Yarı iletken endüstrisi, geleneksel çelik endüstrisini ve otomobil endüstrisini geride bırakarak 21. yüzyılda yüksek katma değerli, yüksek teknolojili bir endüstri haline gelmiştir. Yarı iletkenler, birçok endüstriyel ekipmanın çekirdeğini oluşturmakta ve bilgisayarlar, tüketici elektroniği, ağ iletişimi ve otomotiv elektroniği gibi temel alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.

Yarı iletkenler esas olarak dört bileşenden oluşur: entegre devreler, optoelektronik ekipmanlar, ayrık ekipmanlar ve sensörler; entegre devreler, %80'den fazlasını oluşturan yarı iletken endüstrisinin çekirdeğini oluşturur. Entegre devreler arasında mantık çipleri, bellek çipleri, analog çipler, MPU'lar vb. bulunur. Entegre devrelerin performans, entegrasyon ve hız açısından hızlı gelişimi, yarı iletken fiziği, yarı iletken cihazlar ve yarı iletken üretim süreçlerinin gelişmesine dayanmaktadır.

Yarı iletken endüstrisi çok büyük bir pazara sahip ve yarı iletken işlem ekipmanları, büyük ölçekli yarı iletken üretiminin temelini oluşturuyor. Gelecekte, yarı iletken cihazlar daha entegre, minyatürleştirilmiş ve daha güçlü olacak. Aşağıda, yarı iletken üretim sürecinde kullanılan başlıca ekipmanlar yer almaktadır.

1  Tek kristalli fırın

Ekipmanın işlevleri: yarı iletken malzemeleri eritmek, tek kristaller elde etmek ve daha sonraki yarı iletken cihaz üretiminde kullanılmak üzere tek kristal yarı iletken ham maddeler sağlamak.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Alman PVA TePla AG şirketi, Japon Ferrotec şirketi, Amerikan QUANTUM DESIGN şirketi, Alman Gero şirketi, Amerikan KAYEX şirketi.

Yurtiçi: Pekin Jingyuntong, Qixing Huachuang, Pekin Jingyi Yüzyıl, Hebei Jinglong Sunshine, Xi'an Bilim ve Teknoloji Üniversitesi Jinko, Changzhou Huasheng Tianlong, Şangay Hanhong, Xi'an Huade, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitü, Şanghay Shenhe Termal Manyetik.

2 Buhar fazlı epitaksi fırını

Ekipmanın işlevi: Buhar fazlı epitaksi büyümesi için özel bir işlem ortamı sağlamak, tek kristalin kristal fazıyla uyumlu bir ilişkiye sahip ince tabaka kristallerinin tek kristaller üzerinde büyümesini gerçekleştirmek ve tek kristal alt tabaka biriktirme işleminin işlevselleştirilmesi için temel hazırlıkları yapmak. Buhar fazlı epitaksi, kimyasal buhar biriktirme işleminin özel bir yöntemidir. Büyütülen ince tabakanın kristal yapısı, tek kristal alt tabakanın bir devamı niteliğindedir ve alt tabakanın kristal yönelimiyle uyumlu bir ilişkiyi korur.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: American CVD Equipment Company, American GT Company, French Soitec Company, French AS Company, American Proto Flex Company, American Kurt J. Lesker Company, American Applied Materials Company.

Yurtiçi: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Qingdao Serida, Hefei Kejing Malzeme Teknolojisi A.Ş., Beijing Jinsheng Mikro-Nano, Jinan Liguan Elektronik Teknolojisi A.Ş.

3 Moleküler ışın epitaksi sistemi

Ekipman fonksiyonları: Moleküler ışın epitaksi sistemi, alt tabakanın yüzeyinde belirli koşullar altında ince filmlerin büyütülmesi için proses ekipmanı sağlar; moleküler ışın epitaksi, tek kristalli ince filmlerin hazırlanması için kullanılan bir teknolojidir. Uygun alt tabakalar ve uygun koşullar altında, alt tabaka malzemesinin kristal ekseni yönünde katman katman ince filmler büyütür.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Fransız Riber Şirketi, Amerikan Veeco Şirketi, Finlandiyalı DCA Instruments Şirketi, Amerikan SVT Associates Şirketi, Amerikan NBM Şirketi, Alman Omicron Şirketi, Alman MBE-Komponenten Şirketi, İngiliz Oxford Applied Research (OAR) Şirketi.

