सेमीकंडक्टर उद्योग ने परंपरागत इस्पात उद्योग और ऑटोमोबाइल उद्योग को पीछे छोड़ते हुए 21वीं सदी में उच्च मूल्य वर्धित, उच्च तकनीक वाला उद्योग बन गया है। सेमीकंडक्टर कई औद्योगिक उपकरणों का आधार हैं और कंप्यूटर, उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स, नेटवर्क संचार और ऑटोमोटिव इलेक्ट्रॉनिक्स जैसे प्रमुख क्षेत्रों में व्यापक रूप से उपयोग किए जाते हैं।

सेमीकंडक्टर में मुख्य रूप से चार घटक होते हैं: एकीकृत परिपथ, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरण, असतत उपकरण और सेंसर; एकीकृत परिपथ सेमीकंडक्टर उद्योग का आधार हैं, जो 80% से अधिक का योगदान देते हैं। एकीकृत परिपथों में लॉजिक चिप्स, मेमोरी चिप्स, एनालॉग चिप्स, एमपीयू आदि शामिल हैं। प्रदर्शन, एकीकरण और गति के संदर्भ में एकीकृत परिपथों का तीव्र विकास सेमीकंडक्टर भौतिकी, सेमीकंडक्टर उपकरणों और सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं के विकास पर आधारित है।

सेमीकंडक्टर उद्योग का बाज़ार बहुत विशाल है, और सेमीकंडक्टर प्रक्रिया उपकरण बड़े पैमाने पर सेमीकंडक्टर उत्पादन के लिए आधारभूत संरचना प्रदान करते हैं। भविष्य में, सेमीकंडक्टर उपकरण अधिक एकीकृत, लघु और अधिक शक्तिशाली होंगे। नीचे सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रिया में उपयोग होने वाले मुख्य उपकरणों की सूची दी गई है।

1  एकल क्रिस्टल भट्टी

उपकरण के कार्य: अर्धचालक पदार्थों को पिघलाना, एकल क्रिस्टल निकालना और बाद में अर्धचालक उपकरण निर्माण के लिए एकल क्रिस्टल अर्धचालक ब्लैंक प्रदान करना।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय कंपनियां: जर्मन पीवीए टेपला एजी कंपनी, जापानी फेरोटेक कंपनी, अमेरिकी क्वांटम डिजाइन कंपनी, जर्मन गेरो कंपनी, अमेरिकी कायेक्स कंपनी।

घरेलू: बीजिंग जिंगयुनटोंग, किक्सिंग हुआचुआंग, बीजिंग जिंगयी सेंचुरी, हेबेई जिंगलोंग सनशाइन, शीआन यूनिवर्सिटी ऑफ साइंस एंड टेक्नोलॉजी जिंको, चांगझौ हुआशेंग तियानलोंग, शंघाई हानहोंग, शीआन हुआडे, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 48वां इंस्टीट्यूट, शंघाई शेनहे थर्मल मैग्नेटिक।

2 वाष्प चरण एपिटैक्सी भट्टी

उपकरण का कार्य: वाष्प चरण एपिटैक्सी वृद्धि के लिए एक विशिष्ट प्रक्रिया वातावरण प्रदान करना, एकल क्रिस्टल पर पतली परत वाले क्रिस्टलों की वृद्धि करना जो एकल क्रिस्टल के क्रिस्टल चरण के साथ संगत संबंध रखते हैं, और एकल क्रिस्टल बॉटम डिपोजिशन के कार्यान्वयन के लिए बुनियादी तैयारी करना। वाष्प चरण एपिटैक्सी रासायनिक वाष्प जमाव की एक विशेष प्रक्रिया है। विकसित पतली परत की क्रिस्टल संरचना एकल क्रिस्टल सब्सट्रेट का विस्तार है और सब्सट्रेट के क्रिस्टल अभिविन्यास के साथ संगत संबंध बनाए रखती है।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय: अमेरिकन सीवीडी इक्विपमेंट कंपनी, अमेरिकन जीटी कंपनी, फ्रेंच सोइटेक कंपनी, फ्रेंच एएस कंपनी, अमेरिकन प्रोटो फ्लेक्स कंपनी, अमेरिकन कर्ट जे. लेस्कर कंपनी, अमेरिकन एप्लाइड मैटेरियल्स कंपनी।

घरेलू: चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह का 48वां संस्थान, किंगदाओ सेरिडा, हेफेई केजिंग मैटेरियल्स टेक्नोलॉजी कंपनी लिमिटेड, बीजिंग जिनशेंग माइक्रो-नैनो, जिनान लिगुआन इलेक्ट्रॉनिक टेक्नोलॉजी कंपनी लिमिटेड।

