صنعت نیمه‌هادی‌ها از صنعت سنتی فولاد و صنعت خودرو پیشی گرفته و در قرن بیست و یکم به صنعتی با ارزش افزوده بالا و فناوری پیشرفته تبدیل شده است. نیمه‌هادی‌ها هسته بسیاری از تجهیزات صنعتی هستند و به طور گسترده در زمینه‌های اصلی مانند رایانه، لوازم الکترونیکی مصرفی، ارتباطات شبکه و الکترونیک خودرو مورد استفاده قرار می‌گیرند.

نیمه‌هادی‌ها عمدتاً چهار جزء دارند: مدارهای مجتمع، تجهیزات اپتوالکترونیکی، تجهیزات گسسته و حسگرها؛ مدارهای مجتمع هسته اصلی صنعت نیمه‌هادی هستند و بیش از 80٪ را تشکیل می‌دهند. مدارهای مجتمع شامل تراشه‌های منطقی، تراشه‌های حافظه، تراشه‌های آنالوگ، MPUها و غیره هستند. توسعه سریع مدارهای مجتمع از نظر عملکرد، ادغام و سرعت مبتنی بر توسعه فیزیک نیمه‌هادی، دستگاه‌های نیمه‌هادی و فرآیندهای تولید نیمه‌هادی است.

صنعت نیمه‌هادی بازار بسیار بزرگی دارد و تجهیزات فرآیند نیمه‌هادی، پایه و اساس تولید نیمه‌هادی در مقیاس بزرگ را فراهم می‌کنند. در آینده، دستگاه‌های نیمه‌هادی یکپارچه‌تر، کوچک‌تر و قدرتمندتر خواهند شد. در زیر تجهیزات اصلی در فرآیند تولید نیمه‌هادی پیوست شده‌اند.

1  کوره تک کریستال

عملکرد تجهیزات: ذوب مواد نیمه‌هادی، کشیدن تک بلورها و فراهم کردن نمونه‌های نیمه‌هادی تک بلور برای تولید بعدی قطعات نیمه‌هادی.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت آلمانی PVA ​​TePla AG، شرکت ژاپنی Ferrotec، شرکت آمریکایی QUANTUM DESIGN، شرکت آلمانی Gero، شرکت آمریکایی KAYEX.

داخلی: پکن Jingyuntong، Qixing Huachuang، Beijing Jingyi Century، Hebei Jinglong Sunshine، Xi'an University of Science and Technology Jinko، Changzhou Huasheng Tianlong، Shanghai Hanhong، Xi'an Huade، China Electronics Technology Group 48th Shanhe Themalnetic Institute, Shanghai Themalnetic.

۲ کوره اپیتاکسی فاز بخار

عملکرد دستگاه: فراهم کردن یک محیط فرآیندی خاص برای رشد اپیتاکسی فاز بخار، تحقق رشد کریستال‌های لایه نازک روی تک کریستال‌هایی که رابطه متناظری با فاز کریستالی تک کریستال دارند، و انجام مقدمات اولیه برای عامل‌دار کردن رسوب ته تک کریستال. اپیتاکسی فاز بخار یک فرآیند ویژه رسوب شیمیایی بخار است. ساختار کریستالی لایه نازک رشد یافته، ادامه بستر تک کریستالی است و رابطه متناظری با جهت‌گیری کریستالی بستر حفظ می‌کند.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین المللی: شرکت تجهیزات CVD آمریکایی، شرکت GT آمریکایی، شرکت Soitec فرانسوی، شرکت AS فرانسوی، شرکت Proto Flex آمریکایی، شرکت Kurt J. Lesker آمریکایی، شرکت Applied Materials آمریکایی.

داخلی: چهل و هشتمین موسسه گروه فناوری الکترونیک چین، چینگدائو سریدا، شرکت فناوری مواد هفی کجینگ، پکن جینشنگ میکرو-نانو، شرکت فناوری الکترونیک جینان لیگوان

۳ سیستم اپیتاکسی پرتو مولکولی

عملکرد تجهیزات: سیستم اپیتاکسی پرتو مولکولی، تجهیزات فرآیندی را برای رشد لایه‌های نازک مطابق با شرایط خاص روی سطح زیرلایه فراهم می‌کند؛ اپیتاکسی پرتو مولکولی فناوری‌ای برای تهیه لایه‌های نازک تک کریستالی است. این سیستم، لایه‌های نازک را لایه به لایه در امتداد محور کریستالی ماده زیرلایه، تحت زیرلایه‌های مناسب و شرایط مناسب رشد می‌دهد.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت فرانسوی Riber، شرکت آمریکایی Veeco، شرکت فنلاندی DCA Instruments، شرکت آمریکایی SVT Associates، شرکت آمریکایی NBM، شرکت آلمانی Omicron، شرکت آلمانی MBE-Komponenten، شرکت بریتانیایی Oxford Applied Research (OAR).

