat membeli mesin litografi EUV kelas atas dan peralatan lainnya, dan mungkin akan sulit untuk mempertahankan posisinya sebagai pasar peralatan terbesar.

Menurut Institut Penelitian Teknologi Industri Taiwan (selanjutnya disebut sebagai Institut Penelitian Teknologi Industri Taiwan), pasar regional yang berbeda memiliki tujuan yang berbeda untuk pengembangan industri semikonduktor: Sebagai pasar aplikasi semikonduktor terbesar di dunia, Tiongkok daratan tidak diragukan lagi berharap untuk mempercepat pengejaran teknologi dalam konteks ancaman terhadap keamanan rantai pasokan untuk mengurangi situasi saat ini di mana Tiongkok dikendalikan oleh pihak lain di mata rantai utama seperti manufaktur, peralatan, dan material; dan Amerika Serikat, sebagai pemimpin rantai industri semikonduktor global, akan terus memperkuat kontrol ekspor peralatan manufaktur chip kelas atas ke Tiongkok daratan, dan Amerika Serikat juga akan memperkenalkan kebijakan baru untuk mengatasi penurunan kapasitas manufaktur wafer AS dalam beberapa tahun terakhir; sebagai dua wilayah dengan kepadatan manufaktur wafer tertinggi di dunia, Taiwan dan Korea Selatan diharapkan untuk terus memimpin tren pengembangan proses manufaktur wafer. Kedua wilayah ini juga akan menggunakan kemampuan manufaktur mereka yang kuat untuk meningkatkan kemandirian material dan peralatan hulu.

Arah pengembangan teknologi canggih

Setelah 28 nanometer, proses transistor planar mencapai batasnya, dan FinFET (fin transistor) melanjutkan Hukum Moore, mendorong node proses hingga di bawah 10 nanometer saat ini. Namun, jalur FinFET mendekati batasnya. Samsung akan menjadi yang pertama mengadopsi struktur GAA (gate all around) pada proses 3nm, sementara TSMC akan melanjutkan struktur FinFET pada node 3nm dan kemudian mengadopsi struktur GAA pada node 2nm. Institut Penelitian Teknologi Industri Taiwan percaya bahwa Intel telah mengalami masalah dalam pembuatan wafer. Proses 7 nanometer (catatan: ketiga perusahaan memiliki definisi ukuran proses yang berbeda dan tidak cocok untuk perbandingan numerik langsung) mungkin tertunda hingga tahun 2023 sebelum produksi massal. Diperkirakan Intel juga akan beralih ke arsitektur GAA pada node 5 nanometer.

Sumber: Institut Penelitian Teknologi Industri Taiwan

GAA, singkatan dari Gate-All-Around, adalah transistor teknologi gerbang melingkar, juga disebut GAAFET. Konsep ini diusulkan sejak awal, dalam sebuah artikel yang diterbitkan oleh Dr. Cor Claeys dan tim risetnya di IMEC di Belgia pada tahun 1990. GAAFET setara dengan versi yang lebih baik dari 3D FinFET. Struktur transistor di bawah teknologi ini telah berubah lagi. Gerbang dan drain tidak lagi berupa sirip, tetapi menjadi "batang kecil" yang melewati gerbang secara vertikal. Dengan cara ini, gerbang dapat melingkari sumber dan drain di semua sisi.

Sumber: Institut Penelitian Teknologi Industri Taiwan

Dibandingkan dengan FinFET, semikonduktor sumber dan drain aslinya berbentuk sirip (Fin), tetapi sekarang gerbangnya juga berbentuk sirip. Oleh karena itu, GAAFET dan 3D FinFET memiliki banyak kesamaan dalam prinsip dan ide implementasinya - yang merupakan keuntungan besar bagi pabrik. Dari tiga permukaan kontak menjadi empat permukaan kontak, dan juga terbagi menjadi beberapa permukaan empat kontak, jelas bahwa kemampuan gerbang untuk mengontrol arus telah ditingkatkan lebih lanjut.

Dibandingkan dengan proses FinFET, struktur GAA memiliki area kontak gerbang yang lebih besar, yang meningkatkan kemampuan transistor untuk mengontrol saluran konduktif dan secara signifikan meningkatkan parameter parasitik seperti kapasitansi. Oleh karena itu, dapat mengurangi tegangan operasi, mengurangi arus bocor, mengurangi konsumsi daya dan suhu operasi, yang kondusif untuk meningkatkan integrasi dan melanjutkan Hukum Moore.