Yurtiçi: Shenyang Zhongke Instrument, Beijing Huidexin Technology Co., Ltd., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., Ltd., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., Ltd.

4 Oksidasyon Fırını (VDF)

Cihazın işlevi: Yarı iletken malzemeleri oksitlemek, gerekli oksidasyon ortamını sağlamak ve yarı iletkenin oksidasyon sürecini beklendiği gibi gerçekleştirmektir. Yarı iletken işleme sürecinde vazgeçilmez bir bağlantıdır.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: İngiliz Thermco Şirketi, Alman Centrotherm thermal solutions GmbH Co.KG Şirketi.

Yurtiçi: Beijing Qixing Huachuang, Qingdao Furunde, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Qingdao Xuguang Enstrüman Ekipmanları Şirketi, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü.

5 Düşük basınçlı kimyasal buhar biriktirme sistemi (LPCVD)

Cihazın işlevi: İnce film elemanlarını oluşturan gaz veya sıvı reaktif ile reaksiyon için gerekli diğer gazları içeren buharı LPCVD cihazının reaksiyon odasına verin ve alt tabaka yüzeyinde kimyasal bir reaksiyon meydana gelerek ince bir film oluşturun.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Japonya merkezli Hitachi International Electric Co., Ltd.

Yurtiçi: Şanghay Chijian Yarı İletken Teknolojisi Şirketi, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü, Pekin Enstrüman Fabrikası, Şanghay Makine Fabrikası.

6 Plazma destekli kimyasal buhar biriktirme sistemi (PECVD)

Cihazın işlevi: Kaplama odasında parıldayan deşarj kullanarak yüzeyi iyonlaştırır ve ardından alt tabaka üzerinde kimyasal reaksiyon gerçekleştirerek yarı iletken ince film malzemelerini kaplar.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası şirketler: Amerikan Proto Flex Şirketi, Japon Tokki Şirketi, Japon Shimadzu Şirketi, Amerikan Lam Research Şirketi ve Hollandalı ASM International Şirketi.

Yurtiçi: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü, Pekin Enstrüman Fabrikası, Şanghay Makine Fabrikası.

7 Manyetik püskürtme istasyonu (MSA)

Cihazın işlevi: Diyot püskürtme işlemi sırasında hedef yüzeye paralel kapalı bir manyetik alan ve hedef yüzeyde oluşan dik elektromanyetik alan sayesinde, ikincil elektronlar hedef yüzeyin belirli bir bölgesine bağlanarak yüksek iyon yoğunluğu ve yüksek enerjili iyonlaşma sağlanır; ayrıca hedef atomlar veya moleküller yüksek hızda püskürtülerek alt tabaka üzerine biriktirilir ve ince bir film oluşturulur.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: American PVD Company, American Vaportech Company, American AMAT Company, Dutch Hauzer Company, British Teer Company, Swiss Platit Company, Swiss Balzers Company, German Cemecon Company.

Yurtiçi: Pekin Enstrüman Fabrikası, Shenyang Zhongke Enstrüman, Chengdu Nanguang Sanayi A.Ş., Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Core Equipment A.Ş., Şanghay Makine Fabrikası.

8 Kimyasal mekanik parlatma makinesi (CMP)

Ekipmanın işlevi: Mekanik taşlama ve kimyasal sıvı çözünmesi ve "aşındırma"nın birleşik etkileriyle taşlanacak nesneyi (yarı iletken) taşlamak ve parlatmak.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: American Applied Materials Company, American Novartis Systems Company, American Rtec Company.

Yurtiçi: Lanzhou Lanxin Yüksek Teknoloji Sanayi A.Ş., Elite Mikroelektronik.

9 Litografi makinesi

Cihazın işlevi: Yarı iletken alt tabakanın (silikon levha) yüzeyine yapıştırıcı uygulamak, maske üzerindeki deseni fotoreziste aktarmak ve cihaz veya devre yapısını geçici olarak silikon levhaya "kopyalamak".