داخلی: شرکت ابزار دقیق شنیانگ ژونگکه، شرکت فناوری پکن هویدکسین، شرکت تجهیزات ابزار دقیق شائوشینگ کوانگتای، شرکت فناوری خلاء شنیانگ کیو

۴ کوره اکسیداسیون (VDF)

عملکرد تجهیزات: اکسید کردن مواد نیمه‌هادی، فراهم کردن اتمسفر اکسیداسیون مورد نیاز و تحقق فرآیند اکسیداسیون نیمه‌هادی مطابق انتظار. این یک حلقه ضروری در فرآیند پردازش نیمه‌هادی است.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت بریتانیایی Thermco، شرکت آلمانی Centrotherm thermal solutions GmbH Co.KG.

داخلی: پکن چیشینگ هواچوانگ، چینگدائو فوروند، موسسه چهل و هشتم گروه فناوری الکترونیک چین، شرکت تجهیزات ابزار دقیق چینگدائو شوگوانگ، موسسه چهل و پنجم گروه فناوری الکترونیک چین.

۵- سیستم رسوب شیمیایی بخار کم فشار (LPCVD)

عملکرد دستگاه: بخار حاوی معرف گازی یا معرف مایع که عناصر لایه نازک و سایر گازهای مورد نیاز برای واکنش را تشکیل می‌دهد، به محفظه واکنش دستگاه LPCVD وارد می‌شود و یک واکنش شیمیایی روی سطح زیرلایه رخ می‌دهد تا یک لایه نازک تولید شود.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت بین‌المللی برق هیتاچی ژاپن

داخلی: شرکت فناوری نیمه‌هادی چی‌جیان شانگهای، موسسه چهل و هشتم گروه فناوری الکترونیک چین، موسسه چهل و پنجم گروه فناوری الکترونیک چین، کارخانه ابزار دقیق پکن، کارخانه ماشین‌آلات شانگهای.

۶- سیستم رسوب شیمیایی بخار با پلاسما (PECVD)

عملکرد دستگاه: استفاده از تخلیه تابشی در محفظه رسوب‌گذاری برای یونیزه کردن آن و سپس انجام یک واکنش شیمیایی روی زیرلایه برای رسوب مواد لایه نازک نیمه‌هادی.

شرکت‌های اصلی (برندها):

شرکت‌های بین‌المللی: شرکت آمریکایی پروتو فلکس، شرکت ژاپنی توکی، شرکت ژاپنی شیمادزو، شرکت آمریکایی لام ریسرچ و شرکت هلندی ASM اینترنشنال.

داخلی: گروه فناوری الکترونیک چین، موسسه ۴۵، کارخانه ابزار دقیق پکن، کارخانه ماشین آلات شانگهای.

۷ ایستگاه کندوپاش مگنترون (MSA)

عملکرد دستگاه: از طریق یک میدان مغناطیسی بسته موازی با سطح هدف در طول کندوپاش دیودی و میدان الکترومغناطیسی متعامد تشکیل شده روی سطح هدف، الکترون‌های ثانویه به یک ناحیه خاص روی سطح هدف متصل می‌شوند تا به چگالی یون بالا و یونیزاسیون انرژی بالا دست یابند و اتم‌ها یا مولکول‌های هدف با سرعت بالا کندوپاش شده و روی زیرلایه رسوب می‌کنند تا یک فیلم نازک تشکیل دهند.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت PVD آمریکا، شرکت Vaportech آمریکا، شرکت AMAT آمریکا، شرکت Hauzer هلند، شرکت Teer بریتانیا، شرکت Platit سوئیس، شرکت Balzers سوئیس، شرکت Cemecon آلمان.

داخلی: کارخانه ابزار دقیق پکن، شرکت ابزار دقیق شنیانگ ژونگکه، شرکت صنعتی چنگدو نانگوانگ، موسسه چهل و هشتم گروه فناوری الکترونیک چین، شرکت تجهیزات هسته‌ای، کارخانه ماشین‌آلات شانگهای.

۸ دستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP)

عملکرد دستگاه: سنگ‌زنی و صیقل دادن جسم مورد نظر برای سنگ‌زنی (نیمه‌رسانا) از طریق اثرات ترکیبی سنگ‌زنی مکانیکی و انحلال و "خوردگی" مایع شیمیایی.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت آمریکایی مواد کاربردی، شرکت آمریکایی نووارتیس سیستمز، شرکت آمریکایی آرتک.

داخلی: شرکت صنایع پیشرفته لانژو لانشین، شرکت الیت میکروالکترونیک.

