周知のとおり、オランダのASML社製リソグラフィ装置は、半導体製造において常に重要な装置であり、特に同社が独自に製造する極端紫外線リソグラフィ装置（EUV）は不可欠な存在です。また、TSMC、サムスン、インテルといった企業がより高度なプロセスを開発する上でも重要な装置となっています。米国は中国本土によるEUVリソグラフィ装置の入手を制限し、中国本土の半導体開発を阻害しています。  ロイター通信は先日、ASMLの開発担当副社長であるトニー・イェン氏に独占インタビューを行い、ASMLの事業運営、企業文化、製品開発について分析した。

  Q：ASMLのEUVとその機能について説明していただけますか？回答：当社が製造する装置は、誰もが必要とするチップを製造するフォトリソグラフィ装置です。現在、TSMC、サムスン、インテルが当社の主要顧客です。

  Q：ASMLがこの分野のリーダーである理由は？初期費用や高度な技術スキルなど、参入障壁は確かに存在します。しかし、なぜ他の企業はASMLのやり方を真似できないのでしょうか？回答：ASMLはオランダ文化に深く根ざしています。同社の決意、エンジニア、経営陣、顧客の構成が、同社を業界リーダーたらしめている要因です。オランダの人口はわずか17万人ですが、国民は皆、非常に高い教育を受けています。ASMLには博士号や修士号を持つ従業員が多く、非常に国際的な企業であり、レストランでは中国語、ロシア語、東欧語、スペイン語、イタリア語、ドイツ語など、さまざまな言語での会話が聞こえてきます。その国際的な性質のおかげで、従業員は企業文化に魅力を感じており、これは非常に重要で、結果重視と技術主導の開発を容易に達成できる要因となっています。同社の上級幹部は全員、物理学の博士号または物理学の学位を取得しており、ASMLで重要な役割を果たしています。彼らは物理学の知識を通じてASMLが特殊な装置や機械を開発するのを支援しており、高度なチップ向けのEUVリソグラフィ装置の提供もその一つで、ASMLが業界リーダーとなるための鍵となっています。

  Q：ASMLはいつ頃からEUVの開発を検討し始めたのですか？回答: おそらく2000年頃から、同社は大型フォトリソグラフィ装置の開発と製造を決定しました。当時、日本のメーカーはEUVシステムが非常に複雑で、EUV装置が100%機能することを保証できないと考えていたため、この事業に着手しませんでした。ASMLは、主に光学システムを製造し、1850年にまで遡る歴史を持つドイツのパートナー企業であるツァイスと提携しています。ASMLはツァイスと協力し、ツァイスはASML専用の光学システムを製造しています。ASMLはツァイスの多くの開発にも資金を提供しており、ツァイスは半導体関連の光学システムをASMLにのみ販売することができます。ASMLはまた、EUVの実現に重要な役割を果たしたサンディエゴを拠点とするサイマーも買収しました。

  Q：ASMLはどのようにして製品を市場に投入し、ニーズと仕様を満たす製品を生産しているのですか？回答：開発初期段階から、両者は相互協力関係にあります。顧客はASMLの初期の装置を使用しており、それらは信頼性がそれほど高くありませんでした。これらの装置は稼働率が50%と低かったものの、チップ製造に必要な機能を向上させることができました。顧客がチップ生産量を増やしたり、より小型のチップを製造したりする場合、ASMLの装置を選択せざるを得ませんでしたが、当時はこれらの装置は必須の設備ではありませんでした。最初のEUVは2010年にサムスンに、2011年にTSMCに納入されました。これらは初期の装置です。ASMLは多くの研究開発を経ており、また、ASMLが顧客の製品開発プロセスに長期間関与してきたことを顧客に伝え、ASMLの装置に対する信頼を得ています。初期の顧客に対しては、ASMLは開発ツールを顧客側に提供し、顧客と共に技術を物理的に開発しました。相互協力に基づいて、ASMLは顧客のニーズを満たす製品を開発しています。

  Q：7nm、5nm、3nmといった先端プロセスの開発状況と、先端プロセス技術の移転状況について説明していただけますか？回答: 量産向けの最先端プロセス技術は、TSMCとSamsungの現在の技術である5nmノードです。Intelの5nmプロセスノードは遅れており、7nmプロセスノードでさえまだ量産段階には至っていません。Intelはより高度な設計ルールを持っているため、Intelの7nmノードはTSMCとSamsungの5nmノードと同等であることに注意する必要があります。関連技術は完全に同じではなく、どちらの製品が優れているかを断言することは困難です。顧客がより高度な製造プロセスに移行するには通常約5年かかります。ASMLは顧客と共同で目標を設定します。詳細は開示できませんが、一般的には製品を計画し、取締役会の承認を得て開発を進めます。製品開発が量産段階に成功し、輸出先が規制対象国または地域でない場合、量産設備は2年以内に納入される見込みです。

  Q：これはよく聞かれる質問であり、今後さらに増えるであろう質問ですが、ムーアの法則が限界に達したことについてどうお考えですか？
回答：ムーアの法則は期限切れになった、あるいは減速していると言う人が多いですが、私はそうは思いませんし、減速もしていません。ASMLによると、ムーアの法則は今後10年、あるいはそれ以上続く可能性があります。そして、チップ面積の縮小は少なくとも今後10年間は​​続くでしょう。人々が話題にしているチップの積層技術は3D集積と呼ばれ、TSMCやサムスンもこの技術について盛んに議論しています。ASMLによると、3D集積が進んでいるとはいえ、2D平面チップの面積縮小は少なくとも10年間は​​続く可能性があるとのことです。そのため、ASMLは次世代EUVリソグラフィ装置の開発にも積極的に取り組んでいます。

  Q：ASMLは機械学習や5G規格への投資を検討していますか？また、これは市場需要に影響しますか？ASMLにとって、これはあまりにも下流の分野でしょうか？回答：この距離はそれほど遠くありません。なぜなら、Apple、Samsung、Qualcommなどが5Gチップを生産しているからです。Huaweiはエンティティリスト入りしたため、その市場シェアはXiaomiなどの中国ブランドに奪われています。Samsungの5nmプロセスで製造されたQualcommのハイエンドチップは現在量産段階に入っており、ASMLも好調な業績を上げています。

  Q：地政学についてのご意見をお聞かせください。回答：私は広報担当者ではありませんが、ASMLはすべての法律を遵守しています。当社の機械の一部が米国で製造され、エンティティリストに掲載されている企業がある場合、当社は米国の輸出法を遵守しなければなりません。ASML米国広報マネージャーのブリトニー・ウォルフ氏は、ASMLは多くの国や地域で事業を展開しているため、これはASMLが非常に真剣に検討しなければならないことだと付け加えました。しかし、ASMLは事業を展開する場所であればどこでも現地の法律や規制を遵守しており、これまで問題に直面したことはありません。

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