As máquinas de litografia EUV e DUV são máquinas altamente avançadas, com altas demandas de volume e velocidade de produção industrial. Se cada etapa exigir um realinhamento, supondo que a máquina de litografia possa processar apenas uma matriz por minuto, ela processaria apenas um pouco mais de 1000 matrizes por dia e a fábrica funcionaria com prejuízo.

Isso é algo que a maioria das pessoas não entende e é fácil subestimar os requisitos de desempenho das máquinas de litografia de nível industrial que exigem operação contínua rápida, automática e precisa.

Usar fonte de luz EUV para processamento de chips não é algo novo. Os pesquisadores têm usado fontes de luz EUV de aceleradores síncrotron para pesquisas de processos de chips desde o início, e isso tem acontecido com a publicação regular de artigos. Por exemplo, o Instituto Paul Scherrer explora há muito tempo novas tecnologias de litografia EUV usando o acelerador síncrotron da Suíça. Na academia, as fontes de luz EUV também são chamadas de raios X suaves. No entanto, a característica deste tipo de pesquisa não está preocupada com a “produção em massa” ou com a economia de tempo, mas sim com a produção lenta de alguns chips, a medição de alguns dados e a publicação de descobertas significativas. Foi assim que a pesquisa foi feita quando não havia fonte de luz EUV para aplicações industriais.

Do ponto de vista da indústria, o mais importante na indústria de chips é a aplicação de engenharia, a produção em massa e a viabilidade econômica. Conforme calculado acima, este requisito é particularmente elevado, com um rendimento e velocidade de produção incrivelmente elevados para produção em massa. Se você não tem um conhecimento profundo do processo de fabricação de chips, é difícil imaginar como as fábricas modernas podem processar e produzir grandes quantidades de chips tão rapidamente.

Este também é um processo. No início, os cavacos eram feitos de forma manual ou semimanual e o rendimento permanecia baixo. Em julho de 1977, Deng Xiaoping e 30 representantes da comunidade científica e tecnológica realizaram discussões no Grande Salão do Povo. Wang Shouwu, pesquisador de semicondutores, disse: “Existem mais de 600 fábricas de semicondutores no país, e a quantidade total de circuitos integrados produzidos em um ano é apenas um décimo da produção mensal de uma grande fábrica no Japão”. Essa é a diferença entre processos manuais e automáticos. Embora a lacuna no processo do chip pareça pequena, a diferença nos processos de fabricação e nos níveis tecnológicos por trás dela é significativa.

Agora, a China pode produzir mil milhões de chips por dia, uma melhoria significativa, tudo conseguido através de máquinas automatizadas. A fabricação de chips é inevitavelmente feita por máquinas e as pessoas só podem gerenciá-las. A máquina produz chips e cada processo flui muito rapidamente, seguindo o modo de produção padrão da linha de montagem. O problema com as linhas de produção de chips FAB é que elas são propensas a problemas e exigem muito pessoal qualificado para manter seu bom funcionamento, o que é muito mais difícil do que outras linhas de produção para outras commodities.

Para continuar ...