Wie allgemein bekannt, ist die Lithografieanlage von ASML aus den Niederlanden seit jeher eine Schlüsselkomponente der Halbleiterfertigung, insbesondere die exklusiv produzierte EUV-Lithografieanlage (Extreme Ultraviolet), die unverzichtbar ist. Sie ist auch eine wichtige Anlage, die TSMC, Samsung und Intel bei der Entwicklung fortschrittlicherer Fertigungsprozesse unterstützt. Die USA beschränken den Zugang Festlandchinas zu EUV-Lithografieanlagen und hemmen damit die Halbleiterentwicklung in China.  Kürzlich führte Reuters ein Exklusivinterview mit Tony Yen, dem Vizepräsidenten für Entwicklung bei ASML, um die Geschäftstätigkeit, die Unternehmenskultur und die Produktentwicklung von ASML zu analysieren.

  F: Wie würden Sie ASML EUV und seine Funktionen beschreiben?Antwort: Wir stellen Fotolithografieanlagen her, die die Chips produzieren, die jeder benötigt. Aktuell sind TSMC, Samsung und Intel unsere drei Hauptkunden.

  F: Was macht ASML zu einem führenden Unternehmen in diesem Bereich? Es gibt natürlich Markteintrittsbarrieren, wie z. B. hohe Anfangskosten und erforderliche technische Kenntnisse. Aber warum können andere Unternehmen das nicht kopieren?Antwort: ASML ist tief in der niederländischen Kultur verwurzelt. Die Entschlossenheit des Unternehmens sowie die Zusammensetzung seiner Ingenieure, seines Managements und seiner Kunden sind die Faktoren, die es zu einem Marktführer machen. Obwohl die Niederlande nur 17 Millionen Einwohner haben, sind diese durchweg hochgebildet. ASML beschäftigt viele Mitarbeiter mit Doktortiteln und Masterabschlüssen. Das Unternehmen ist sehr international aufgestellt, und in den Restaurants hört man Gespräche in verschiedenen Sprachen, darunter Chinesisch, Russisch, Osteuropäisch, Spanisch, Italienisch, Deutsch usw. Aufgrund dieser internationalen Ausrichtung fühlen sich die Mitarbeiter von der Unternehmenskultur angezogen, was von großer Bedeutung ist und es dem Unternehmen erleichtert, sich auf Ergebnisse und technologiegetriebene Entwicklung zu konzentrieren. Die Führungskräfte des Unternehmens besitzen alle einen Doktortitel oder einen Abschluss als Physiker und spielen Schlüsselrollen bei ASML. Sie unterstützen ASML mit ihrem physikalischen Fachwissen bei der Entwicklung spezieller Ausrüstungen und Maschinen, darunter die Bereitstellung von EUV-Lithographieanlagen für fortschrittliche Chips, was einer der Schlüsselfaktoren für ASMLs Marktführerschaft ist.

  F: Wann begann ASML, die Entwicklung von EUV in Erwägung zu ziehen?Antwort: Vermutlich ab dem Jahr 2000 beschloss das Unternehmen, großflächige Fotolithografieanlagen zu entwickeln und zu produzieren. Japanische Hersteller zögerten damals, da sie das EUV-System als zu komplex empfanden und die hundertprozentige Funktionsfähigkeit der EUV-Anlagen nicht gewährleisten konnten. ASML arbeitet mit dem deutschen Unternehmen Zeiss zusammen, das hauptsächlich optische Systeme herstellt und auf eine Geschichte zurückblickt, die bis ins Jahr 1850 reicht. ASML kooperiert mit Zeiss, das optische Systeme exklusiv für ASML fertigt. ASML finanziert zudem zahlreiche Entwicklungen bei Zeiss, sodass Zeiss ausschließlich optische Systeme für die Halbleiterindustrie an ASML verkauft. ASML übernahm außerdem das in San Diego ansässige Unternehmen Cymer, einen weiteren wichtigen Akteur im Bereich der EUV-Technologie.

  F: Wie vermarktet ASML Produkte und stellt anschließend Produkte her, die den Bedürfnissen und Spezifikationen entsprechen?Antwort: Bereits in der frühen Entwicklungsphase besteht eine Wechselwirkung zwischen beiden. Kunden nutzen zunächst die frühen, wenig zuverlässigen Anlagen von ASML. Diese Maschinen fallen in 50 % der Fälle aus, verbessern aber die für die Chipherstellung erforderlichen Funktionen. Steigern Kunden ihre Chipproduktion oder fertigen kleinere Chips, sind sie auf ASML-Anlagen angewiesen, obwohl diese damals noch nicht zwingend notwendig waren. Die ersten EUV-Laser wurden 2010 an Samsung und 2011 an TSMC ausgeliefert. Es handelt sich dabei um frühe Anlagen. ASML hat umfangreiche Forschungs- und Entwicklungsarbeit geleistet und den Kunden die langjährige Einbindung in deren Produktentwicklungsprozess vermittelt, was Vertrauen in die Anlagen schafft. Für die ersten Kunden stellt ASML die Entwicklungswerkzeuge direkt beim Kunden bereit und entwickelt die Technologie gemeinsam mit ihm. Auf Basis dieser partnerschaftlichen Zusammenarbeit entwickelt ASML Produkte, die den Kundenbedürfnissen entsprechen.

