1. Shockley, Bardeen, Bratton (drei Personen)

 ?? Erfinder des Transistors   
Die Erfindung des Transistors war der Vorläufer der mikroelektronischen Revolution und zugleich der Aufruf zur Entwicklung des integrierten Schaltkreises.   
Im Dezember 1947 entwickelte ein Forschungsteam um Shockley, Bardeen und Bratton bei den Bell Labs in den USA einen Germanium-Punktkontakttransistor. Mit der Entwicklung des Transistors konnten die großen, energieintensiven Elektronenröhren durch ein kompaktes, energiesparendes elektronisches Bauteil ersetzt werden. 

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Die Erfindung des Transistors

1956 erhielten Shockley, Bardeen und Bratton den Nobelpreis für Physik für die Erfindung des Transistors. Shockley, der als „Vater des Transistors“ gilt, nutzte seinen Ruhm, um eine Gruppe herausragender junger Wissenschaftler zu rekrutieren, darunter die berühmten „Acht Rebellen“, die den Grundstein für die spätere Gründung zahlreicher bekannter Halbleiterunternehmen legten.   
       

 2. Jack Kilby 

?? Vater der integrierten Schaltkreise  
Die Entwicklung integrierter Schaltkreise läutete eine neue Ära in der Geschichte der Elektronik ein und legte den Grundstein für die moderne Informationstechnologie.   
Am 12. September 1958 entwickelte Kilby den weltweit ersten integrierten Schaltkreis, setzte erfolgreich das Konzept der Integration elektronischer Bauelemente auf einem Halbleitermaterial um und bestand die Prüfung durch die Führungskräfte von Texas Instruments. An diesem Tag lösten integrierte Schaltkreise die Transistoren ab, ebneten den Weg für die Entwicklung vielfältiger Funktionen elektronischer Produkte, senkten die Kosten erheblich, ermöglichten die Entwicklung von Mikroprozessoren und läuteten eine neue Ära in der Geschichte der Elektronik ein. Kilby erhielt im Jahr 2000 den Nobelpreis für Physik für seine Erfindung des integrierten Schaltkreises.Integrierte Schaltung
     

3. Robert Noyce 

? ? ?Ein Gigant in Wissenschaft und Wirtschaft   
Die Möglichkeit der kommerziellen Fertigung integrierter Schaltkreise hat die Halbleiterindustrie in das kommerzielle Zeitalter geführt.   
Robert Noyce erfand den kommerziell gefertigten integrierten Schaltkreis auf Basis des Kilby-Chips und führte die Halbleiterindustrie damit vom Erfindungs- ins Kommerzialisierungszeitalter. 1971 integrierte Intel, wo Noyce arbeitete, erfolgreich 2,300 Transistoren auf einem 12 Quadratmillimeter großen Chip und schuf so einen programmierbaren Computerchip mit Taschenrechner und Controller – heute bekannt als Zentraleinheit (CPU) oder Mikroprozessor. Dies war zugleich der weltweit erste Mikroprozessor, der 4004. Seitdem ist Intel rasant gewachsen: von null Umsatz im Jahr 1968 auf über 35 Milliarden US-Dollar Umsatz heute. 

4. Joan Herney 

?? ?? Die Position von Silizium in der Elektronikindustrie etablierte sich.   
Die Halbleiterproduktion hat revolutionäre Veränderungen durchlaufen.   
1959 erfand Jean Hoerni das Planarverfahren, eine Bearbeitungsmethode namens optisches Ätzen. Zunächst verwendet er ein Stück Germanium oder Silizium und besprüht es anschließend mit einer Schicht Fotolack. Wird der Fotolack mit Licht bestrahlt, härtet er aus. Anschließend kann man mit einer speziellen Chemikalie den nicht belichteten Fotolack entfernen. Hoerni entwickelte also eine Fotomaske, die wie ein Negativ mit einer Vielzahl kleiner Löcher funktionierte, um Verunreinigungen herauszufiltern. Diese Maske wurde dann im Licht gewendet. Nach der chemischen Reinigung konnten sich Verunreinigungen nicht mehr auf der Metallplatte ausbreiten, wo immer Fotolack zurückgeblieben war. Hoerni löste das Zuverlässigkeitsproblem von Planartransistoren und revolutionierte damit die Halbleiterproduktion. Es gilt als eine der bedeutendsten Errungenschaften des 20. Jahrhunderts und begründete den Status von Silizium als Schlüsselmaterial in der Elektronikindustrie.   
     

