تعد كل من آلات الطباعة الحجرية EUV وDUV من الآلات المتقدمة للغاية، مع متطلبات عالية لحجم الإنتاج الصناعي وسرعته. إذا كانت كل خطوة تتطلب إعادة المحاذاة، بافتراض أن آلة الطباعة الحجرية يمكنها معالجة قالب واحد فقط في الدقيقة، فإنها ستعالج ما يزيد قليلاً عن 1000 قالب يوميًا، وسيعمل المصنع بخسارة.

هذا شيء لا يفهمه معظم الناس، ومن السهل التقليل من متطلبات أداء آلات الطباعة الحجرية الصناعية التي تتطلب تشغيلًا مستمرًا سريعًا وتلقائيًا ودقيقًا.

إن استخدام مصدر ضوء EUV لمعالجة الرقائق ليس بالأمر الجديد. لقد استخدم الباحثون مصادر ضوء الأشعة فوق البنفسجية من مسرعات السنكروترون لأبحاث معالجة الرقائق منذ وقت مبكر، وكان هذا مستمرًا مع النشر المنتظم للأبحاث. على سبيل المثال، ظل معهد بول شيرير منذ فترة طويلة يستكشف تقنيات الطباعة الحجرية الجديدة بالأشعة فوق البنفسجية باستخدام معجل السنكروترون السويسري. في الأوساط الأكاديمية، يُشار إلى مصادر ضوء الأشعة فوق البنفسجية أيضًا باسم الأشعة السينية الناعمة. ومع ذلك، فإن خاصية هذا النوع من الأبحاث لا تهتم بـ "الإنتاج الضخم" أو توفير الوقت، بل تقوم بصنع بضع شرائح ببطء، وقياس بعض البيانات، ومن ثم نشر اكتشافات ذات معنى. هذه هي الطريقة التي تم بها البحث عندما لم يكن هناك مصدر ضوء EUV للتطبيقات الصناعية.

من وجهة نظر الصناعة، فإن الشيء الأكثر أهمية في صناعة الرقائق هو التطبيق الهندسي والإنتاج الضخم والجدوى الاقتصادية. كما تم حسابه أعلاه، فإن هذا المتطلب مرتفع بشكل خاص، مع إنتاجية عالية بشكل لا يصدق وسرعة إنتاج للإنتاج الضخم. إذا لم يكن لديك فهم عميق لعملية تصنيع الرقائق، فمن الصعب أن تتخيل كيف يمكن للمصانع الحديثة معالجة وإنتاج كميات هائلة من الرقائق بهذه السرعة.

هذه أيضًا عملية. في البداية، كانت الرقائق تُصنع يدويًا أو شبه يدويًا، وظل العائد منخفضًا. في يوليو 1977، أجرى دنغ شياو بينغ و30 ممثلًا من المجتمع العلمي والتكنولوجي مناقشات في قاعة الشعب الكبرى. وقال وانغ شوو، الباحث في أشباه الموصلات: "هناك أكثر من 600 مصنع لأشباه الموصلات في البلاد، والكمية الإجمالية للدوائر المتكاملة المنتجة في عام واحد فقط هي عُشر الإنتاج الشهري لمصنع كبير في اليابان". وهذا هو الفرق بين العمليات اليدوية والآلية. على الرغم من أن الفجوة في عملية تصنيع الرقائق تبدو صغيرة، إلا أن الفرق في عمليات التصنيع والمستويات التكنولوجية التي تقف وراءها كبير.

والآن تستطيع الصين أن تنتج مليار شريحة يوميا، وهو تحسن كبير، وكل ذلك يتحقق من خلال الآلات الآلية. يتم تصنيع الرقائق حتماً بواسطة الآلات، ولا يمكن للناس إلا إدارتها. تنتج الآلة رقائق، وتتدفق كل عملية بسرعة كبيرة، باتباع وضع الإنتاج القياسي لخط التجميع. المشكلة في خطوط إنتاج الرقائق FAB هي أنها عرضة للمشاكل وتتطلب العديد من الموظفين المهرة للحفاظ على تشغيلها بسلاسة، وهو أمر أكثر صعوبة بكثير من خطوط الإنتاج الأخرى للسلع الأخرى.

يتبع...