Karena proses produksi yang dibutuhkan untuk struktur baru ini mirip dengan transistor sirip, langkah-langkah proses kuncinya hampir sama, dan peralatan serta pencapaian teknologi yang ada dapat terus digunakan. Bagi TSMC dan Samsung, ini tidak diragukan lagi merupakan solusi penggantian jalur teknologi dengan biaya terendah. Namun, persyaratan GAA untuk akurasi pemrosesan semakin meningkat, membutuhkan teknologi deposisi selektif regional dan kemampuan pemrosesan tingkat atom. Oleh karena itu, peningkatan pentingnya rekayasa material juga akan mendorong lebih banyak peluang bisnis untuk peralatan deposisi dan etsa.

Pasar peralatan front-end semikonduktor dikendalikan oleh lima raksasa tersebut.

Meskipun lebih dari 80% peralatan dunia akan dijual ke Asia Timur pada tahun 2020, selain Jepang, Tiongkok (Daratan ditambah Taiwan) dan Korea Selatan tidak memiliki banyak pengaruh dalam industri peralatan. Lima produsen peralatan semikonduktor front-end (yaitu manufaktur wafer, pengemasan adalah back-end) teratas di dunia, Applied Materials (AMAT), ASML (ASML), Lam (Lam), Tokyo Electronics (TEL), dan KLA (KLA) menguasai lebih dari 70% pangsa pasar. Di antara mereka, hanya Tokyo Electronics yang berkantor pusat di Asia Timur, dan sisanya adalah perusahaan Amerika dan Eropa.

Sumber: Institut Penelitian Teknologi Industri Taiwan

Secara spesifik, Applied Materials menempati peringkat pertama. Pendapatannya pada tahun 2020 adalah US$17.2 miliar, di mana bisnis semikonduktor menyumbang sekitar 70%. Applied Materials memiliki berbagai macam peralatan semikonduktor, termasuk peralatan PVD (deposisi film tipis) yang mencakup 38% dari dunia, peralatan CMP (penggilingan dan pemolesan) yang mencakup 70%, peralatan etsa yang mencakup 15%, dan implanter ion yang mencakup 67%.

ASML menempati peringkat kedua, dengan pendapatan sebesar 13.98 miliar euro pada tahun 2020. ASML adalah produsen utama mesin litografi, dan saat ini merupakan satu-satunya pemasok mesin litografi EUV (ultraviolet ekstrem) di dunia. Berkat upaya TSMC, Samsung, dan Intel dalam mengembangkan proses canggih, ASML menjual 31 mesin litografi EUV pada tahun 2020, dengan total penjualan 4.5 miliar euro. 31 mesin litografi EUV ini saja menyumbang 32% dari total pendapatannya. Saat ini, ASML bekerja sama dengan mitra rantai pasokan untuk bersama-sama mengembangkan teknologi pemrosesan litografi yang lebih canggih. Misalnya, mereka akan meluncurkan beberapa sistem deteksi dan pemindaian berkas elektron pada tahun 2020, dan membatasi interferensi antar berkas elektron hingga kurang dari 2%, yang sesuai untuk proses di atas node 5 nanometer. ASML juga bekerja sama dengan Lam dan imec untuk mengembangkan teknologi photoresist kering guna meningkatkan resolusi EUV dan mengurangi jumlah photoresist. Selain itu, perusahaan ini juga bekerja sama dengan Lasertec untuk mengembangkan teknologi inspeksi masker EUV generasi baru guna mengurangi biaya, dan bekerja sama dengan TSMC untuk mengembangkan teknologi pembersihan masker EUV generasi baru guna mengurangi biaya.

Penjualan peralatan Tokyo Electronics pada tahun 2020 mencapai US$10.37 miliar, menempati peringkat ketiga. Pangsa pasar Tokyo Electronics untuk peralatan pelapisan dan pengembangan mencapai 91% dari pangsa pasar global, di mana mesin pelapisan dan pengembangan EUV menguasai seluruh pangsa pasar, mesin etsa menguasai 25%, peralatan deposisi menguasai 37%, dan peralatan pembersihan menguasai 27%. Dari tahun 2020 hingga 2022, Tokyo Electronics berencana untuk menginvestasikan 400 miliar yen dalam dana R&D, dengan fokus pada deposisi selektif, etsa cerdas, pembersihan fluida superkritis, dan arah teknologi lainnya.

Pendapatan Lam Semiconductor pada tahun 2020 adalah US$10.05 miliar, menempati peringkat keempat. Lam adalah pemimpin dunia dalam peralatan etsa, dengan bisnis manufaktur memorinya menyumbang 57% dan teknologi logika menyumbang 43%. Ini adalah satu-satunya perusahaan di antara lima produsen peralatan teratas yang bisnis memorinya menyumbang lebih dari 50%. Seperti yang disebutkan sebelumnya, Lam dan ASML bekerja sama dengan imec untuk mengembangkan teknologi photoresist kering EUV.