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Hollanda'dan ASML, Amerika Birleşik Devletleri'nden Lam Semiconductor Company, Japonya'dan Nikon Company, Japonya'dan Canon Company, Amerika Birleşik Devletleri'nden ABM Company, Almanya'dan SUSS Company ve Amerika Birleşik Devletleri'nden MYCRO Company.

Yurtiçi: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü, Şanghay Makine Fabrikası, Chengdu Nanguang Sanayi A.Ş.

10 Reaktif iyon aşındırma sistemi (RIE)

Cihazın işlevi: Düz elektrotlar arasına yüksek frekanslı voltaj uygulayarak yüzlerce mikron kalınlığında bir iyon tabakası oluşturulur. Desen bu tabakaya yerleştirilir ve iyonlar yüksek hızda desene çarparak kimyasal reaksiyon aşındırması ve fiziksel etki sağlar, böylece yarı iletkenlerin işlenmesi ve şekillendirilmesi gerçekleştirilir.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Japonya Evatech Şirketi, Amerika Birleşik Devletleri NANOmaster Şirketi, Singapur REC Şirketi, Güney Kore JuSung Şirketi, Güney Kore TES Şirketi.

Yurtiçi: Pekin Enstrüman Fabrikası, Pekin Qixing Huachuang Elektronik Şirketi, Chengdu Nanguang Sanayi Şirketi ve Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü.

11 ICP plazma aşındırma sistemi

Cihazın çalışma prensibi: Reaksiyon odasında bir veya daha fazla gaz atomu veya molekülü karıştırılır ve dış enerji (radyo frekansı, mikrodalga vb.) etkisi altında plazma oluşturulur. Bir yandan, plazmadaki aktif gruplar, aşındırılacak yüzey malzemesiyle kimyasal olarak reaksiyona girerek uçucu ürünler üretir; diğer yandan, plazmadaki iyonlar, önyargı voltajının etkisi altında yönlendirilir ve hızlandırılır, böylece aşındırılacak yüzeyin yönlü korozyonu ve hızlandırılmış korozyonu sağlanır.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Birleşik Krallık'tan Oxford Instruments Company, Amerika Birleşik Devletleri'nden Torr Company, Amerika Birleşik Devletleri'nden Gatan Company, Birleşik Krallık'tan Quorum Company, Amerika Birleşik Devletleri'nden Leman Company ve Amerika Birleşik Devletleri'nden Pelco Company.

Yurtiçi: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., China Electronics Technology Group 48th Institute, Godel Plasma Technology (Hong Kong) Holdings Co., Ltd., Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Northern Microelectronics, Beijing Oriental Zhongke Integrated Technology Co., Ltd., Beijing Chuangshi Weiner Technology.

12 Islak aşındırma ve temizleme makinesi

Ekipmanın işlevi: Islak aşındırma, aşındırma malzemelerini aşındırıcı bir sıvıya daldırarak aşındırma işlemi gerçekleştiren bir teknolojidir. Temizleme işlemi, kirlenmeyi azaltmak içindir, çünkü kirlenme cihaz performansını etkiler, güvenilirlik sorunlarına neden olur ve verimi düşürür. Bu, her katmanın veya bir sonraki katmanın bir sonraki işleminden önce kapsamlı bir temizlik gerektirir.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Japonya Screen, Güney Kore SEMES, Japonya Tokyo Electron ve Amerika Birleşik Devletleri Lam Research.

Yurtiçi: Nantong Hualincona Semiconductor Equipment Co., Ltd., Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., China Electronics Technology Group 45th Institute, Taiwan Hongsu.

13 İyon implantasyon cihazı (IBI)

Cihazın işlevi: Yarı iletken yüzeyine yakın bölgenin katkılanması.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: American Varian Semiconductor Equipment Company, American CHA Company, American AMAT Company, Varian Semiconductor Manufacturing Equipment Company (AMAT tarafından satın alındı).

Yurtiçi: Pekin Enstrüman Fabrikası, Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 48. Enstitüsü, Chengdu Nanguang Sanayi A.Ş., Shenyang Fangji Hafif Sanayi Makineleri A.Ş., Şanghay Silikon Tuo Mikroelektronik A.Ş.

