5nm和7nm芯片工艺是怎么来的?揭开芯片工艺背后的“秘密”和摩尔定律
2022-03-17 438


1. 摩尔定律


1965年,硅谷传奇人物,费尔柴尔德“八大叛徒”之一,英特尔公司前首席执行官兼名誉董事长,伟大的计算定律发现者戈登·摩尔,正在准备一份关于计算机内存发展趋势的报告。


当他开始绘制数据时,他注意到了一个令人惊讶的趋势。


每一款新芯片所包含的容量大约是其前代芯片的两倍,并且每款芯片的生产周期都在上一款芯片的 18 到 24 个月内,如果这种趋势持续下去,计算能力相对于时间段将呈指数级上升。

 

这就是大名鼎鼎的摩尔定律,它对于集成电路产业发展的描述异常正确。


总结:


1:集成电路芯片(晶圆)上集成的电路数量每18个月就会翻一番。


2. 微处理器的性能每隔18个月就会翻一番,而价格却下降一半。


3.每18美元所能买到的计算机性能每隔XNUMX个月就会提高四倍。

 

你可能会认为摩尔定律只不过是一个总结?


其实这可以推导出一个公式,那就是在芯片尺寸不变的情况下,每隔18个月,芯片面积就会减少一半。


这样,同样大小的晶圆可以生产出两倍数量的芯片。

 

如果说上一代工艺的芯片面积是1mm2,那么在新工艺下,面积就是新工艺的一半,也就是0.5mm2。


我们假设两代晶圆的成本是一样的(一般新工艺会更贵),那么新工艺的成本就是原工艺成本的一半。


这是摩尔定律揭示的现实:


也就是说,采用新工艺的芯片面积更小,功耗更优,频率更高,成本更低。


这就是新技术对旧技术的降维攻击!


这些优势和好处正是推动芯片技术不断进步的引擎。


这就是摩尔定律的内涵。


如果芯片技术进步,每个晶体管的尺寸会​​缩小。缩小多少呢?

 



如上图所示,在晶体管数量保持不变的情况下,下一代新工艺的芯片面积是上一代的一半。

 

那么X和Y之间是什么关系呢?


如果我们按平方来算会怎么样?


那么新工艺的晶体管尺寸大约是旧工艺的0.7倍。


也就是说晶体管的体积将缩小0.7倍。


按照摩尔定律,我们可以用初中的数学知识来算一下每一代工艺的进展,从800nm(这个80586工艺节点)开始。


 

 

芯片技术的发展也证实了这一点:


从 0.8 μm、0.5 μm、0.35 μm、0.25 μm、0.18 μm、0.13 μm、90 nm、65 nm、45 nm、32 nm、22 nm、16 nm、10 nm、7 nm、5 nm。

 

实际的工艺节点满足这个要求。


摩尔定律与目前的芯片制造工艺完全一致。


魔法!


2:半节点


一些具有流程知识的学生可能会说:


出了点问题,


这张图中,热门的40nm、28nm、14nm工艺去哪了?


是的,这涉及到芯片厂商常用的一个方法。


收缩。


我们都知道,一个工艺节点开发成功之后,它的研发成本是非常高的。


如果能在这个工艺节点,面积,功耗等上继续优化。


这也是最大限度利用现有投资的一种方法。


就像英特尔在 14nm 上所做的一样。


14纳米+++


持续优化。


 


而我们今天说的缩水,也是一种优化。


本质上就是利用光罩(MASK)进行比例缩放,晶体管尺寸缩小一点,芯片依然可以正常工作,从而缩小芯片面积,降低成本。


那么收缩率是多少?


缩小通常会使晶体管的尺寸减小 0.9 倍。

 

大约每条边长缩小0.9;整体面积减少0.81;

 

该过程也称为芯片缩小。


不过,缩小尺寸可能会带来新的问题,例如漏电流增加,但漏电流是可以通过工艺参数进行调整的,在不改变工艺特性的情况下,缩小尺寸同样可以挖掘该工艺节点的潜力。


这些缩小的工艺节点也称为半节点。


例如:


 40nm是45nm微缩后的半个节点。


 28nm是32nm微缩后的半个节点。


 20nm是22nm微缩后的半个节点。


 14nm也可以看作是16nm缩减后的半个节点。


将前面的过程乘以0.9。


DIE shrink 是芯片厂家做的,和芯片设计公司没关系。


工程师设计出来的版图都是预先缩水过的,厂家生产的时候直接进行缩水,生成的die的面积是比版图成比例的缩小的。


所以我们的芯片设计工程师现在在做40nm或者28nm这样的半节点工艺的时候,有一个缩小的流程。


会发现芯片的版图比实际的DIE面积要大。


如果我们计算最终的DIE(芯片)面积,其实是缩水之后的面积,而不是版图的面积。

 

EDA 工具标记缩减之前(预缩减)的区域。

 

也就是设计公司给芯片厂的是10X10的设计图,但是芯片厂生产出来的却是9x9的尺寸。

 

对于DIE、WAFER等具体定义,不熟悉的同学可以参考《师兄原创的那些优质人类芯片工程师的“说话术”》

 

这些优化的,如40nm、28nm等等,已经成为更加成熟和长寿命的工艺。


原来的45nm、32nm等,与优化后的40nm、28nm相比,不再具有优势,厂商也不再推广这些工艺。

 

实际上,业界通常将45nm/40nm、32nm/28nm、22nm/20nm、16nm/14nm工艺节点看作同一个工艺节点,是一个代,只是被厂商通过微缩进行优化而已。


加入shrink之后我们看到现在的28nm、14nm、10nm、7nm以及5nm,这些都可以利用上一节摩尔定律讲到的初中数学知识来推算。

 

严格契合,理论与实践相符。

 

戈登·摩尔,真是个天才!


