Kedua-dua mesin litografi EUV dan DUV adalah mesin yang sangat maju, dengan permintaan yang tinggi untuk jumlah dan kelajuan pengeluaran perindustrian. Jika setiap langkah memerlukan penjajaran semula, dengan mengandaikan bahawa mesin litografi hanya boleh memproses satu dadu seminit, ia akan memproses hanya lebih sedikit daripada 1000 mati setiap hari, dan kilang akan mengalami kerugian.

Ini adalah sesuatu yang kebanyakan orang tidak faham, dan mudah untuk memandang rendah keperluan prestasi mesin litografi gred industri yang memerlukan operasi berterusan yang pantas, automatik dan tepat.

Menggunakan sumber cahaya EUV untuk pemprosesan cip bukanlah perkara baharu. Penyelidik telah menggunakan sumber cahaya EUV daripada pemecut synchrotron untuk penyelidikan proses cip sejak awal, dan ini telah berterusan dengan penerbitan biasa kertas kerja. Sebagai contoh, Institut Paul Scherrer telah lama meneroka teknologi litografi EUV baharu menggunakan pemecut synchrotron Switzerland. Dalam akademik, sumber cahaya EUV juga dirujuk sebagai sinar-X lembut. Walau bagaimanapun, ciri penyelidikan jenis ini tidak berkenaan dengan "pengeluaran besar-besaran" atau menjimatkan masa, tetapi secara perlahan-lahan membuat beberapa cip, mengukur beberapa data, dan kemudian menerbitkan penemuan yang bermakna. Beginilah cara penyelidikan dilakukan apabila tiada sumber cahaya EUV untuk aplikasi industri.

Dari perspektif industri, perkara yang paling penting dalam industri cip ialah aplikasi kejuruteraan, pengeluaran besar-besaran dan daya maju ekonomi. Seperti yang dikira di atas, keperluan ini sangat tinggi, dengan hasil yang sangat tinggi dan kelajuan pengeluaran untuk pengeluaran besar-besaran. Jika anda tidak mempunyai pemahaman yang mendalam tentang proses pembuatan cip, sukar untuk membayangkan bagaimana fab moden boleh memproses dan menghasilkan kuantiti cip yang banyak dengan begitu cepat.

Ini juga satu proses. Pada mulanya, cip dibuat dengan tangan atau separa manual, dan hasil kekal rendah. Pada Julai 1977, Deng Xiaoping dan 30 wakil dari komuniti saintifik dan teknologi mengadakan perbincangan di Dewan Besar Rakyat. Wang Shouwu, seorang penyelidik semikonduktor, berkata: "Terdapat lebih daripada 600 kilang semikonduktor di negara ini, dan jumlah keseluruhan litar bersepadu yang dihasilkan dalam setahun hanyalah satu persepuluh daripada keluaran bulanan sebuah kilang besar di Jepun." Ini adalah perbezaan antara proses manual dan automatik. Walaupun jurang dalam proses cip kelihatan kecil, perbezaan dalam proses pembuatan dan tahap teknologi di belakangnya adalah ketara.

Kini, China boleh menghasilkan 1 bilion cip setiap hari, peningkatan yang ketara, semuanya dicapai melalui mesin automatik. Pembuatan cip tidak dapat dielakkan dilakukan oleh mesin, dan orang hanya boleh menguruskannya. Mesin menghasilkan cip, dan setiap proses mengalir dengan sangat cepat, mengikut mod pengeluaran barisan pemasangan standard. Masalah dengan barisan pengeluaran cip FAB ialah mereka terdedah kepada masalah dan memerlukan ramai kakitangan mahir untuk mengekalkan operasi lancar mereka, yang jauh lebih sukar daripada barisan pengeluaran lain untuk komoditi lain.

Akan bersambung...