3 आणविक बीम एपिटैक्सी प्रणाली

उपकरण के कार्य: मॉलिक्यूलर बीम एपिटैक्सी प्रणाली, सब्सट्रेट की सतह पर विशिष्ट परिस्थितियों के अनुसार पतली फिल्मों को विकसित करने के लिए प्रक्रिया उपकरण प्रदान करती है; मॉलिक्यूलर बीम एपिटैक्सी एकल क्रिस्टल पतली फिल्मों को तैयार करने की एक तकनीक है। यह उपयुक्त सब्सट्रेट और अनुकूल परिस्थितियों में सब्सट्रेट सामग्री की क्रिस्टल अक्ष दिशा के अनुदिश परत दर परत पतली फिल्मों को विकसित करती है।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय: फ्रांसीसी रिबर कंपनी, अमेरिकी वीको कंपनी, फिनिश डीसीए इंस्ट्रूमेंट्स कंपनी, अमेरिकी एसवीटी एसोसिएट्स कंपनी, अमेरिकी एनबीएम कंपनी, जर्मन ओमिक्रॉन कंपनी, जर्मन एमबीई-कंपोनेंटेन कंपनी, ब्रिटिश ऑक्सफोर्ड एप्लाइड रिसर्च (ओएआर) कंपनी।

घरेलू: शेनयांग झोंगके इंस्ट्रूमेंट, बीजिंग हुइडेक्सिन टेक्नोलॉजी कंपनी लिमिटेड, शाओक्सिंग कुआंगताई इंस्ट्रूमेंट इक्विपमेंट कंपनी लिमिटेड, शेनयांग केयू वैक्यूम टेक्नोलॉजी कंपनी लिमिटेड।

4 ऑक्सीकरण भट्टी (VDF)

उपकरण का कार्य: अर्धचालक पदार्थों का ऑक्सीकरण करना, आवश्यक ऑक्सीकरण वातावरण प्रदान करना और अर्धचालक की ऑक्सीकरण प्रक्रिया को अपेक्षा के अनुरूप संपन्न करना। यह अर्धचालक प्रसंस्करण प्रक्रिया में एक अनिवार्य कड़ी है।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय: ब्रिटिश थर्मको कंपनी, जर्मन सेंट्रोथर्म थर्मल सॉल्यूशंस जीएमबीएच कंपनी केजी कंपनी।

घरेलू: बीजिंग किक्सिंग हुआचुआंग, किंगदाओ फुरुंडे, चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह 48वां संस्थान, किंगदाओ ज़ुगुआंग इंस्ट्रूमेंट इक्विपमेंट कंपनी लिमिटेड, चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह 45वां संस्थान।

5. निम्न दाब रासायनिक वाष्प निक्षेपण प्रणाली (एलपीसीवीडी)

उपकरण की कार्यप्रणाली: एलपीसीवीडी उपकरण के प्रतिक्रिया कक्ष में पतली फिल्म के तत्वों और प्रतिक्रिया के लिए आवश्यक अन्य गैसों से युक्त गैसीय अभिकर्मक या तरल अभिकर्मक युक्त वाष्प को डाला जाता है, जिससे सब्सट्रेट की सतह पर रासायनिक प्रतिक्रिया होती है और एक पतली फिल्म बनती है।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय: जापान की हिताची इंटरनेशनल इलेक्ट्रिक कंपनी लिमिटेड

घरेलू: शंघाई चिजियान सेमीकंडक्टर टेक्नोलॉजी कंपनी लिमिटेड, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 48वां संस्थान, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 45वां संस्थान, बीजिंग इंस्ट्रूमेंट फैक्ट्री, शंघाई मशीनरी फैक्ट्री।

6. प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प निक्षेपण प्रणाली (PECVD)

उपकरण का कार्य: जमाव कक्ष में ग्लो डिस्चार्ज का उपयोग करके इसे आयनित किया जाता है और फिर सब्सट्रेट पर रासायनिक प्रतिक्रिया करके अर्धचालक पतली फिल्म सामग्री जमा की जाती है।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय स्तर पर: अमेरिकी प्रोटो फ्लेक्स कंपनी, जापानी टोक्की कंपनी, जापानी शिमाद्ज़ू कंपनी, अमेरिकी लैम रिसर्च कंपनी और डच एएसएम इंटरनेशनल कंपनी।