Pendapatan Kelei Semiconductor pada tahun 2020 adalah US$5.81 miliar, menempati peringkat kelima. Kelei adalah pemimpin dunia dalam peralatan inspeksi wafer, dengan pangsa pasar lebih dari 50%. Kelei juga berinvestasi dalam pengembangan teknologi pengukuran cacat berkas elektron untuk struktur yang lebih kecil dari 5 nanometer dalam pengukuran deformasi tegangan dan inspeksi multi-berkas.

Sumber: Institut Penelitian Teknologi Industri Taiwan

Menurut perkiraan dari Institut Penelitian Industri Taiwan, peralatan semikonduktor utama dunia akan memiliki momentum pertumbuhan yang sangat baik dalam beberapa tahun ke depan. Kecuali peralatan litografi DUV (deep ultraviolet), peralatan lainnya akan menunjukkan pertumbuhan positif. Di antaranya, ALD (atomic layer deposition) memiliki tingkat pertumbuhan tertinggi, dengan tingkat pertumbuhan tahunan rata-rata 26.3% yang diperkirakan dari tahun 2020 hingga 2025. Peralatan EUV menempati peringkat kedua dalam tingkat pertumbuhan, dengan tingkat pertumbuhan tahunan rata-rata dua digit. Peralatan EUV menempati peringkat pertama dalam hal nilai. Penjualan peralatan EUV diperkirakan mencapai US$12.55 miliar pada tahun 2025, melampaui mesin etsa dan menjadi peralatan semikonduktor dengan penjualan tertinggi di setiap segmen.

Sumber: Institut Penelitian Teknologi Industri Taiwan

Para produsen peralatan Tiongkok masih memiliki jalan panjang yang harus ditempuh.

Dibandingkan dengan produsen internasional, terdapat kesenjangan besar antara produsen peralatan Tiongkok dalam hal skala penjualan dan teknologi. Menurut data dari Asosiasi Industri Peralatan Elektronik Khusus, penjualan peralatan semikonduktor domestik pada tahun 2019 mencapai 16.182 miliar yuan, yang hanya sekitar setengah dari pendapatan lima perusahaan teratas, Kelei, pada tahun 2019 (US$4.6 miliar). Asosiasi tersebut memperkirakan pada Oktober 2020 bahwa penjualan peralatan semikonduktor domestik pada tahun 2020 akan mencapai total 21.3 miliar yuan, yang masih kurang dari 60% dari penjualan Kelei (US$5.8 miliar).

Perbandingan perusahaan peralatan semikonduktor domestik dan asing utama (per 6 Januari 2021)

Sumber: Deppon Securities

Secara teknis, peralatan semikonduktor negara saya pada dasarnya belum berpartisipasi dalam tahap penelitian dan pengembangan proses canggih (3 nanometer dan di bawahnya), dan saat ini belum mampu mendukung produksi nasional proses yang hampir menjadi arus utama seperti 28 nanometer. Sebagian besar produk komersial produsen peralatan domestik masih berbasis pada lini produksi proses yang sudah mapan. Mengambil contoh mesin litografi yang menarik perhatian publik, di dalam negeri sebagian besar adalah Shanghai Microelectronics Equipment Co., Ltd. (disebut sebagai "Shanghai Microelectronics"). Produk utama Shanghai Microelectronics hanya dapat memenuhi persyaratan proses litografi 90 nanometer, 110 nanometer, dan proses lainnya.

Namun, ada juga beberapa bidang yang telah berpartisipasi dalam kompetisi teknologi canggih. Misalnya, China Micro Semiconductor telah diakui oleh TSMC di bidang etsa CCP dan telah memasuki lini produksi 7nm/5nm; Northern Huachuang relatif unggul dalam peralatan etsa ICP, dan peralatan etsa di atas 28nm telah diindustrialisasi. Dalam hal proses canggih, peralatan etsa silikon telah menembus teknologi 14nm dan memasuki Pusat Penelitian dan Pengembangan Sirkuit Terpadu Shanghai.

