תעשיית המוליכים למחצה עקפה את תעשיית הפלדה המסורתית ואת תעשיית הרכב והפכה לתעשיית היי-טק בעלת ערך מוסף גבוה במאה ה-21. מוליכים למחצה הם הליבה של ציוד תעשייתי רב ונמצאים בשימוש נרחב בתחומים מרכזיים כמו מחשבים, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית, תקשורת רשת ואלקטרוניקה לרכב.

מוליכים למחצה מורכבים בעיקר מארבעה מרכיבים: מעגלים משולבים, ציוד אופטואלקטרוני, ציוד בדיד וחיישנים; מעגלים משולבים הם הליבה של תעשיית המוליכים למחצה, המהווים יותר מ-80%. מעגלים משולבים כוללים שבבי לוגיקה, שבבי זיכרון, שבבים אנלוגיים, MPUs וכו'. ההתפתחות המהירה של מעגלים משולבים מבחינת ביצועים, אינטגרציה ומהירות מבוססת על פיתוח פיזיקת המוליכים למחצה, התקני מוליכים למחצה ותהליכי ייצור מוליכים למחצה.

לתעשיית המוליכים למחצה יש שוק עצום, וציוד לתהליך ייצור מוליכים למחצה מספק את הבסיס לייצור מוליכים למחצה בקנה מידה גדול. בעתיד, התקני מוליכים למחצה יהיו משולבים, ממוזערים וחזקים יותר. מצורף להלן הציוד העיקרי בתהליך ייצור המוליכים למחצה.

1  תנור גביש יחיד

פונקציות ציוד: התכת חומרי מוליכים למחצה, משיכת גבישים יחידים ואספקת ריקים של מוליכים למחצה בגביש יחיד לייצור התקני מוליכים למחצה לאחר מכן.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת PVA TePla AG הגרמנית, חברת Ferrotec היפנית, חברת QUANTUM DESIGN האמריקאית, חברת Gero הגרמנית, חברת KAYEX האמריקאית.

מקומי: Beijing Jingyuntong, Qixing Huachuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi'an University of Science and Technology Jinko, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi'an Huade, China Electronics Technology Group 48th Institute, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic.

2 תנור אפיטקסיה פאזה אדים

פונקציית הציוד: לספק סביבת תהליך ספציפית לגידול אפיטקסיה של פאזה אדים, לממש את גידול גבישים דקים על גבישים בודדים בעלי קשר מתאים לפאזה הגבישית של הגביש הבודד, ולבצע הכנות בסיסיות לפונקציונליזציה של שקיעת תחתית גביש בודד. אפיטקסיה של פאזה אדים היא תהליך מיוחד של שקיעת אדים כימית. מבנה הגביש של השכבה הדקה שגדלה הוא המשך של מצע הגביש הבודד ושומר על קשר מתאים עם כיוון הגביש של המצע.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת ציוד CVD אמריקאית, חברת GT אמריקאית, חברת Soitec הצרפתית, חברת AS הצרפתית, חברת Proto Flex האמריקאית, חברת Kurt J. Lesker האמריקאית, חברת Applied Materials האמריקאית.

מקומי: קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-48 של המכון הסיני, צ'ינגדאו סרידה, חברת Hefei Kejing Materials Technology Co., Ltd., בייג'ינג ג'ינסנג מיקרו-ננו, חברת Jinan Liguan Electronic Technology Co., Ltd.

3 מערכת אפיטקסיה של קרן מולקולרית

פונקציות הציוד: מערכת אפיטקסיה של קרן מולקולרית מספקת ציוד תהליך לגידול שכבות דקות בהתאם לתנאים ספציפיים על פני השטח של המצע; אפיטקסיה של קרן מולקולרית היא טכנולוגיה להכנת שכבות דקות גבישיות יחידות. היא מגדלת שכבות דקות שכבה אחר שכבה לאורך כיוון ציר הגביש של חומר המצע תחת מצעים מתאימים ותנאים מתאימים.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Riber הצרפתית, חברת Veeco האמריקאית, חברת DCA Instruments הפינית, חברת SVT Associates האמריקאית, חברת NBM האמריקאית, חברת Omicron הגרמנית, חברת MBE-Komponenten הגרמנית, חברת Oxford Applied Research (OAR) הבריטית.

