เครื่องพิมพ์หินทั้ง EUV และ DUV เป็นเครื่องจักรขั้นสูงที่มีความต้องการปริมาณและความเร็วการผลิตทางอุตสาหกรรมสูง หากทุกขั้นตอนต้องมีการจัดตำแหน่งใหม่ โดยสมมติว่าเครื่องพิมพ์หินสามารถประมวลผลได้เพียงหนึ่งแม่พิมพ์ต่อนาที ก็จะสามารถดำเนินการได้มากกว่า 1000 แม่พิมพ์ต่อวันเพียงเล็กน้อยเท่านั้น และโรงงานก็จะสูญเสียไป

นี่คือสิ่งที่คนส่วนใหญ่ไม่เข้าใจ และเป็นเรื่องง่ายที่จะมองข้ามข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพของเครื่องจักรการพิมพ์หินระดับอุตสาหกรรมที่ต้องการการทำงานต่อเนื่องที่รวดเร็ว อัตโนมัติ และแม่นยำ

การใช้แหล่งกำเนิดแสง EUV สำหรับการประมวลผลชิปไม่ใช่เรื่องใหม่ นักวิจัยได้ใช้แหล่งกำเนิดแสง EUV จากเครื่องเร่งปฏิกิริยาซินโครตรอนสำหรับการวิจัยกระบวนการชิปตั้งแต่ช่วงแรกๆ และการดำเนินการนี้ดำเนินไปอย่างต่อเนื่องด้วยการตีพิมพ์เอกสารเป็นประจำ ตัวอย่างเช่น สถาบัน Paul Scherrer ได้สำรวจเทคโนโลยีการพิมพ์หิน EUV ใหม่มานานแล้ว โดยใช้เครื่องเร่งซินโครตรอนของสวิตเซอร์แลนด์ ในสถาบันการศึกษา แหล่งกำเนิดแสง EUV ยังเรียกว่ารังสีเอกซ์อ่อน อย่างไรก็ตาม ลักษณะของงานวิจัยประเภทนี้ไม่ได้เกี่ยวข้องกับ "การผลิตจำนวนมาก" หรือการประหยัดเวลา แต่ค่อนข้างจะค่อยๆ สร้างชิปจำนวนหนึ่ง วัดข้อมูลบางส่วน แล้วเผยแพร่การค้นพบที่มีความหมาย นี่คือวิธีการวิจัยเมื่อไม่มีแหล่งกำเนิดแสง EUV สำหรับการใช้งานทางอุตสาหกรรม

จากมุมมองของอุตสาหกรรม สิ่งที่สำคัญที่สุดในอุตสาหกรรมชิปคือการใช้งานทางวิศวกรรม การผลิตจำนวนมาก และความอยู่รอดทางเศรษฐกิจ จากการคำนวณข้างต้น ข้อกำหนดนี้สูงเป็นพิเศษ โดยมีผลผลิตและความเร็วในการผลิตสูงอย่างไม่น่าเชื่อสำหรับการผลิตจำนวนมาก หากคุณไม่มีความเข้าใจอย่างลึกซึ้งเกี่ยวกับกระบวนการผลิตชิป ก็ยากที่จะจินตนาการว่าโรงงานสมัยใหม่สามารถประมวลผลและผลิตชิปปริมาณมหาศาลได้อย่างรวดเร็วได้อย่างไร

นี่เป็นกระบวนการด้วย ในตอนแรก ชิปถูกผลิตด้วยมือหรือแบบกึ่งแมนนวล และผลผลิตยังคงต่ำ ในเดือนกรกฎาคม พ.ศ. 1977 เติ้ง เสี่ยวผิงและตัวแทน 30 คนจากชุมชนวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีได้จัดการอภิปรายที่ห้องโถงใหญ่แห่งประชาชน Wang Shouwu นักวิจัยด้านเซมิคอนดักเตอร์กล่าวว่า "มีโรงงานเซมิคอนดักเตอร์มากกว่า 600 แห่งในประเทศ และจำนวนวงจรรวมที่ผลิตในหนึ่งปีเป็นเพียงหนึ่งในสิบของผลผลิตต่อเดือนของโรงงานขนาดใหญ่ในญี่ปุ่น" นี่คือความแตกต่างระหว่างกระบวนการแบบแมนนวลและแบบอัตโนมัติ แม้ว่าช่องว่างในกระบวนการชิปจะดูเล็กน้อย แต่ความแตกต่างในกระบวนการผลิตและระดับเทคโนโลยีเบื้องหลังนั้นมีความสำคัญ

ขณะนี้ จีนสามารถผลิตชิปได้ 1 พันล้านชิปต่อวัน ซึ่งเป็นการปรับปรุงที่สำคัญ ซึ่งทั้งหมดนี้ทำได้ผ่านเครื่องจักรอัตโนมัติ การผลิตชิปทำได้โดยใช้เครื่องจักรอย่างหลีกเลี่ยงไม่ได้ และผู้คนสามารถจัดการได้เท่านั้น เครื่องจักรจะผลิตชิป และแต่ละกระบวนการดำเนินไปอย่างรวดเร็ว ตามโหมดการผลิตในสายการประกอบมาตรฐาน ปัญหาเกี่ยวกับสายการผลิตชิป FAB คือ มีแนวโน้มที่จะเกิดปัญหาและต้องใช้บุคลากรที่มีทักษะจำนวนมากเพื่อรักษาการทำงานที่ราบรื่น ซึ่งยากกว่าสายการผลิตอื่นๆ สำหรับสินค้าโภคภัณฑ์อื่นๆ มาก

ยังมีต่อ...