הן מכונות הליטוגרפיה EUV והן DUV הן מכונות מתקדמות ביותר, עם דרישות גבוהות לנפח ומהירות ייצור תעשייתי. אם כל שלב מצריך יישור מחדש, בהנחה שמכונת הליטוגרפיה יכולה לעבד רק קובייה אחת לדקה, היא תעבד רק מעט יותר מ-1000 קוביות ביום, והמפעל יפעל בהפסד.

זה משהו שרוב האנשים לא מבינים, וקל לזלזל בדרישות הביצועים של מכונות ליטוגרפיה תעשייתיות הדורשות פעולה רציפה מהירה, אוטומטית ומדויקת.

שימוש במקור אור EUV לעיבוד שבבים אינו דבר חדש. חוקרים השתמשו במקורות אור EUV ממאיצי סינכרוטרון למחקר תהליכי שבבים מאז תחילת הדרך, וזה נמשך עם פרסום קבוע של מאמרים. לדוגמה, מכון פול שרר בוחן זה מכבר טכנולוגיות ליטוגרפיות חדשות של EUV באמצעות מאיץ הסינכרוטרונים של שוויץ. באקדמיה, מקורות אור EUV מכונים גם קרני רנטגן רכות. עם זאת, המאפיין של מחקר מסוג זה אינו עוסק ב"ייצור המוני" או בחיסכון בזמן, אלא לאט לאט ביצירת כמה שבבים, במדידת כמה נתונים, ואז בפרסום תגליות משמעותיות. כך נעשה מחקר כשלא היה מקור אור EUV ליישומים תעשייתיים.

מנקודת מבט תעשייתית, הדבר החשוב ביותר בתעשיית השבבים הוא יישום הנדסי, ייצור המוני וכדאיות כלכלית. כפי שחושב לעיל, דרישה זו גבוהה במיוחד, עם תפוקה ומהירות ייצור גבוהים להפליא לייצור המוני. אם אין לך הבנה מעמיקה של תהליך ייצור השבבים, קשה לדמיין איך יצרנים מודרניים יכולים לעבד ולייצר כמויות אדירות של שבבים כל כך מהר.

גם זה תהליך. בהתחלה, צ'יפס נעשו בעבודת יד או חצי ידנית, והתשואה נשארה נמוכה. ביולי 1977, דנג שיאופינג ו-30 נציגים מהקהילה המדעית והטכנולוגית קיימו דיונים באולם הגדול של העם. Wang Shouwu, חוקר מוליכים למחצה, אמר: "יש יותר מ-600 מפעלי מוליכים למחצה במדינה, והכמות הכוללת של מעגלים משולבים המיוצרים בשנה היא רק עשירית מהתפוקה החודשית של מפעל גדול ביפן". זה ההבדל בין תהליכים ידניים ואוטומטיים. למרות שהפער בתהליך השבבים נראה קטן, ההבדל בתהליכי הייצור וברמות הטכנולוגיות מאחוריו משמעותי.

כעת, סין יכולה לייצר מיליארד שבבים ביום, שיפור משמעותי, והכל מושג באמצעות מכונות אוטומטיות. ייצור שבבים נעשה בהכרח על ידי מכונות, ואנשים יכולים רק לנהל אותם. המכונה מייצרת שבבים, וכל תהליך זורם מהר מאוד, בהתאם למצב הייצור הסטנדרטי של פס הייצור. הבעיה עם קווי ייצור FAB של שבבים היא שהם מועדים לבעיות ודורשים כוח אדם מיומן רבים כדי לשמור על פעולתם השוטפת, וזה הרבה יותר קשה מקווי ייצור אחרים עבור סחורות אחרות.

המשך יבוא...