ईयूवी और डीयूवी लिथोग्राफी मशीनें दोनों अत्यधिक उन्नत मशीनें हैं, जिनमें औद्योगिक उत्पादन की मात्रा और गति की उच्च मांग है। यदि प्रत्येक चरण में पुन: संरेखण की आवश्यकता होती है, यह मानते हुए कि लिथोग्राफी मशीन प्रति मिनट केवल एक डाई संसाधित कर सकती है, तो यह प्रति दिन केवल 1000 से थोड़ा अधिक डाई संसाधित करेगी, और फैक्ट्री घाटे में चलेगी।

यह कुछ ऐसा है जिसे ज्यादातर लोग नहीं समझते हैं, और औद्योगिक-ग्रेड लिथोग्राफी मशीनों की प्रदर्शन आवश्यकताओं को कम आंकना आसान है, जिनके लिए तेज, स्वचालित और सटीक निरंतर संचालन की आवश्यकता होती है।

चिप प्रसंस्करण के लिए ईयूवी प्रकाश स्रोत का उपयोग करना कोई नई बात नहीं है। शोधकर्ता शुरू से ही चिप प्रक्रिया अनुसंधान के लिए सिंक्रोट्रॉन एक्सेलेरेटर से ईयूवी प्रकाश स्रोतों का उपयोग कर रहे हैं, और यह कागजात के नियमित प्रकाशन के साथ जारी है। उदाहरण के लिए, पॉल शेरर इंस्टीट्यूट लंबे समय से स्विट्जरलैंड के सिंक्रोट्रॉन एक्सेलेरेटर का उपयोग करके नई ईयूवी लिथोग्राफी प्रौद्योगिकियों की खोज कर रहा है। शिक्षा जगत में, ईयूवी प्रकाश स्रोतों को सॉफ्ट एक्स-रे भी कहा जाता है। हालाँकि, इस प्रकार के शोध की विशेषता "बड़े पैमाने पर उत्पादन" या समय की बचत से संबंधित नहीं है, बल्कि धीरे-धीरे कुछ चिप्स बनाना, कुछ डेटा को मापना और फिर सार्थक खोजों को प्रकाशित करना है। जब औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए कोई ईयूवी प्रकाश स्रोत नहीं था तो इस प्रकार अनुसंधान किया गया था।

उद्योग के नजरिए से, चिप उद्योग में सबसे महत्वपूर्ण चीज इंजीनियरिंग अनुप्रयोग, बड़े पैमाने पर उत्पादन और आर्थिक व्यवहार्यता है। जैसा कि ऊपर गणना की गई है, बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए अविश्वसनीय रूप से उच्च उपज और उत्पादन गति के साथ, यह आवश्यकता विशेष रूप से अधिक है। यदि आपको चिप निर्माण प्रक्रिया की गहरी समझ नहीं है, तो यह कल्पना करना कठिन है कि आधुनिक फैब इतनी जल्दी बड़ी मात्रा में चिप्स को कैसे संसाधित और उत्पादित कर सकते हैं।

ये भी एक प्रक्रिया है. शुरुआत में, चिप्स हाथ से या अर्ध-हाथ से बनाए जाते थे, और उपज कम रहती थी। जुलाई 1977 में, डेंग जियाओपिंग और वैज्ञानिक और तकनीकी समुदाय के 30 प्रतिनिधियों ने ग्रेट हॉल ऑफ द पीपल में चर्चा की। सेमीकंडक्टर शोधकर्ता वांग शोउवु ने कहा: "देश में 600 से अधिक सेमीकंडक्टर कारखाने हैं, और एक वर्ष में उत्पादित एकीकृत सर्किट की कुल मात्रा जापान में एक बड़े कारखाने के मासिक उत्पादन का केवल दसवां हिस्सा है।" मैन्युअल और स्वचालित प्रक्रियाओं के बीच यही अंतर है. हालाँकि चिप प्रक्रिया में अंतर छोटा प्रतीत होता है, लेकिन इसके पीछे विनिर्माण प्रक्रियाओं और तकनीकी स्तरों में अंतर महत्वपूर्ण है।

अब, चीन प्रति दिन 1 बिलियन चिप्स का उत्पादन कर सकता है, एक महत्वपूर्ण सुधार, यह सब स्वचालित मशीनों के माध्यम से हासिल किया गया है। चिप निर्माण अनिवार्य रूप से मशीनों द्वारा किया जाता है, और लोग केवल उन्हें प्रबंधित कर सकते हैं। मशीन चिप्स का उत्पादन करती है, और प्रत्येक प्रक्रिया मानक असेंबली-लाइन उत्पादन मोड का पालन करते हुए बहुत तेज़ी से आगे बढ़ती है। चिप एफएबी उत्पादन लाइनों के साथ समस्या यह है कि वे समस्याओं से ग्रस्त हैं और उनके सुचारू संचालन को बनाए रखने के लिए कई कुशल कर्मियों की आवश्यकता होती है, जो अन्य वस्तुओं के लिए अन्य उत्पादन लाइनों की तुलना में बहुत अधिक कठिन है।

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