Industri semikonduktor telah melampaui industri baja dan industri otomotif tradisional dan telah menjadi industri bernilai tambah tinggi dan berteknologi tinggi di abad ke-21. Semikonduktor merupakan inti dari banyak peralatan industri dan banyak digunakan di bidang-bidang inti seperti komputer, elektronik konsumen, komunikasi jaringan, dan elektronik otomotif.

Semikonduktor pada dasarnya memiliki empat komponen: sirkuit terpadu, peralatan optoelektronik, peralatan diskrit, dan sensor; sirkuit terpadu merupakan inti dari industri semikonduktor, mencakup lebih dari 80%. Sirkuit terpadu meliputi chip logika, chip memori, chip analog, MPU, dan lain-lain. Perkembangan pesat sirkuit terpadu dalam hal kinerja, integrasi, dan kecepatan didasarkan pada perkembangan fisika semikonduktor, perangkat semikonduktor, dan proses manufaktur semikonduktor.

Industri semikonduktor memiliki pasar yang sangat besar, dan peralatan proses semikonduktor menyediakan fondasi manufaktur untuk produksi semikonduktor skala besar. Di masa depan, perangkat semikonduktor akan lebih terintegrasi, lebih kecil, dan lebih canggih. Terlampir di bawah ini adalah peralatan utama dalam proses produksi semikonduktor.

1  Tungku kristal tunggal

Fungsi peralatan: melelehkan material semikonduktor, menarik kristal tunggal, dan menyediakan blanko semikonduktor kristal tunggal untuk pembuatan perangkat semikonduktor selanjutnya.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan Jerman PVA TePla AG, perusahaan Jepang Ferrotec, perusahaan Amerika QUANTUM DESIGN, perusahaan Jerman Gero, perusahaan Amerika KAYEX.

Domestik: Beijing Jingyuntong, Qixing Huachuang, Abad Jingyi Beijing, Sinar Matahari Hebei Jinglong, Universitas Sains dan Teknologi Xi'an Jinko, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi'an Huade, Institut ke-48 Grup Teknologi Elektronik Tiongkok, Magnetik Termal Shanghai Shenhe.

2. Tungku epitaksi fase uap

Fungsi peralatan: Menyediakan lingkungan proses spesifik untuk pertumbuhan epitaksi fase uap, mewujudkan pertumbuhan kristal lapisan tipis pada kristal tunggal yang memiliki hubungan yang sesuai dengan fase kristal kristal tunggal, dan melakukan persiapan dasar untuk fungsionalisasi deposisi dasar kristal tunggal. Epitaksi fase uap adalah proses khusus deposisi uap kimia. Struktur kristal lapisan tipis yang tumbuh merupakan kelanjutan dari substrat kristal tunggal dan mempertahankan hubungan yang sesuai dengan orientasi kristal substrat.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: American CVD Equipment Company, American GT Company, French Soitec Company, French AS Company, American Proto Flex Company, American Kurt J. Lesker Company, American Applied Materials Company.

Dalam Negeri: Institut ke-48 Grup Teknologi Elektronik China, Qingdao Serida, Hefei Kejing Materials Technology Co., Ltd., Beijing Jinsheng Micro-Nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., Ltd.

3. Sistem epitaksi berkas molekuler

Fungsi peralatan: Sistem epitaksi berkas molekuler menyediakan peralatan proses untuk menumbuhkan lapisan tipis sesuai dengan kondisi spesifik pada permukaan substrat; epitaksi berkas molekuler adalah teknologi untuk menyiapkan lapisan tipis kristal tunggal. Teknologi ini menumbuhkan lapisan tipis lapis demi lapis sepanjang arah sumbu kristal material substrat di bawah substrat yang sesuai dan kondisi yang tepat.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan Riber Prancis, Perusahaan Veeco Amerika, Perusahaan DCA Instruments Finlandia, Perusahaan SVT Associates Amerika, Perusahaan NBM Amerika, Perusahaan Omicron Jerman, Perusahaan MBE-Komponenten Jerman, Perusahaan Oxford Applied Research (OAR) Inggris.

Dalam negeri: Shenyang Zhongke Instrument, Beijing Huidexin Technology Co., Ltd., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., Ltd., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., Ltd.

4. Tungku Oksidasi (VDF)

Fungsi peralatan: mengoksidasi material semikonduktor, menyediakan atmosfer oksidasi yang dibutuhkan, dan mewujudkan proses oksidasi semikonduktor sesuai harapan. Ini merupakan mata rantai yang sangat penting dalam proses pengolahan semikonduktor.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan Inggris Thermco, Perusahaan Jerman Centrotherm thermal solutions GmbH Co.KG.

Dalam negeri: Beijing Qixing Huachuang, Qingdao Furunde, China Electronics Technology Group 48th Institute, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co., Ltd., China Electronics Technology Group 45th Institute.

