هر دو دستگاه لیتوگرافی EUV و DUV ماشین های بسیار پیشرفته ای هستند که تقاضاهای بالایی برای حجم و سرعت تولید صنعتی دارند. اگر هر مرحله نیاز به تراز مجدد داشته باشد، با فرض اینکه دستگاه لیتوگرافی فقط می تواند یک قالب را در دقیقه پردازش کند، فقط کمی بیش از 1000 قالب در روز پردازش می کند و کارخانه با ضرر کار می کند.

این چیزی است که اکثر مردم آن را درک نمی کنند و به راحتی می توان الزامات عملکرد دستگاه های لیتوگرافی درجه صنعتی را که به عملکرد مداوم سریع، خودکار و دقیق نیاز دارند دست کم گرفت.

استفاده از منبع نور EUV برای پردازش تراشه چیز جدیدی نیست. محققان از همان ابتدا از منابع نور EUV از شتاب دهنده های سنکروترون برای تحقیقات فرآیند تراشه استفاده می کردند و این با انتشار منظم مقالات ادامه داشت. برای مثال، مؤسسه پل شرر مدتهاست که با استفاده از شتابدهنده سنکروترون سوئیس، فناوریهای لیتوگرافی EUV جدید را بررسی میکند. در دانشگاه به منابع نوری EUV اشعه ایکس نرم نیز گفته می شود. با این حال، ویژگی این نوع تحقیقات مربوط به "تولید انبوه" یا صرفه جویی در زمان نیست، بلکه به آرامی ساختن چند تراشه، اندازه گیری برخی داده ها و سپس انتشار اکتشافات معنادار است. زمانی که هیچ منبع نور EUV برای کاربردهای صنعتی وجود نداشت، تحقیقات به این ترتیب انجام شد.

از منظر صنعت، مهمترین چیز در صنعت تراشه کاربرد مهندسی، تولید انبوه و قابلیت اقتصادی است. همانطور که در بالا محاسبه شد، این نیاز به ویژه بالا است، با بازده و سرعت تولید فوق العاده بالا برای تولید انبوه. اگر درک عمیقی از فرآیند تولید تراشه نداشته باشید، تصور اینکه کارخانههای مدرن چگونه میتوانند به این سرعت مقادیر زیادی تراشه را پردازش و تولید کنند، سخت است.

این نیز یک فرآیند است. در ابتدا، چیپس ها به صورت دستی یا نیمه دستی ساخته می شدند و بازدهی پایینی داشت. در ژوئیه 1977، دنگ شیائوپینگ و 30 نماینده از جامعه علمی و فناوری در تالار بزرگ مردم گفتگو کردند. وانگ شووو، محقق نیمه هادی ها گفت: بیش از 600 کارخانه نیمه هادی در کشور وجود دارد و کل مدارهای مجتمع تولید شده در یک سال تنها یک دهم تولید ماهانه یک کارخانه بزرگ در ژاپن است. این تفاوت بین فرآیندهای دستی و خودکار است. اگرچه شکاف در فرآیند تراشه کوچک به نظر می رسد، اما تفاوت در فرآیندهای تولید و سطوح تکنولوژیکی پشت آن قابل توجه است.

اکنون چین می تواند روزانه 1 میلیارد تراشه تولید کند که پیشرفت قابل توجهی است که همه از طریق ماشین های خودکار به دست آمده است. تولید تراشه به ناچار توسط ماشین ها انجام می شود و مردم فقط می توانند آنها را مدیریت کنند. این دستگاه تراشهها را تولید میکند و هر فرآیند با پیروی از حالت استاندارد تولید خط مونتاژ، بسیار سریع جریان مییابد. مشکل خطوط تولید تراشه FAB این است که آنها مستعد مشکلات هستند و برای حفظ عملکرد روان خود به پرسنل ماهر زیادی نیاز دارند که بسیار دشوارتر از سایر خطوط تولید برای سایر کالاها است.

ادامه دارد...