眾所周知，荷蘭ASML公司的光刻機一直是半導體製造的關鍵設備，尤其是其獨家生產的極紫外光刻機（EUV），更是不可或缺。它也是台積電、三星和英特爾等公司開發更先進製程的重要工具。美國限制中國大陸取得EUV光刻機，阻礙了中國大陸半導體產業的發展。  近日，路透社對ASML發展副總裁Tony Yen進行了獨家專訪，分析了ASML的營運、文化和產品開發。

  Q：您如何描述ASML EUV及其功能？答：我們生產的機器是光刻設備，用來生產大家所需的晶片。目前，台積電、三星和英特爾是我們的三大客戶。

  Q：是什麼讓ASML成為該領域的領導者？顯然，這個領域存在准入門檻，例如前期成本和技術要求。但為什麼其他公司無法複製呢？答：ASML植根於荷蘭文化。公司的決心、工程師團隊、管理團隊和客戶群是其成為產業領導者的關鍵因素。儘管荷蘭人口僅有17萬，但其公民普遍受過高等教育。 ASML擁有眾多博士和碩士學位員工，公司高度國際化，在餐廳裡可以聽到各種語言的交談，包括中文、俄語、東歐語言、西班牙語、義大利語、德語等等。正是這種國際化的環境吸引了眾多員工，而這種文化對公司而言至關重要，也使得公司更容易實現以結果為導向、技術驅動的發展。公司的高階領導均擁有物理學博士或物理學碩士學位，並在ASML扮演關鍵角色。他們運用物理知識幫助ASML開發專用設備和機械，例如為先進晶片提供EUV微影機，這正是ASML成為產業領導者的關鍵因素之一。

  Q：ASML是什麼時候開始考慮開發EUV光刻技術的？答：該公司可能從2000年開始決定研發生產大型光刻機。當時，日本製造商並未涉足這一領域，因為他們認為EUV系統非常複雜，無法保證EUV設備的100%功能正常。 ASML的合作夥伴是德國蔡司公司，該公司主要生產光學系統，歷史可追溯至1850年。 ASML與蔡司公司合作，蔡司公司專門為ASML生產光學系統。 ASML也資助蔡司公司的許多研發項目，因此蔡司公司只能向ASML銷售半導體相關的光學系統。此外，ASML也收購了位於聖地牙哥的Cymer公司，該公司也是EUV技術發展的關鍵參與者。

  Q：ASML 如何將產品推向市場，然後生產出符合需求和規格的產品？答：從早期研發階段開始，雙方就存在著相互影響。客戶使用ASML早期的設備，這些設備可靠性不高，故障率高達50%，但它們能夠提升晶片生產所需的功能。如果客戶需要提高晶片產量或生產較小的晶片，則必須選擇ASML的設備，但這些設備在當時並非必需。 ASML於2010年向三星交付了第一台EUV光刻機，並於2011年向台積電交付了第一台。這些都是早期的設備。 ASML投入了大量的研發，並讓客戶了解ASML長期參與客戶的產品開發流程，進而增強客戶對ASML設備的信心。對於最早的客戶，ASML會將開發工具部署到客戶現場，並與客戶共同進行技術研發。基於這種互惠合作，ASML開發出滿足客戶需求的產品。

  Q：能否介紹一下7nm、5nm和3nm先進製程的發展現況？以及先進製程技術的轉移情況？答：目前最先進的量產製程技術是5nm節點，這是台積電和三星的現有技術。英特爾的5nm製程節點相對落後，甚至其7nm製程節點也尚未量產。需要注意的是，由於英特爾擁有更高層次的設計規則，其7nm節點相當於台積電和三星的5nm節點。相關技術並非完全相同，很難說哪種產品更勝一籌。客戶通常需要大約5年才能過渡到更先進的製造流程。 ASML會與客戶共同訂定目標。雖然無法透露具體細節，但通常會先規劃產品，然後再獲得董事會的批准進行開發。一旦產品開發成功進入量產階段，且出口地點不在管制國家或地區，預計量產設備將在2年內交付。

  問：這是一個你常被問到的問題，現在這個問題會更加突出：你認為摩爾定律達到極限了嗎？
答：很多人說摩爾定律已經失效或正在放緩，但我認為並非如此，它並沒有放緩。據ASML稱，摩爾定律可能還會持續10年甚至更久。晶片面積的縮小至少在未來10年內仍將持續。人們常說的晶片堆疊技術被稱為3D集成，台積電和三星也對此進行了大量討論。 ASML表示，儘管3D整合技術正在發展，但2D平面晶片面積的縮小至少還能持續10年。為此，ASML也積極研發下一代EUV微影設備。

  Q：ASML是否考慮投資機器學習或5G標準，這是否會影響市場需求？這對ASML來說是否屬於下游領域？答：這個距離不算太遠，因為蘋果、三星、高通等公司都在生產5G晶片。華為已被列入實體清單，其市場地位已被小米等中國品牌取代。高通採用三星5nm製程生產的高階晶片目前已進入量產階段，ASML也取得了不錯的成績。

  問：您對地緣政治有何看法？答：我並非發言人，但ASML遵守所有法規。如果我們的機器設備部分產自美國，而相關實體被列入實體清單，我們就必須遵守​​美國出口法律。 ASML美國公共關係經理布里特妮沃爾夫補充說，ASML必須認真考慮這個問題，因為公司業務遍及多個國家和地區。但ASML無論在何處開展業務，都會遵守當地的法律法規，從未遇到任何挑戰。

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