घरेलू: चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 45वां संस्थान, बीजिंग इंस्ट्रूमेंट फैक्ट्री, शंघाई मशीनरी फैक्ट्री।

7. मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग स्टेशन (एमएसए)

उपकरण की कार्यप्रणाली: डायोड स्पटरिंग के दौरान लक्ष्य सतह के समानांतर एक बंद चुंबकीय क्षेत्र और लक्ष्य सतह पर निर्मित लंबवत विद्युत चुम्बकीय क्षेत्र के माध्यम से, द्वितीयक इलेक्ट्रॉन लक्ष्य सतह पर एक विशिष्ट क्षेत्र से बंध जाते हैं जिससे उच्च आयन घनत्व और उच्च ऊर्जा आयनीकरण प्राप्त होता है, और लक्ष्य परमाणु या अणु उच्च दर पर स्पटर होकर सब्सट्रेट पर जमा हो जाते हैं जिससे एक पतली फिल्म बनती है।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय: अमेरिकी पीवीडी कंपनी, अमेरिकी वेपोरटेक कंपनी, अमेरिकी एमैट कंपनी, डच हाउजर कंपनी, ब्रिटिश टीयर कंपनी, स्विस प्लेटिट कंपनी, स्विस बाल्जर्स कंपनी, जर्मन सेमेकॉन कंपनी।

घरेलू: बीजिंग इंस्ट्रूमेंट फैक्ट्री, शेनयांग झोंगके इंस्ट्रूमेंट, चेंगदू नानगुआंग इंडस्ट्रियल कंपनी लिमिटेड, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 48वां संस्थान, कोर इक्विपमेंट कंपनी लिमिटेड, शंघाई मशीनरी फैक्ट्री।

8 रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग मशीन (सीएमपी)

उपकरण का कार्य: यांत्रिक पीसने और रासायनिक तरल विघटन और "संक्षारण" के संयुक्त प्रभावों के माध्यम से पीसी जाने वाली वस्तु (अर्धचालक) को पीसना और पॉलिश करना।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय: अमेरिकन एप्लाइड मैटेरियल्स कंपनी, अमेरिकन नोवार्टिस सिस्टम्स कंपनी, अमेरिकन आरटेक कंपनी।

घरेलू: लांझोऊ लानक्सिन हाई-टेक इंडस्ट्री कंपनी लिमिटेड, एलीट माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स।

9 लिथोग्राफी मशीन

उपकरण का कार्य: अर्धचालक सब्सट्रेट (सिलिकॉन वेफर) की सतह पर गोंद लगाएं, मास्क पर बने पैटर्न को फोटोरेसिस्ट पर स्थानांतरित करें, और डिवाइस या सर्किट संरचना की अस्थायी रूप से सिलिकॉन वेफर पर "प्रतिलिपि" बनाएं।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय कंपनियां: नीदरलैंड की एएसएमएल, संयुक्त राज्य अमेरिका की लैम सेमीकंडक्टर कंपनी, जापान की निकॉन कंपनी, जापान की कैनन कंपनी, संयुक्त राज्य अमेरिका की एबीएम कंपनी, जर्मनी की सस कंपनी और संयुक्त राज्य अमेरिका की माइक्रो कंपनी।

घरेलू: चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह का 48वां संस्थान, चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह का 45वां संस्थान, शंघाई मशीनरी फैक्ट्री, चेंगदू नानगुआंग औद्योगिक कंपनी लिमिटेड।

10 प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी प्रणाली (आरआईई)

उपकरण की कार्यप्रणाली: समतल इलेक्ट्रोडों के बीच उच्च आवृत्ति वोल्टेज लगाकर सैकड़ों माइक्रोन मोटी आयन परत उत्पन्न की जाती है। पैटर्न को इस परत में रखा जाता है, और आयन उच्च गति से पैटर्न पर टकराकर रासायनिक अभिक्रिया द्वारा क्षरण और भौतिक प्रभाव उत्पन्न करते हैं, जिससे अर्धचालकों का प्रसंस्करण और सांचाकरण संभव होता है।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय स्तर पर: जापान की इवाटेक कंपनी, अमेरिका की नैनोमास्टर कंपनी, सिंगापुर की आरईसी कंपनी, दक्षिण कोरिया की जुसुंग कंपनी, दक्षिण कोरिया की टीईएस कंपनी।

घरेलू स्तर पर: बीजिंग इंस्ट्रूमेंट फैक्ट्री, बीजिंग किक्सिंग हुआचुआंग इलेक्ट्रॉनिक्स कंपनी लिमिटेड, चेंगदू नानगुआंग इंडस्ट्रियल कंपनी लिमिटेड और चीन इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप का 48वां संस्थान।