מקומי: שניאנג ז'ונגקה מכשיר, בייג'ינג הוידקסין טכנולוגיה בע"מ, שאוקסינג קואנגטאי מכשיר ציוד בע"מ, שניאנג קיאו ואקום טכנולוגיה בע"מ

4 תנור חמצון (VDF)

תפקיד הציוד: חמצון חומרי מוליכים למחצה, מתן אווירת החמצון הנדרשת, ומימוש תהליך החמצון של המוליך למחצה כצפוי. זהו חוליה הכרחית בתהליך עיבוד המוליכים למחצה.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Thermco הבריטית, חברת Centrotherm thermal solutions GmbH Co.KG הגרמנית.

מקומי: בייג'ינג צ'יקסינג הואצ'ואנג, צ'ינגדאו פורונדה, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין המכון ה-48, צ'ינגדאו שוגאנג ציוד מכשירים בע"מ, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין המכון ה-45.

5 מערכת שקיעת אדים כימית בלחץ נמוך (LPCVD)

תפקיד הציוד: החדרת האדים המכילים את הריאגנט הגזי או הריאגנט הנוזלי המהווה את יסודות הסרט הדק וגזים אחרים הנדרשים לתגובה לתא התגובה של ציוד ה-LPCVD, ותגובה כימית מתרחשת על פני המצע ליצירת סרט דק.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Hitachi International Electric Co., Ltd מיפן,

מקומי: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., Ltd., קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין המכון ה-48, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין המכון ה-45, מפעל מכשירים בבייג'ינג, מפעל מכונות שנחאי.

6 מערכת שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה (PECVD)

פונקציית הציוד: שימוש בפריקת זוהר בתא השיקוע כדי ליינן אותה ולאחר מכן ביצוע תגובה כימית על המצע כדי להפקיד חומרי שכבה דקה של מוליכים למחצה.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Proto Flex האמריקאית, חברת Tokki היפנית, חברת Shimadzu היפנית, חברת Lam Research האמריקאית וחברת ASM הבינלאומית ההולנדית.

מקומי: קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין ה-45, מפעל מכשירים בבייג'ינג, מפעל מכונות בשנגחאי.

7 תחנת התזה מגנטרונית (MSA)

תפקוד הציוד: באמצעות שדה מגנטי סגור במקביל למשטח המטרה במהלך התזה של דיודה והשדה האלקטרומגנטי האורתוגונלי שנוצר על פני המטרה, האלקטרונים המשניים קשורים לאזור מסוים על פני המטרה כדי להשיג צפיפות יונים גבוהה ויינון באנרגיה גבוהה, ואטומי או מולקולות המטרה מתזהים ומונחים על המצע בקצב גבוה ליצירת שכבה דקה.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת PVD אמריקאית, חברת Vaportech אמריקאית, חברת AMAT אמריקאית, חברת Hauzer ההולנדית, חברת Teer הבריטית, חברת Platit השוויצרית, חברת Balzers השוויצרית, חברת Cemecon הגרמנית.

מקומי: מפעל כלי נגינה בבייג'ינג, שניאנג ג'ונגקה כלי נגינה, צ'נגדו נאנגואנג תעשייתי בע"מ, קבוצת טכנולוגיית אלקטרוניקה של סין המכון ה-48, ליבה ציוד בע"מ, מפעל מכונות שנגחאי.

8 מכונת ליטוש כימית מכנית (CMP)

תפקיד הציוד: ליטוש וליטוש האובייקט המיועד לטחינה (מוליך למחצה) באמצעות השפעות משולבות של טחינה מכנית והתמוססות נוזלים כימית ו"קורוזיה".

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת אפלייד מטיריאלס האמריקאית, חברת נוברטיס סיסטמס האמריקאית, חברת Rtec האמריקאית.

מקומי: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Elite Microelectronics.

9 מכונת ליטוגרפיה

תפקיד הציוד: מריחת דבק על פני מצע המוליך למחצה (פרוסת סיליקון), העברת התבנית שעל המסכה לפוטורזיסט, ו"העתקה" זמנית של מבנה ההתקן או המעגל לפרוסת הסיליקון.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: ASML מהולנד, חברת Lam Semiconductor מארצות הברית, חברת Nikon מיפן, חברת Canon מיפן, חברת ABM מארצות הברית, חברת SUSS מגרמניה וחברת MYCRO מארצות הברית.