5. Sistem pengendapan uap kimia tekanan rendah (LPCVD)

Fungsi peralatan: Memasukkan uap yang mengandung reagen gas atau reagen cair yang membentuk elemen film tipis dan gas lain yang dibutuhkan untuk reaksi ke dalam ruang reaksi peralatan LPCVD, dan reaksi kimia terjadi pada permukaan substrat untuk menghasilkan film tipis.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Hitachi International Electric Co., Ltd. dari Jepang,

Dalam negeri: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., Ltd., China Electronics Technology Group 48th Institute, China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Instrument Factory, Shanghai Machinery Factory.

6. Sistem pengendapan uap kimia yang ditingkatkan plasma (PECVD)

Fungsi peralatan: Menggunakan lucutan pijar di dalam ruang pengendapan untuk mengionisasinya dan kemudian melakukan reaksi kimia pada substrat untuk mengendapkan material film tipis semikonduktor.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: American Proto Flex Company, Japanese Tokki Company, Japanese Shimadzu Company, American Lam Research Company, dan Dutch ASM International Company.

Dalam Negeri: Institut ke-45 Grup Teknologi Elektronik China, Pabrik Instrumen Beijing, Pabrik Mesin Shanghai.

7 Stasiun sputtering magnetron (MSA)

Fungsi peralatan: Melalui medan magnet tertutup yang sejajar dengan permukaan target selama proses sputtering dioda dan medan elektromagnetik ortogonal yang terbentuk pada permukaan target, elektron sekunder terikat pada area tertentu di permukaan target untuk mencapai kepadatan ion tinggi dan ionisasi energi tinggi, dan atom atau molekul target di-sputtering dan diendapkan pada substrat dengan laju tinggi untuk membentuk lapisan tipis.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: American PVD Company, American Vaportech Company, American AMAT Company, Dutch Hauzer Company, British Teer Company, Swiss Platit Company, Swiss Balzers Company, German Cemecon Company.

Dalam negeri: Pabrik Instrumen Beijing, Instrumen Shenyang Zhongke, Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd., China Electronics Technology Group 48th Institute, Core Equipment Co., Ltd., Pabrik Mesin Shanghai.

8. Mesin pemoles mekanik kimia (CMP)

Fungsi peralatan: Menggerinda dan memoles objek yang akan digerinda (semikonduktor) melalui gabungan efek penggerindaan mekanis dan pelarutan cairan kimia serta "korosi".

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: American Applied Materials Company, American Novartis Systems Company, American Rtec Company.

Dalam Negeri: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Elite Microelectronics.

9 Mesin litografi

Fungsi peralatan: Mengoleskan lem pada permukaan substrat semikonduktor (wafer silikon), mentransfer pola pada masker ke photoresist, dan untuk sementara "menyalin" struktur perangkat atau sirkuit ke wafer silikon.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: ASML dari Belanda, Lam Semiconductor Company dari Amerika Serikat, Nikon Company dari Jepang, Canon Company dari Jepang, ABM Company dari Amerika Serikat, SUSS Company dari Jerman, dan MYCRO Company dari Amerika Serikat.

Dalam Negeri: Institut ke-48 Grup Teknologi Elektronik China, Institut ke-45 Grup Teknologi Elektronik China, Pabrik Mesin Shanghai, Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd.

10 Sistem etsa ion reaktif (RIE)

Fungsi peralatan: Menerapkan tegangan frekuensi tinggi antara elektroda datar untuk menghasilkan lapisan ion setebal ratusan mikron. Tempatkan pola ke dalam lapisan tersebut, dan ion-ion menumbuk pola dengan kecepatan tinggi untuk mencapai etsa reaksi kimia dan tumbukan fisik, serta mewujudkan pemrosesan dan pencetakan semikonduktor.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan Evatech Jepang, Perusahaan NANOmaster Amerika, Perusahaan REC Singapura, Perusahaan JuSung Korea Selatan, Perusahaan TES Korea Selatan.

Dalam negeri: Pabrik Instrumen Beijing, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd., dan Institut ke-48 Grup Teknologi Elektronik China.

11 Sistem etsa plasma ICP

Fungsi peralatan: Satu atau lebih atom atau molekul gas dicampur dalam ruang reaksi dan membentuk plasma di bawah pengaruh energi eksternal (seperti frekuensi radio, gelombang mikro, dll.). Di satu sisi, gugus aktif dalam plasma bereaksi secara kimia dengan material permukaan yang akan dietsa untuk menghasilkan produk volatil; di sisi lain, ion-ion dalam plasma dipandu dan dipercepat di bawah pengaruh tegangan bias, sehingga menghasilkan korosi terarah dan korosi yang dipercepat pada permukaan yang akan dietsa.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Oxford Instruments Company dari Britania Raya, Torr Company dari Amerika Serikat, Gatan Company dari Amerika Serikat, Quorum Company dari Britania Raya, Leman Company dari Amerika Serikat, dan Pelco Company dari Amerika Serikat.

Dalam negeri: Pabrik Instrumen Beijing, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Institut ke-48 Grup Teknologi Elektronik China, Godel Plasma Technology (Hong Kong) Holdings Co., Ltd., Institut Mikroelektronika, Akademi Ilmu Pengetahuan China, Mikroelektronika Utara, Beijing Oriental Zhongke Integrated Technology Co., Ltd., Beijing Chuangshi Weiner Technology.