11 आईसीपी प्लाज्मा एचिंग सिस्टम

उपकरण की कार्यप्रणाली: अभिक्रिया कक्ष में एक या अधिक गैस परमाणु या अणु मिश्रित होते हैं और बाह्य ऊर्जा (जैसे रेडियो आवृत्ति, माइक्रोवेव आदि) के प्रभाव से प्लाज्मा बनाते हैं। एक ओर, प्लाज्मा में मौजूद सक्रिय समूह उत्कीर्ण की जाने वाली सतह सामग्री के साथ रासायनिक अभिक्रिया करके वाष्पशील उत्पाद उत्पन्न करते हैं; दूसरी ओर, प्लाज्मा में मौजूद आयन बायस वोल्टेज के प्रभाव से निर्देशित और त्वरित होते हैं, जिससे उत्कीर्ण की जाने वाली सतह का दिशात्मक क्षरण और त्वरित क्षरण होता है।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय स्तर पर: यूनाइटेड किंगडम की ऑक्सफोर्ड इंस्ट्रूमेंट्स कंपनी, संयुक्त राज्य अमेरिका की टॉर कंपनी, संयुक्त राज्य अमेरिका की गाटन कंपनी, यूनाइटेड किंगडम की क्वोरम कंपनी, संयुक्त राज्य अमेरिका की लेमन कंपनी और संयुक्त राज्य अमेरिका की पेल्को कंपनी।

घरेलू: बीजिंग इंस्ट्रूमेंट फैक्ट्री, बीजिंग किक्सिंग हुआचुआंग इलेक्ट्रॉनिक्स कंपनी लिमिटेड, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 48वां संस्थान, गोडेल प्लाज्मा टेक्नोलॉजी (हांगकांग) होल्डिंग्स कंपनी लिमिटेड, माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स संस्थान, चीनी विज्ञान अकादमी, नॉर्दर्न माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स, बीजिंग ओरिएंटल झोंगके इंटीग्रेटेड टेक्नोलॉजी कंपनी लिमिटेड, बीजिंग चुआंगशी वीनर टेक्नोलॉजी।

12 गीली नक्काशी और सफाई मशीन

उपकरण का कार्य: वेट एचिंग एक ऐसी तकनीक है जिसमें एचिंग सामग्री को संक्षारक तरल में डुबोकर संक्षारण किया जाता है। सफाई संदूषण को कम करने के लिए की जाती है, क्योंकि संदूषण उपकरण के प्रदर्शन को प्रभावित करेगा, विश्वसनीयता संबंधी समस्याएं पैदा करेगा और उत्पादन को कम करेगा। इसके लिए प्रत्येक परत या अगली परत की प्रक्रिया से पहले पूरी तरह से सफाई आवश्यक है।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय स्तर पर: जापान स्क्रीन, दक्षिण कोरिया सेएमईएस, जापान टोक्यो इलेक्ट्रॉन और संयुक्त राज्य अमेरिका लैम रिसर्च।

घरेलू: नान्टोंग हुआलिनकोना सेमीकंडक्टर इक्विपमेंट कंपनी लिमिटेड, बीजिंग किक्सिंग हुआचुआंग इलेक्ट्रॉनिक्स कंपनी लिमिटेड, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 45वां संस्थान, ताइवान होंगसू।

13 आयन इंप्लांटर (आईबीआई)

उपकरण का कार्य: अर्धचालक सतह के निकट के क्षेत्र में डोपिंग करना।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय: अमेरिकन वेरियन सेमीकंडक्टर इक्विपमेंट कंपनी, अमेरिकन सीएचए कंपनी, अमेरिकन एएमएटी कंपनी, वेरियन सेमीकंडक्टर मैन्युफैक्चरिंग इक्विपमेंट कंपनी (जिसे एएमएटी ने अधिग्रहित कर लिया)।

घरेलू: बीजिंग इंस्ट्रूमेंट फैक्ट्री, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 48वां संस्थान, चेंगदू नानगुआंग इंडस्ट्रियल कंपनी लिमिटेड, शेनयांग फांगजी लाइट इंडस्ट्री मशीनरी कंपनी लिमिटेड, शंघाई सिलिकॉन टुओ माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स कंपनी लिमिटेड।