Menurut target "Made in China 2025", komponen dasar inti semikonduktor dan material dasar utama seharusnya mencapai tingkat otonomi 40% pada tahun 2020, dan tingkat lokalisasi 70% pada tahun 2025. Namun, menurut informasi penawaran publik dari sepuluh perusahaan manufaktur wafer domestik seperti Yangtze Memory dan Huali Microelectronics dari tahun 2017 hingga kuartal pertama tahun 2021, tingkat lokalisasi masih jauh dari target. Dari tahun 2017 hingga 2019, sepuluh produsen ini membuka penawaran untuk total 4,197 peralatan, di mana 431 di antaranya adalah peralatan buatan China, dengan tingkat lokalisasi sekitar 10.3%. Dari tahun 2020 hingga kuartal pertama tahun 2021, sepuluh pabrik ini membuka penawaran untuk total 1,862 peralatan, di mana 315 di antaranya adalah peralatan buatan China. Diperkirakan bahwa tingkat lokalisasi saat ini adalah 17%, meningkat lebih dari 6 poin persentase dari tahun 2017 hingga 2019.

Kiri: Tingkat lokalisasi sepuluh peralatan pabrik wafer teratas dari tahun 2017 hingga 2019.

Kanan: Tingkat lokalisasi peralatan di sepuluh pabrik wafer teratas pada kuartal pertama tahun 2020-2021.

Sumber: Deppon Securities

Namun, peralatan semikonduktor domestik juga menunjukkan perubahan yang sangat positif dalam beberapa tahun terakhir. Dari segi teknologi, perusahaan-perusahaan yang dipimpin oleh China Micro Semiconductor, Northern Huachuang, dan Yitang Semiconductor sudah mendekati produsen kelas satu dunia di bidang etsa, deposisi, pengupasan kering, pembersihan, dan implantasi ion. Dari segi pangsa pasar, pangsa pasar beberapa produk telah melampaui 20%, yang telah memberikan dampak kuat pada posisi pasar produsen peralatan semikonduktor internasional.

Dari informasi penawaran yang dirilis oleh sepuluh pabrik wafer teratas, terlihat bahwa dari tahun 2017 hingga kuartal pertama tahun 2021, tingkat lokalisasi peralatan penghilangan lem kering mencapai 45.5%, sedangkan tingkat lokalisasi peralatan pembersihan (30.6%), peralatan etsa (22.2%), dan peralatan pemolesan (21.6%) semuanya lebih tinggi dari 20%, dan peralatan tabung tungku (14.7%) dan peralatan pengembangan lem (10.0%) keduanya lebih tinggi dari 10%. Tingkat lokalisasi peralatan deposisi (8.5%) dan peralatan pengujian front-end (5.2%) relatif rendah, hanya antara 5% dan 10%. Kesenjangan terbesar terdapat pada implanter ion (2.4%), peralatan pengujian back-end (1.9%), dan mesin fotolitografi (1.6%).

Setelah memasuki tahun 2020, tingkat lokalisasi akan meningkat lebih cepat. Dilihat dari data pembukaan penawaran dari sepuluh pabrik wafer teratas, pada kuartal pertama tahun 2020 hingga 2021, tingkat lokalisasi peralatan pemolesan, peralatan etsa, peralatan tabung tungku, dan peralatan pelapisan lem dan pengembangan semuanya meningkat lebih dari dua digit dibandingkan dengan tingkat lokalisasi pada periode 2017 hingga 2019.

Dilihat dari tren perkembangan industri peralatan semikonduktor global, seiring proses semikonduktor mendekati batas fisik, semakin sulit untuk mengembangkan generasi peralatan baru. Mengambil contoh mesin litografi EUV, proyek ini dimulai sejak tahun 1990-an. Hampir 200 lembaga penelitian dari lebih dari 40 negara di seluruh dunia (Eropa menyumbang lebih dari 100) berpartisipasi di dalamnya. Mulai dari penelitian dasar, penelitian teknis hingga integrasi sistem, seluruh sistem R&D menginvestasikan lebih dari 100 miliar yuan, melebihi total pendapatan industri peralatan negara kita dalam sepuluh tahun terakhir.

Yin Zhiyao, ketua China Microelectronics Semiconductor, juga mengatakan dalam sebuah wawancara dengan media bahwa semikonduktor telah memasuki tingkat pemrosesan atom. Pembuatan perangkat semikonduktor dengan presisi ini membutuhkan integrasi pengetahuan dan teknologi dari lebih dari 50 disiplin ilmu. Ia menunjukkan bahwa etsa plasma telah mengukir pori-pori yang berdiameter seperseribu hingga seperseratus ribu dari diameter rambut manusia, dan akurasi, keseragaman, serta pengulangan diameter lubang dapat mencapai puluhan ribu hingga seperseratus ribu dari diameter rambut manusia. Sebuah mesin etsa memproses lebih dari satu juta triliun lubang kontak tipis dan dalam setiap tahunnya, dan hampir 100% dari lubang tersebut harus dibuka sepenuhnya.