12 Mesin etsa basah dan pembersihan

Fungsi peralatan: Etching basah adalah teknologi yang merendam bahan etsa dalam cairan korosif untuk proses korosi. Pembersihan bertujuan untuk mengurangi kontaminasi, karena kontaminasi akan memengaruhi kinerja perangkat, menyebabkan masalah keandalan, dan mengurangi hasil produksi. Hal ini memerlukan pembersihan menyeluruh sebelum proses selanjutnya pada setiap lapisan atau lapisan berikutnya.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Japan Screen, Korea Selatan SEMES, Jepang Tokyo Electron, dan Amerika Serikat Lam Research.

Dalam negeri: Nantong Hualincona Semiconductor Equipment Co., Ltd., Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., China Electronics Technology Group 45th Institute, Taiwan Hongsu.

13. Penanam ion (IBI)

Fungsi perangkat: Mendoping area di dekat permukaan semikonduktor.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: American Varian Semiconductor Equipment Company, American CHA Company, American AMAT Company, Varian Semiconductor Manufacturing Equipment Company (diakuisisi oleh AMAT).

Dalam negeri: Pabrik Instrumen Beijing, Institut ke-48 Grup Teknologi Elektronik China, Chengdu Nanguang Industrial Co., Ltd., Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co., Ltd., Shanghai Silicon Tuo Microelectronics Co., Ltd.

bangku uji 14 probe

Fungsi peralatan: Melakukan pengujian listrik dengan menyentuhkan probe ke bantalan perangkat semikonduktor untuk mendeteksi apakah indikator kinerja semikonduktor memenuhi persyaratan kinerja desain.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan Ingun Jerman, Perusahaan QA Amerika, Perusahaan MicroXact Amerika, Perusahaan Ecopia Korea, Perusahaan Leeno Korea.

Dalam Negeri: Institut ke-45 Grup Teknologi Elektronik China, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Rico Instruments, Grup Huarong, Shenzhen Semiconductor Technology.

Mesin penipisan wafer 15

Fungsi peralatan: mengurangi ketebalan wafer melalui pemolesan.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan DISCO Jepang, Perusahaan G&N Jerman, Perusahaan OKAMOTO Jepang, Perusahaan Camtek Israel.

Dalam negeri: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Shenzhen Fangda Grinding Equipment Manufacturing Co., Ltd., Shenzhen Jinlili Precision Grinding Machine Manufacturing Co., Ltd., Weianda Grinding Equipment Co., Ltd., Shenzhen Huanianfeng Technology Co., Ltd.

16 Mesin pemotong wafer (DS)

Fungsi peralatan: Memotong wafer menjadi potongan-potongan kecil.

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan OEG Jerman, Perusahaan DISCO Jepang.

Dalam Negeri: Institut ke-45 Grup Teknologi Elektronik China, Beijing Kechuangyuan Optoelectronics Technology Co., Ltd., Institut Penelitian Teknologi Instrumentasi Shenyang, Northwest Machinery Co., Ltd. (dahulu Pabrik Mesin Barat Laut 709 milik Negara), Huisheng Electronic and Electronic Machinery Equipment Co., Ltd., Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., Ltd., Han's Laser, Shenzhen Ruby Laser Equipment Co., Ltd., Wuhan Sangong, Zhuhai Lailian Optoelectronics, Zhuhai Yuemao Technology.

17 Pengikat Kawat

Fungsi peralatan: Menghubungkan Pad pada chip semikonduktor dan Pad pada pin dengan kawat logam konduktif (kawat emas).

Perusahaan (merek) utama:

Internasional: Perusahaan Aotei Amerika, Perusahaan TPT Jerman, Perusahaan FK Austria, dan Perusahaan UNISEM Malaysia.

Dalam Negeri: Institut ke-45 Grup Teknologi Elektronik China, Beijing Chuangshijie Technology Development Co., Ltd., Yuxin (Chengdu) Integrated Circuit Packaging and Testing Co., Ltd. (Investasi Unison Malaysia), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co., Ltd.

Ringkasan: Agar industri semikonduktor Tiongkok dapat melompat dari posisi tertinggal menjadi memimpin, industri peralatan akan menjadi mata rantai yang penting. Diperlukan lebih banyak inovasi untuk memimpin pengembangan peralatan semikonduktor Tiongkok dan mendorong peningkatan pesat proses dan teknologi chip negara kita.

Catatan: Artikel ini direproduksi dari internet dan mendukung perlindungan hak kekayaan intelektual. Harap sebutkan sumber dan penulis asli saat mencetak ulang. Jika ada pelanggaran, silakan hubungi kami untuk menghapusnya.

Nomor telepon perusahaan: +86-0755-83044319
Faks/FAX: +86-0755-83975897
Surel: 1615456225@qq.com
QQ: 3518641314 Manajer Li

QQ: 332496225 Manajer Qiu

Alamat: Ruang 809, Gedung C, Gedung Teknologi Zhantao, No. 1079 Jalan Minzhi, Distrik Baru Longhua, Shenzhen