מקומי: קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-48 של המכון הסיני, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-45 של המכון הסיני, מפעל מכונות שנגחאי, חברת התעשייה צ'נגדו נאנגואנג בע"מ.

10 מערכת איכול יונים ריאקטיבית (RIE)

פונקציית הציוד: הפעלת מתח בתדר גבוה בין אלקטרודות שטוחות כדי ליצור שכבת יונים בעובי של מאות מיקרונים. הנח את התבנית בתוך התבנית, והיונים פוגעים בתבנית במהירות גבוהה כדי להשיג איכול תגובה כימית ופגיעה פיזיקלית, ולממש את העיבוד והעיצוב של מוליכים למחצה.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Evatech היפנית, חברת NANOmaster האמריקאית, חברת REC הסינגפורית, חברת JuSung הדרום קוריאנית, חברת TES הדרום קוריאנית.

מקומי: מפעל כלי נגינה בבייג'ינג, בייג'ינג צ'יקסינג הואצ'ואנג אלקטרוניקה בע"מ, צ'נגדו נאנגואנג תעשייתי בע"מ, וקבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-48 של המכון הסיני.

11 מערכת איכול פלזמה ICP

פונקציית הציוד: אטום או מולקולה של גז אחד או יותר מעורבבים בתא התגובה ויוצרים פלזמה תחת פעולת אנרגיה חיצונית (כגון תדר רדיו, מיקרוגל וכו'). מצד אחד, הקבוצות הפעילות בפלזמה מגיבות כימית עם חומר פני השטח המיועד לחריטה כדי לייצר תוצרים נדיפים; מצד שני, היונים בפלזמה מונחים ומואצים תחת פעולת מתח הטיה, ומשיגים קורוזיה כיוונית וקורוזיה מואצת של פני השטח המיועד לחריטה.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Oxford Instruments מהממלכה המאוחדת, חברת Torr מארצות הברית, חברת Gatan מארצות הברית, חברת Quorum מהממלכה המאוחדת, חברת Leman מארצות הברית וחברת Pelco מארצות הברית.

מקומי: מפעל מכשירים בבייג'ינג, בייג'ינג צ'יקסינג הואצ'ואנג אלקטרוניקה בע"מ, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין המכון ה-48, גודל פלזמה טכנולוגיית (הונג קונג) אחזקות בע"מ, מכון המיקרואלקטרוניקה, האקדמיה הסינית למדעים, צפון המיקרואלקטרוניקה, בייג'ינג אוריינטל ז'ונגקה משולבת טכנולוגיה בע"מ, בייג'ינג צ'ואנגשי ויינר טכנולוגיה.

12 מכונת איכול וניקוי רטובים

פונקציית הציוד: איכול רטוב היא טכנולוגיה של טובלת חומרי איכול בנוזל קורוזיבי לצורך קורוזיה. ניקוי נועד להפחית זיהום, מכיוון שזיהום ישפיע על ביצועי המכשיר, יגרום לבעיות אמינות ויפחית את התפוקה. זה דורש ניקוי יסודי לפני התהליך הבא של כל שכבה או השכבה הבאה.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: Japan Screen, דרום קוריאה SEMES, יפן טוקיו אלקטרון, ו-Lam Research מארה"ב.

מקומי: Nantong Hualincona Semiconductor Equipment Co., Ltd., Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., China Electronics Technology Group 45 Institute, טייוואן Hongsu.

13 משתל יונים (IBI)

פונקציית המכשיר: סימום האזור הסמוך לפני השטח של מוליך למחצה.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת הציוד האמריקאית וריאן סמיקונדקטור, חברת CHA האמריקאית, חברת AMAT האמריקאית, חברת ציוד ייצור וריאן סמיקונדקטור (נרכשה על ידי AMAT).