  F: Können Sie den Entwicklungsstand der fortschrittlichen Prozesse bei 7 nm, 5 nm und 3 nm erläutern? Und wie steht es um den Transfer der fortschrittlichen Prozesstechnologie?Antwort: Die fortschrittlichste Prozesstechnologie für die Massenproduktion ist der 5-nm-Prozess, der aktuell von TSMC und Samsung eingesetzt wird. Intels 5-nm-Prozess hinkt hinterher, und selbst der 7-nm-Prozess befindet sich noch nicht in der Massenproduktion. Es ist jedoch zu beachten, dass Intels 7-nm-Prozess aufgrund seiner übergeordneten Designregeln dem 5-nm-Prozess von TSMC und Samsung gleichwertig ist. Die zugrundeliegenden Technologien sind nicht exakt identisch, daher lässt sich schwer sagen, welches Produkt überlegen ist. Kunden benötigen in der Regel etwa fünf Jahre, um auf fortschrittlichere Fertigungsprozesse umzusteigen. ASML entwickelt Ziele gemeinsam mit seinen Kunden. Obwohl keine Details offengelegt werden können, plant das Unternehmen das Produkt in der Regel und holt anschließend die Genehmigung des Vorstands für die Entwicklung ein. Sobald die Produktentwicklung erfolgreich in die Massenproduktionsphase eintritt und der Exportort nicht in einem kontrollierten Land oder einer kontrollierten Region liegt, wird die Lieferung der Massenproduktionsanlagen innerhalb von zwei Jahren erwartet.

  F: Das ist eine Frage, die Ihnen sicher oft gestellt wird und die sich jetzt noch verschärfen wird: Was halten Sie davon, dass das Mooresche Gesetz an seine Grenzen stößt?
Antwort: Viele behaupten, das Mooresche Gesetz sei ausgedient oder verlangsame sich, doch ich glaube nicht, dass es sich verlangsamt. Laut ASML könnte es noch weitere zehn Jahre oder sogar länger gelten. Auch die Verkleinerung der Chipfläche wird sich in den nächsten zehn Jahren fortsetzen. Das viel diskutierte Verfahren des Stapelns von Chips wird als 3D-Integration bezeichnet, und TSMC und Samsung haben es bereits ausführlich erörtert. Laut ASML wird die Verkleinerung der 2D-Chipfläche trotz der 3D-Integration noch mindestens zehn Jahre anhalten. Aus diesem Grund entwickelt ASML aktiv EUV-Lithographieanlagen der nächsten Generation.

  F: Erwägt ASML Investitionen in maschinelles Lernen oder 5G-Standards, und wird sich dies auf die Marktnachfrage auswirken? Ist das für ASML zu weit hinten im Markt angesiedelt?Antwort: Dieser Abstand ist nicht allzu groß, da Apple, Samsung, Qualcomm usw. alle 5G-Chips herstellen. Huawei wurde auf die Entity List gesetzt, daher wurde seine Marktposition von Xiaomi und anderen chinesischen Marken übernommen. Qualcomms High-End-Chips, die im 5-nm-Verfahren von Samsung gefertigt werden, gehen nun in die Massenproduktion, und auch ASML erzielt gute Ergebnisse.

  F: Wie stehen Sie zur Geopolitik?Antwort: Ich bin kein Sprecher, aber ASML hält sich an alle Gesetze. Wenn Teile unserer Maschinen in den USA hergestellt werden und ein Unternehmen auf der Entity List steht, müssen wir die US-Exportbestimmungen einhalten. Brittney Wolff, US-Pressesprecherin von ASML, fügte hinzu, dass ASML dies sehr ernst nehmen müsse, da das Unternehmen in vielen Ländern und Regionen tätig sei. ASML halte sich jedoch an alle lokalen Gesetze und Vorschriften, wo immer es Geschäfte betreibt, und sei bisher noch nie auf Probleme gestoßen.

Hinweis: Dieser Artikel wurde aus „The World of Lithography People“ übernommen, einer Publikation, die sich für den Schutz geistigen Eigentums einsetzt. Bitte geben Sie bei einer Weiterveröffentlichung die Originalquelle und den Autor an. Sollten Urheberrechte verletzt werden, kontaktieren Sie uns bitte, damit wir den entsprechenden Artikel entfernen können.

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