۹ دستگاه لیتوگرافی

عملکرد دستگاه: چسب را روی سطح زیرلایه نیمه‌هادی (ویفر سیلیکونی) بمالید، الگوی روی ماسک را به فوتورزیست منتقل کنید و ساختار دستگاه یا مدار را به طور موقت روی ویفر سیلیکونی "کپی" کنید.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: ASML هلند، شرکت نیمه‌رسانای لام ایالات متحده، شرکت نیکون ژاپن، شرکت کانن ژاپن، شرکت ABM ایالات متحده، شرکت SUSS آلمان و شرکت MYCRO ایالات متحده.

داخلی: چهل و هشتمین موسسه گروه فناوری الکترونیک چین، چهل و پنجمین موسسه گروه فناوری الکترونیک چین، کارخانه ماشین آلات شانگهای، شرکت صنعتی چنگدو نانگوانگ

۱۰ سیستم حکاکی یون واکنشی (RIE)

عملکرد دستگاه: ولتاژ فرکانس بالا را بین الکترودهای مسطح اعمال کنید تا یک لایه یونی به ضخامت صدها میکرون ایجاد شود. الگو را در الگو قرار دهید و یون‌ها با سرعت بالا به الگو ضربه می‌زنند تا به حکاکی واکنش شیمیایی و تأثیر فیزیکی برسند و پردازش و قالب‌گیری نیمه‌هادی‌ها را محقق کنند.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت Evatech ژاپن، شرکت NANOmaster آمریکا، شرکت REC سنگاپور، شرکت JuSung کره جنوبی، شرکت TES کره جنوبی.

داخلی: کارخانه ابزار دقیق پکن، شرکت الکترونیک چی‌شینگ هواچوانگ پکن، شرکت صنعتی چنگدو نانگوانگ و چهل و هشتمین موسسه گروه فناوری الکترونیک چین.

سیستم حکاکی پلاسمای ICP 11

عملکرد دستگاه: یک یا چند اتم یا مولکول گاز در محفظه واکنش مخلوط شده و تحت تأثیر انرژی خارجی (مانند فرکانس رادیویی، مایکروویو و غیره) پلاسما تشکیل می‌دهند. از یک طرف، گروه‌های فعال در پلاسما با ماده سطحی که قرار است حکاکی شود، واکنش شیمیایی می‌دهند تا محصولات فرار تولید کنند. از طرف دیگر، یون‌های موجود در پلاسما تحت تأثیر ولتاژ بایاس هدایت و شتاب داده می‌شوند و خوردگی جهت‌دار و خوردگی تسریع‌شده سطح مورد نظر برای حکاکی را به دست می‌آورند.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت آکسفورد اینسترومنتس بریتانیا، شرکت تور ایالات متحده، شرکت گاتان ایالات متحده، شرکت کوروم بریتانیا، شرکت لمان ایالات متحده و شرکت پلکو ایالات متحده.

داخلی: کارخانه ابزار دقیق پکن، شرکت الکترونیک چی شینگ هواچوانگ پکن، موسسه چهل و هشتم گروه فناوری الکترونیک چین، شرکت هولدینگ فناوری پلاسما گودل (هنگ کنگ)، موسسه میکروالکترونیک، آکادمی علوم چین، میکروالکترونیک شمالی، شرکت فناوری یکپارچه ژونگکه شرقی پکن، فناوری چوانگشی واینر پکن.

۱۲ دستگاه حکاکی و تمیزکاری مرطوب

عملکرد دستگاه: اچینگ مرطوب فناوری است که مواد اچینگ را در مایع خورنده برای خوردگی غوطه‌ور می‌کند. تمیز کردن برای کاهش آلودگی است، زیرا آلودگی بر عملکرد دستگاه تأثیر می‌گذارد، باعث مشکلات قابلیت اطمینان و کاهش بازده می‌شود. این امر نیاز به تمیز کردن کامل قبل از فرآیند بعدی هر لایه یا لایه بعدی دارد.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: ژاپن اسکرین، کره جنوبی SEMES، ژاپن توکیو الکترون، و ایالات متحده لام ریسرچ.

داخلی: شرکت تجهیزات نیمه‌هادی نانتونگ هوالینکونا، شرکت الکترونیکس چی‌شینگ هواچوانگ پکن، موسسه ۴۵ گروه فناوری الکترونیک چین، هونگسو تایوان.

۱۳ دستگاه کاشت یون (IBI)

عملکرد دستگاه: آلایش ناحیه نزدیک سطح نیمه‌رسانا.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت آمریکایی تجهیزات نیمه‌هادی واریان، شرکت آمریکایی CHA، شرکت آمریکایی AMAT، شرکت تجهیزات تولیدی نیمه‌هادی واریان (خریداری شده توسط AMAT).