14 problu test tezgahı

Cihazın işlevi: Yarı iletken cihazın performans göstergelerinin tasarım performans gereksinimlerini karşılayıp karşılamadığını tespit etmek için probu yarı iletken cihazın pedine temas ettirerek elektriksel test yapmak.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Alman Ingun Şirketi, Amerikan QA Şirketi, Amerikan MicroXact Şirketi, Koreli Ecopia Şirketi, Koreli Leeno Şirketi.

Yurtiçi: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü, Pekin Qixing Huachuang Elektronik Şirketi, Rico Instruments, Huarong Grubu, Shenzhen Yarı İletken Teknolojisi.

15 wafer inceltme makinesi

Ekipmanın işlevi: Parlatma yoluyla silikon levhanın kalınlığını azaltmak.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Japon DISCO Şirketi, Alman G&N Şirketi, Japon OKAMOTO Şirketi, İsrail Camtek Şirketi.

Yurtiçi: Lanzhou Lanxin Yüksek Teknoloji Sanayi A.Ş., Shenzhen Fangda Taşlama Ekipmanları İmalat A.Ş., Shenzhen Jinlili Hassas Taşlama Makinesi İmalat A.Ş., Weianda Taşlama Ekipmanları A.Ş., Shenzhen Huanianfeng Teknoloji A.Ş.

16 Gofret kesme makinesi (DS)

Ekipmanın işlevi: Yonga levhasını küçük parçalara ayırmak.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası: Alman OEG Şirketi, Japon DISCO Şirketi.

Yurtiçi: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü, Pekin Kechuangyuan Optoelektronik Teknolojisi A.Ş., Shenyang Enstrümantasyon Teknolojisi Araştırma Enstitüsü, Kuzeybatı Makine A.Ş. (eski adıyla Devlete Ait Kuzeybatı Makine Fabrikası 709), Huisheng Elektronik ve Elektronik Makine Ekipmanları A.Ş., Lanzhou Lanxin Yüksek Teknoloji Sanayi A.Ş., Han's Laser, Shenzhen Ruby Laser Ekipmanları A.Ş., Wuhan Sangong, Zhuhai Lailian Optoelektronik, Zhuhai Yuemao Teknoloji.

17 Tel Bağlayıcı

Cihazın işlevi: Yarı iletken çip üzerindeki bağlantı noktasını ve pin üzerindeki bağlantı noktasını iletken metal tellerle (altın tel) birbirine bağlayın.

Başlıca şirketler (markalar):

Uluslararası şirketler: Amerikan Aotei Şirketi, Alman TPT Şirketi, Avusturyalı FK Şirketi ve Malezyalı UNISEM Şirketi.

Yurtiçi: Çin Elektronik Teknolojisi Grubu 45. Enstitüsü, Pekin Chuangshijie Teknoloji Geliştirme Şirketi, Yuxin (Chengdu) Entegre Devre Paketleme ve Test Şirketi (Malezya Unison Yatırımı), Shenzhen Kaijiu Otomasyon Ekipmanları Şirketi.

Özet: Çin'in yarı iletken endüstrisinin takip eden konumdan lider konuma sıçrama yapabilmesi için ekipman endüstrisi önemli bir bağlantı noktası olacaktır. Çin'in yarı iletken ekipmanlarının gelişimine öncülük etmek ve ülkemizin çip işleme ve teknolojisinde sıçrama niteliğinde bir iyileşme sağlamak için daha fazla inovasyona ihtiyaç vardır.

Not: Bu makale internetten alınmıştır ve fikri mülkiyet haklarının korunmasını desteklemektedir. Yeniden yayınlarken lütfen orijinal kaynağı ve yazarı belirtin. Herhangi bir telif hakkı ihlali durumunda, lütfen silinmesi için bizimle iletişime geçin.

Şirket telefon numarası: +86-0755-83044319
Faks: +86-0755-83975897
E-posta: 1615456225@qq.com
QQ: 3518641314 Yönetici Li

QQ: 332496225 Yönetici Qiu

Adres: Shenzhen, Longhua Yeni Bölgesi, Minzhi Caddesi No. 1079, Zhantao Teknoloji Binası, C Binası, Oda 809