Peralatan semikonduktor tidak hanya harus mampu mencapai pemrosesan yang sangat halus, tetapi yang terpenting adalah keseragaman, stabilitas, pengulangan, keandalan, dan kebersihan. Hanya dengan melakukan hal ini kita dapat memenuhi persyaratan inti pembuatan wafer, yaitu tingkat kualifikasi chip. Untuk memastikan tingkat kelulusan yang dapat diterima (misalnya, 90%), setiap tahapan pemrosesan dan pembuatan membutuhkan tingkat kelulusan yang sangat tinggi, karena chip proses canggih saat ini membutuhkan 1,000 langkah proses. Jika tingkat kelulusan setiap langkah adalah 99.9%, tingkat kelulusan akhir setelah 1,000 langkah hanya 36.77%.

Sebagai perwakilan dari manufaktur cerdas modern dan pendukung utama industri informasi global, manufaktur chip jarang memberi kesempatan kepada produsen peralatan baru untuk mencoba dan membuat kesalahan. Setelah semua kerja keras untuk mengembangkan prototipe, hanya sebagian kecil dari peralatan pengembangan dan produksi yang telah selesai. Bagian yang lebih sulit adalah meyakinkan produsen wafer untuk membantu uji coba dengan risiko penurunan tingkat kualifikasi dan kapasitas produksi. Yin Zhiyao mengatakan bahwa setelah prototipe dibuat dan pelanggan bersedia bekerja sama, prototipe tersebut harus melewati setidaknya 80 item pengujian yang ketat untuk akhirnya memenuhi persyaratan pabrik wafer.

Dilihat dari pengalaman perkembangan historis para produsen internasional, industri peralatan harus menstabilkan pasar dan tidak melakukan kemajuan yang gegabah. Industri ini harus berinvestasi dalam penelitian dan pengembangan jangka panjang serta memperkuat fondasi teknisnya. Seperti yang dikatakan Yin Zhiyao, peralatan semikonduktor membutuhkan kolaborasi dari 50 disiplin ilmu, yang tidak kalah sulitnya dengan dua bom dan satu satelit. "Hanya dua atau tiga perusahaan di dunia yang dapat membuat pompa molekuler levitasi magnetik, salah satu komponen inti utama industri semikonduktor. Semuanya membutuhkan akumulasi teknologi jangka panjang."

Berkat globalisasi, industri semikonduktor telah berkembang hingga mencapai skala saat ini. Namun, sejak pemerintahan Trump berkuasa, Amerika Serikat telah menggunakan industri semikonduktor sebagai senjata untuk melancarkan perang teknologi melawan Tiongkok, yang secara serius memengaruhi mekanisme saling percaya rantai pasokan yang sebelumnya telah dibangun oleh industri informasi elektronik global. Sebagai basis manufaktur industri informasi elektronik terpenting di dunia, sangat penting untuk menciptakan rantai pasokan semikonduktor baru yang tidak terpengaruh oleh geopolitik. Setiap kali suatu teknologi benar-benar mencapai terobosan pasar yang nyata (misalnya, pangsa pasar mencapai 20%), pembatasan yang terkait dalam Perjanjian Wassenaar kehilangan maknanya. Saat ini, apakah tingkat lokalisasi peralatan dapat ditingkatkan secara efektif telah menjadi faktor kunci dalam perkembangan yang sehat dari industri informasi elektronik global. Ekspansi pesat Tiongkok dalam manufaktur wafer telah memberikan ruang pasar yang luas dan peluang uji coba bagi produsen peralatan semikonduktor domestik. Bagi produsen peralatan semikonduktor domestik, ini adalah peluang bersejarah yang sangat baik.

Penafian: Artikel ini dicetak ulang dari "TechSugar". Artikel ini hanya mewakili pandangan pribadi penulis dan tidak mewakili pandangan Sacco Micro dan industri. Tujuan pencetakan ulang dan berbagi ini hanya untuk mendukung perlindungan hak kekayaan intelektual. Harap sebutkan sumber dan penulis asli untuk pencetakan ulang. Jika ada pelanggaran, silakan hubungi kami untuk menghapusnya.

Nomor telepon perusahaan: +86-0755-83044319
Faks/FAX: +86-0755-83975897
Surel: 1615456225@qq.com
QQ: 3518641314 Manajer Li

QQ: 332496225 Manajer Qiu

Alamat: Ruang 809, Gedung C, Gedung Teknologi Zhantao, No. 1079 Jalan Minzhi, Distrik Baru Longhua, Shenzhen