14 प्रोब टेस्ट बेंच

उपकरण का कार्य: सेमीकंडक्टर डिवाइस के पैड के साथ प्रोब को संपर्क में लाकर विद्युत परीक्षण करना, ताकि यह पता लगाया जा सके कि सेमीकंडक्टर के प्रदर्शन संकेतक डिजाइन प्रदर्शन आवश्यकताओं को पूरा करते हैं या नहीं।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय कंपनियां: जर्मन इंगुन कंपनी, अमेरिकी क्यूए कंपनी, अमेरिकी माइक्रोएक्सैक्ट कंपनी, कोरियाई इकोपिया कंपनी, कोरियाई लीनो कंपनी।

घरेलू: चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप का 45वां संस्थान, बीजिंग किक्सिंग हुआचुआंग इलेक्ट्रॉनिक्स कंपनी लिमिटेड, रिको इंस्ट्रूमेंट्स, हुआरोंग ग्रुप, शेन्ज़ेन सेमीकंडक्टर टेक्नोलॉजी।

15 वेफर थिनिंग मशीन

उपकरण का कार्य: पॉलिशिंग के माध्यम से वेफर की मोटाई कम करना।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय स्तर पर: जापानी DISCO कंपनी, जर्मन G&N कंपनी, जापानी OKAMOTO कंपनी, इजरायली Camtek कंपनी।

घरेलू: लांझोऊ लानक्सिन हाई-टेक इंडस्ट्री कंपनी लिमिटेड, शेन्ज़ेन फांगडा ग्राइंडिंग इक्विपमेंट मैन्युफैक्चरिंग कंपनी लिमिटेड, शेन्ज़ेन जिनलिली प्रेसिजन ग्राइंडिंग मशीन मैन्युफैक्चरिंग कंपनी लिमिटेड, वेइआंडा ग्राइंडिंग इक्विपमेंट कंपनी लिमिटेड, शेन्ज़ेन हुआनियनफेंग टेक्नोलॉजी कंपनी लिमिटेड।

16 वेफर डाइसिंग मशीन (डीएस)

उपकरण का कार्य: वेफर को छोटे-छोटे टुकड़ों में काटने के लिए डाई का उपयोग करना।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय स्तर पर: जर्मन ओईजी कंपनी, जापानी डिस्को कंपनी।

घरेलू: चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह का 45वां संस्थान, बीजिंग केचुआंगयुआन ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी कंपनी लिमिटेड, शेनयांग इंस्ट्रूमेंटेशन प्रौद्योगिकी अनुसंधान संस्थान, नॉर्थवेस्ट मशीनरी कंपनी लिमिटेड (पूर्व में राज्य के स्वामित्व वाली नॉर्थवेस्ट मशीनरी फैक्ट्री 709 फैक्ट्री), हुईशेंग इलेक्ट्रॉनिक और इलेक्ट्रॉनिक मशीनरी उपकरण कंपनी लिमिटेड, लांझोऊ लानक्सिन हाई-टेक उद्योग कंपनी लिमिटेड, हान्स लेजर, शेनझेन रूबी लेजर उपकरण कंपनी लिमिटेड, वुहान सांगोंग, झूहाई लाइलियन ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स, झूहाई युएमाओ प्रौद्योगिकी।

17 वायर बॉन्डर

उपकरण का कार्य: सेमीकंडक्टर चिप पर स्थित पैड और पिन पर स्थित पैड को सुचालक धातु के तारों (सोने के तार) से जोड़ना।

मुख्य कंपनियां (ब्रांड):

अंतर्राष्ट्रीय स्तर पर: अमेरिकी कंपनी आओतेई, जर्मन कंपनी टीपीटी, ऑस्ट्रियाई कंपनी एफके और मलेशियाई कंपनी यूनिसेम।

घरेलू: चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप का 45वां संस्थान, बीजिंग चुआंगशिजी टेक्नोलॉजी डेवलपमेंट कंपनी लिमिटेड, युक्सिन (चेंगदू) इंटीग्रेटेड सर्किट पैकेजिंग एंड टेस्टिंग कंपनी लिमिटेड (मलेशियन यूनिसन इन्वेस्टमेंट), शेन्ज़ेन काइजिउ ऑटोमेशन इक्विपमेंट कंपनी लिमिटेड।

सारांश: चीन के सेमीकंडक्टर उद्योग को अग्रणी बनने के लिए उपकरण उद्योग एक महत्वपूर्ण कड़ी साबित होगा। चीन के सेमीकंडक्टर उपकरणों के विकास में अग्रणी बनने और देश की चिप प्रक्रिया एवं प्रौद्योगिकी में अभूतपूर्व सुधार लाने के लिए और अधिक नवाचार की आवश्यकता है।

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