5. Gordon Moore 

? ??Mooresches Gesetz – Eckpfeiler des Silicon Valley   
Das Mooresche Gesetz ist wie eine unwiderstehliche Naturgewalt, die das Silicon Valley und sogar die globale Computerindustrie seit mehr als 30 Jahren beherrscht.   
Eines Tages im Jahr 1965 verließ Moore die Siliziumkristallwerkstatt, setzte sich hin, nahm ein Lineal und ein Blatt Papier und fertigte eine Skizze an. Die vertikale Achse repräsentiert den sich kontinuierlich entwickelnden Chip, die horizontale die Zeit. Das Ergebnis ist ein sehr regelmäßiges geometrisches Wachstum. Diese Entdeckung wurde in der 35. Ausgabe der Zeitschrift „Electronics“ desselben Jahres veröffentlicht. Diese unbeabsichtigte Arbeit gilt bis heute als die bedeutendste Veröffentlichung in der Geschichte der Halbleiter.   
Das Großartige am Mooreschen Gesetz ist, dass Ingenieure in der Halbleiterindustrie diesem Gesetz folgen und dadurch nicht nur die Anzahl der Transistoren alle 18 Monate verdoppeln, sondern auch Chips mit gleicher Leistung alle 18 Monate in Größe und Kosten halbiert werden können.   
     

6. Andy Grove 

  ??König der Mikroprozessoren   
Prozessoren mit dem Markenlogo „Intel Inside“ sind zum Herzstück von 80 % aller Computer weltweit geworden.   
Seit Andy Grove 1987 die Führung von Intel übernahm, hat er mit strategischem Denken Traditionen gebrochen und bestehende Logiken in Frage gestellt. So sorgte er dafür, dass der Mikroprozessor, das Herzstück der digitalen Revolution, weiterhin leistungsstark ist und eine stetige Energieversorgung für das digitale Zeitalter gewährleistet.  
1986 schlug Grove den neuen Slogan „Intel, das Mikroprozessorunternehmen“ vor und gab das Speichergeschäft endgültig auf, um Intels Kerngeschäft auf Mikroprozessoren zu verlagern. Im selben Jahr brachte Intel die 386er-Prozessorserie auf den Markt, gefolgt von der 486er- und der Pentium-Serie. Die Prozessoren wurden immer leistungsstärker und schneller, und das Zeitalter der Personalcomputer begann. „Intel Inside“ wurde zum Goldstandard der Branche, fand weltweit Beachtung und veränderte die Welt.   
     

7. Hu Zhengming 

? ? ?Der Erfinder vieler neuer Strukturbauelemente wie FinFET   
?? Leistete bedeutende Beiträge zur Entwicklung von Halbleiterbauelementen und deren zukünftiger Miniaturisierung.   
Professor Hu Zhengming leitete die Entwicklung von BSIM. Dieses mathematische Modell wurde 1997 vom Transistor Model Council unter Beteiligung von 38 führenden internationalen Unternehmen als erster und einziger internationaler Standard für das Chipdesign ausgewählt. Er entwickelte eine Vielzahl neuer Strukturbauelemente wie FinFETs, die international große Beachtung fanden, und schlug den physikalischen Mechanismus des IC-Ausfalls vor. Zudem entwickelte er eine Methode zur schnellen Vorhersage der Lebensdauer von Bauelementen mittels Stoßionisationsstrom. Weiterhin entwickelte er den physikalischen Mechanismus des Ausfalls dünner Oxidschichten und eine Methode zur schnellen Vorhersage ihrer Lebensdauer mittels Hochspannung. Schließlich entwickelte er das erste computergestützte numerische Simulationswerkzeug für die IC-Zuverlässigkeit auf Basis der physikalischen Grundlagen der Bauelementzuverlässigkeit.   
     

8. Zhang Zhongmou 

?? ?? Der Gründer der Halbleiter-Fertigungsindustrie    Eine Person prägt eine ganze Branche, und eine Person macht die gesamte Branche der integrierten Schaltungen dynamischer.   
 

1987 gründete Zhang Zhongmou mit Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (TSMC) das weltweit erste professionelle Halbleiter-Foundry-Unternehmen und läutete damit das Zeitalter der Halbleiter-Foundries ein. Das TSMC-Modell schuf zwei neue Branchen: Wafer-Foundries und Fabless-Fertigung. Durch den Wegfall des teuren Wafer-Herstellungsprozesses sanken die Einstiegshürden der gesamten Halbleiterindustrie, und zahlreiche neue, dynamische Unternehmen für die Entwicklung integrierter Schaltungen entstanden, die der gesamten Branche neue Dynamik und Innovation verliehen. Das Zeitalter der Segmentierung integrierter Schaltungen hat begonnen, und eine neue, dynamischere Halbleiterindustrie entfaltet sich vor uns. 

Entwicklungsgeschichte integrierter Halbleiterschaltungen

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