3:门长度

 

但这是真的吗?

 

这些数字背后隐藏着重大的意义。

 

我们来看一张图片:

 

 


从 1960 世纪 1990 年代到 XNUMX 年代末,节点都是根据其栅极长度来命名的。IEEE 的这张图显示了以下关系。

 

栅极长度和半间距(芯片上两个相同特征之间距离的一半)与工艺节点名称相匹配,这就是0.5um,0.35um,0.25um实际命名的原因。


但在28nm以下,由于采用了finfet等新技术,这些与实际节点和栅长、半节距不匹配。

 

 


 

如果保持节点名称和实际特征大小同步,它将显示为红线。

 

2015年前,芯片制造最小工艺尺寸将降至1纳米以下。

 

事实上,制造商偷偷越过仓库,

 

实际情况是整个过程曲线更接近蓝线所示的曲线。

 

你以为的7nm、5nm,已经不再是栅极长度或者半节距了。


那么7nm、5nm是怎么来的呢?


画一个饼!


画一个饼图,你熟悉吗?

 

公司老板最擅长做这件事,画一个饼图,或者画一个路线图。

 

老板说:未来三年每年翻一番,今年销售额做100个亿,10年后成为千亿销售额的公司。

 

重点是,这个东西不能这么算,按照这个算,几十年后地球就变成你公司的了,你的销售额就做不成了。

 

那么芯片制造的格局或路线图是如何绘制的呢?


因为半导体制造涉及巨大的资本支出和大量的长期研究,从论文中提出一种新的技术方法到大规模商业化制造,平均时间大约需要10-15年。

 

几十年前,半导体行业就认识到,如果有一个引入节点以及这些节点将解决的功能规模的总体路线图,那么这将指导参与芯片流程的每个单元。


也就是说比如2025年我们画一个大饼来发展1nm,那么这时候所需要的光刻设备商、刻蚀设备商、材料商、研究机构等等都要瞄准这个目标。


该路线图的主要目的是“为大学、联盟和行业研究人员提供重要的未来参考,以促进各个技术领域的创新”。


也就是说,要给芯片制造从业者画出一张大饼。

 

多年来,国际半导体技术路线图(ITRS)发布了行业总体路线图。这些路线图跨越15年,为半导体市场设定了总体目标。


ITRS 就是画饼的人!

 

这个路线图该如何绘制?


当然是摩尔定律,正如本文第一部分所描述的那样。


摩尔定律太粗鲁了。

 

已经从几百nm,干到5nm或者3nm了。

 

关键是,数学可以做到这一点,但物理学能做到吗?

 

这样做有点太仓促了。

 


4、营销手段:宝马5系与5nm


随后不久,ITRS(国际半导体技术路线图)组织也认识到这是不可接受的。


无法将栅极长度或半节距与节点尺寸关联起来的原因是:

 

因此这些维度要么停止扩展,要么扩展得更慢。


粗暴地乘以 0.7 并期望晶体管能够工作。


目前工业上还无法生产这种晶体管。

 

所以在2010年,ITRS将各个节点上的技术统称为“等效扩展”。


也就是说你不需要真的去对应,你觉得还不错就行。

 

也就是说7nm、5nm已经不再是它们原来指的栅长或者半节距了。

 

这一变化体现了芯片制造业的现状:

 

台积电的 Philip Wong 在 Hot Chips 31 主题演讲中表示:“它曾经是一个技术节点、一个节点号,它意味着某种东西、晶圆上的某种功能。”

 

但是:“今天,数字只是数字而已。它们就像汽车型号——比如宝马 5 系或马自达 6。数字是什么并不重要,它只是下一代技术的目的地,它的名字。所以我们不要将节点的名称与技术实际提供的内容相混淆。”

  

 

 

 

绘图要点:不要将节点名称与实际技术混淆

 

5nm和7nm就和宝马5、马自达6没什么区别。

 

这些只是营销策略。

 

这并不是说公众会混淆这个名字。


正是这些芯片制造商,利用这些营销词汇来混淆工艺节点和晶体管的实际尺寸?

 

摩尔定律这艘大船虽然进入了浅水域,但却面临搁浅的危险。


让我们一起推动这艘大船,按照摩尔定律继续前进,

 

因此英特尔的某个人想出了这个办法。


别说了,5nm、7nm,我们直接对比一下单位面积上的晶体管数量吧。


这是公式:

 


英特尔芯片制造专家马克·波尔 (Mark Bohr) 认为,每个芯片制造商在提及工艺节点时都应该披露其逻辑晶体管密度,单位为 MTr/mm2(每平方毫米百万个晶体管)。



这也解释了为什么英特尔的10nm和台积电的7nm虽然看上去是两代,但晶体管密度却基本相同。

 

 


 

但这个公式太复杂了。


7nm、5nm怎么可能对公众有很好的宣传效果呢。


但说实话,英特尔本身在自己的命名方案中并没有真正遵循门长(gate length)模型。


从下表可以看出,随着工艺的进步,玩家越来越少。



高端芯片市场只剩下台积电、三星和正在迎头赶上的英特尔。


明年,三星和台积电的3nm都宣称将量产。


不过这次我们要知道,这只是一代工艺的代号,和3nm本身并没有任何关系。


从7nm、5nm、到3nm。


摩尔定律并未消亡。


仅有的,


步履蹒跚,渐渐老去。




引文:

1:技术节点 - WikiChip

2:如何定义工艺节点? - ExtremeTech

3:台积电的 7nm、5nm 和 3nm“只是数字……数字是多少并不重要”| PCGamesN





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