داخلی: کارخانه ابزار دقیق پکن، گروه فناوری الکترونیک چین، موسسه ۴۸، شرکت صنعتی چنگدو نانگوانگ، شرکت ماشین آلات صنایع سبک شنیانگ فانگجی، شرکت میکروالکترونیک سیلیکون توئو شانگهای

میز آزمایش ۱۴ پراب

عملکرد دستگاه: با تماس پروب با پد دستگاه نیمه هادی، آزمایش الکتریکی انجام دهید تا مشخص شود که آیا شاخص‌های عملکرد نیمه هادی، الزامات عملکرد طراحی را برآورده می‌کنند یا خیر.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت آلمانی اینگون، شرکت آمریکایی تضمین کیفیت، شرکت آمریکایی میکروکسکت، شرکت کره‌ای اکوپیا، شرکت کره‌ای لینو.

داخلی: چهل و پنجمین موسسه فناوری الکترونیک چین، شرکت الکترونیک پکن چیشینگ هواچوانگ، ریکو اینسترومنتس، گروه هوارونگ، فناوری نیمه‌هادی شنژن.

دستگاه نازک کننده ویفر ۱۵

عملکرد دستگاه: کاهش ضخامت ویفر از طریق پولیش.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت ژاپنی DISCO، شرکت آلمانی G&N، شرکت ژاپنی OKAMOTO، شرکت اسرائیلی Camtek.

داخلی: شرکت صنایع پیشرفته لانژو لانشین، شرکت تولیدی تجهیزات سنگ‌زنی شنژن فانگدا، شرکت تولیدی ماشین‌آلات سنگ‌زنی دقیق شنژن جین‌لیلی، شرکت تجهیزات سنگ‌زنی ویاندا، شرکت فناوری شنژن هوانیانفنگ

دستگاه خردکن ویفر ۱۶ اینچی (DS)

عملکرد دستگاه: برش ویفر به قطعات کوچک با قالب.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت OEG آلمان، شرکت DISCO ژاپن.

داخلی: چهل و پنجمین موسسه گروه فناوری الکترونیک چین، شرکت فناوری اپتوالکترونیک پکن کچوانگ‌یوان، موسسه تحقیقات فناوری ابزار دقیق شن‌یانگ، شرکت ماشین‌آلات شمال غربی (که قبلاً کارخانه دولتی ماشین‌آلات شمال غربی ۷۰۹ بود)، شرکت تجهیزات الکترونیکی و ماشین‌آلات الکترونیکی هوئی‌شنگ، شرکت صنایع پیشرفته لانژو لان‌شین، هانز لیزر، شرکت تجهیزات لیزری روبی شنژن، ووهان سانگونگ، ژوهای لیلیان اپتوالکترونیک، ژوهای یوئمائو تکنولوژی.

17 سیم اتصال دهنده

عملکرد دستگاه: پد روی تراشه نیمه‌هادی و پد روی پین را با سیم‌های فلزی رسانا (سیم طلایی) وصل کنید.

شرکت‌های اصلی (برندها):

بین‌المللی: شرکت آمریکایی Aotei، شرکت آلمانی TPT، شرکت اتریشی FK ​​و شرکت مالزیایی UNISEM.

داخلی: گروه فناوری الکترونیک موسسه چهل و پنجم چین، شرکت توسعه فناوری چوانگشیجی پکن، شرکت بسته‌بندی و آزمایش مدار مجتمع یوکسین (چنگدو) (سرمایه‌گذاری یونیسون مالزی)، شرکت تجهیزات اتوماسیون شنژن کایجیو

خلاصه: برای اینکه صنعت نیمه‌هادی چین بتواند از جایگاه رهبری به جایگاه رهبری جهش کند، صنعت تجهیزات حلقه‌ی ارتباطی مهمی خواهد بود. برای رهبری توسعه‌ی تجهیزات نیمه‌هادی چین و ارتقای جهشی فرآیند و فناوری تراشه‌ی کشورم، به نوآوری بیشتری نیاز است.

توجه: این مقاله از اینترنت کپی شده و از حقوق مالکیت معنوی حمایت می‌کند. لطفاً هنگام چاپ مجدد، منبع اصلی و نویسنده را ذکر کنید. در صورت وجود هرگونه نقض، لطفاً برای حذف آن با ما تماس بگیرید.

شماره تلفن شرکت: +86-0755-83044319
فکس/فکس: +86-0755-83975897
ایمیل: 1615456225@qq.com
QQ: 3518641314 مدیر لی

QQ: 332496225 مدیر کیو

آدرس: اتاق ۸۰۹، ساختمان C، ساختمان فناوری ژانتائو، پلاک ۱۰۷۹ خیابان مینزی، منطقه جدید لونگهوا، شنژن