מקומי: מפעל מכשירים בבייג'ינג, קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה של סין, המכון ה-48, צ'נגדו נאנגואנג תעשייה בע"מ, שניאנג פאנג'י קל תעשייה מכונות בע"מ, שנגחאי סיליקון טואו מיקרואלקטרוניקה בע"מ

ספסל בדיקה עם 14 גששים

פונקציית הציוד: בצעו בדיקות חשמליות על ידי מגע בין הגשוש למשטח של התקן המוליך למחצה כדי לזהות האם מדדי הביצועים של המוליך למחצה עומדים בדרישות ביצועי התכנון.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Ingun הגרמנית, חברת QA אמריקאית, חברת MicroXact האמריקאית, חברת Ecopia הקוריאנית, חברת Leeno הקוריאנית.

מקומי: קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-45 של המכון הסיני, בייג'ינג צ'יקסינג הואצ'ואנג אלקטרוניקה בע"מ, ריקו אינסטרומנטס, קבוצת הוארונג, שנזן סמיקונדקטור טכנולוגיה.

15 מכונת דילול ופלים

פונקציית הציוד: הפחתת עובי הוופל באמצעות ליטוש.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת DISCO היפנית, חברת G&N הגרמנית, חברת OKAMOTO היפנית, חברת Camtek הישראלית.

מקומי: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Shenzhen Fangda Grinding Equipment Manufacturing Co., Ltd., Shenzhen Jinlili Precision Grinding Machine Manufacturing Co., Ltd., Weianda Grinding Equipment Co., Ltd., Shenzhen Huanianfeng Technology Co., Ltd.

16 מכונת חיתוך ופלים (DS)

תפקיד הציוד: חיתוך פרוסת הוופל לחתיכות קטנות.

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת OEG הגרמנית, חברת DISCO היפנית.

מקומי: קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-45 של המכון הסיני, חברת טכנולוגיית אופטואלקטרוניקה של בייג'ינג קצ'ואנגיואן בע"מ, מכון המחקר לטכנולוגיית מכשור של שניאנג, חברת Northwest Machinery בע"מ (לשעבר מפעל 709 של Northwest Machinery Factory בבעלות המדינה), חברת Huisheng Electronic and Electronic Machinery Equipment Co. בע"מ, חברת Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co. בע"מ, חברת Han's Laser, חברת Shenzhen Ruby Laser Equipment Co. בע"מ, ווהאן סנגונג, חברת אופטואלקטרוניקה של ג'והאי לאיליאן, חברת Zhuhai Yuemao Technology.

17 מחבר חוטים

פונקציית הציוד: חברו את הפד על שבב המוליך למחצה ואת הפד על הפין באמצעות חוטי מתכת מוליכים (חוט זהב).

חברות (מותגים) עיקריות:

בינלאומי: חברת Aotei האמריקאית, חברת TPT הגרמנית, חברת FK האוסטרית וחברת UNISEM המלזית.

מקומי: קבוצת טכנולוגיית האלקטרוניקה ה-45 של המכון הסיני, חברת פיתוח טכנולוגיית צ'ואנגשיג'יה בע"מ, חברת יוקסין (צ'נגדו) אריזת ובדיקה של מעגלים משולבים בע"מ (השקעות יוניסון מלזיה), חברת שנג'ן קאיג'יאו אוטומציה ציוד בע"מ.

סיכום: כדי שתעשיית המוליכים למחצה של סין תוכל להשיג קפיצת מדרגה ממעקב להובלה, תעשיית הציוד תהיה חוליה חשובה. נדרשת חדשנות רבה יותר כדי להוביל את פיתוח ציוד המוליכים למחצה של סין ולקדם את השיפור הקצר של תהליך וטכנולוגיית השבבים של ארצי.

הערה: מאמר זה נלקח מהאינטרנט ותומך בהגנה על זכויות קניין רוחני. אנא ציינו את המקור המקורי ואת המחבר בעת הדפסה חוזרת. במקרה של הפרה כלשהי, אנא צרו עמנו קשר כדי למחוק אותה.

מספר טלפון של החברה: 86-0755-83044319+
פקס/פקס: 86-0755-83975897+
דוא"ל: 1615456225@qq.com
QQ: 3518641314 מנהל לי

QQ: 332496225 מנהל Qiu

כתובת: חדר 809, בניין C, בניין הטכנולוגיה ז'אנטאו, שדרת מינגז'י מס' 1079, רובע לונגהואה החדש, שנזן