Mesin litografi EUV dan DUV adalah mesin yang sangat canggih, dengan tuntutan tinggi terhadap volume dan kecepatan produksi industri. Jika setiap langkah memerlukan penyelarasan ulang, dengan asumsi bahwa mesin litografi hanya dapat memproses satu cetakan per menit, maka mesin tersebut hanya akan memproses sedikit lebih dari 1000 cetakan per hari, dan pabrik akan mengalami kerugian.

Ini adalah sesuatu yang tidak dipahami kebanyakan orang, dan mudah untuk meremehkan persyaratan kinerja mesin litografi kelas industri yang memerlukan pengoperasian berkelanjutan yang cepat, otomatis, dan presisi.

Menggunakan sumber cahaya EUV untuk pemrosesan chip bukanlah hal baru. Para peneliti telah menggunakan sumber cahaya EUV dari akselerator sinkrotron untuk penelitian proses chip sejak awal, dan hal ini terus dilakukan dengan publikasi makalah secara berkala. Misalnya, Institut Paul Scherrer telah lama mengeksplorasi teknologi litografi EUV baru menggunakan akselerator sinkrotron Swiss. Di dunia akademis, sumber cahaya EUV juga disebut sebagai sinar-X lembut. Namun, karakteristik penelitian jenis ini tidak mementingkan "produksi massal" atau menghemat waktu, melainkan perlahan-lahan membuat beberapa chip, mengukur sejumlah data, dan kemudian mempublikasikan penemuan-penemuan yang berarti. Ini adalah bagaimana penelitian dilakukan ketika tidak ada sumber cahaya EUV untuk aplikasi industri.

Dari sudut pandang industri, hal terpenting dalam industri chip adalah penerapan teknik, produksi massal, dan kelayakan ekonomi. Seperti yang dihitung di atas, persyaratan ini sangat tinggi, dengan hasil dan kecepatan produksi yang sangat tinggi untuk produksi massal. Jika Anda tidak memiliki pemahaman mendalam tentang proses pembuatan chip, sulit membayangkan bagaimana pabrik modern dapat memproses dan memproduksi chip dalam jumlah besar dengan begitu cepat.

Ini juga sebuah proses. Pada awalnya keripik dibuat dengan tangan atau semi manual, dan hasilnya masih rendah. Pada bulan Juli 1977, Deng Xiaoping dan 30 perwakilan komunitas ilmiah dan teknologi mengadakan diskusi di Aula Besar Rakyat. Wang Shouwu, seorang peneliti semikonduktor, mengatakan: "Ada lebih dari 600 pabrik semikonduktor di negara ini, dan jumlah total sirkuit terpadu yang diproduksi dalam satu tahun hanya sepersepuluh dari output bulanan sebuah pabrik besar di Jepang." Inilah perbedaan antara proses manual dan otomatis. Meskipun kesenjangan dalam proses chip tampak kecil, perbedaan dalam proses manufaktur dan tingkat teknologi di baliknya sangatlah signifikan.

Kini, Tiongkok dapat memproduksi 1 miliar chip per hari, sebuah peningkatan signifikan, yang semuanya dicapai melalui mesin otomatis. Pembuatan chip pasti dilakukan oleh mesin, dan manusia hanya dapat mengelolanya. Mesin tersebut menghasilkan chip, dan setiap proses mengalir sangat cepat, mengikuti mode produksi jalur perakitan standar. Masalah dengan jalur produksi chip FAB adalah jalur tersebut rentan terhadap masalah dan memerlukan banyak personel terampil untuk menjaga kelancaran operasionalnya, yang jauh lebih sulit dibandingkan jalur produksi lain untuk komoditas lain.

Bersambung...