Cả máy in thạch bản EUV và DUV đều là những máy tiên tiến, có nhu cầu cao về khối lượng và tốc độ sản xuất công nghiệp. Nếu mỗi bước đều yêu cầu căn chỉnh lại, giả sử rằng máy in thạch bản chỉ có thể xử lý một khuôn mỗi phút, thì nó sẽ chỉ xử lý hơn 1000 khuôn mỗi ngày một chút và nhà máy sẽ thua lỗ.

Đây là điều mà hầu hết mọi người không hiểu và rất dễ đánh giá thấp yêu cầu về hiệu suất của các máy in thạch bản cấp công nghiệp đòi hỏi khả năng vận hành liên tục nhanh, tự động và chính xác.

Sử dụng nguồn sáng EUV để xử lý chip không phải là điều mới mẻ. Các nhà nghiên cứu đã sử dụng nguồn sáng EUV từ máy gia tốc synchrotron để nghiên cứu quy trình chip từ rất sớm và việc này vẫn đang được tiếp tục với các bài báo được xuất bản thường xuyên. Ví dụ, Viện Paul Scherrer từ lâu đã khám phá các công nghệ in thạch bản EUV mới sử dụng máy gia tốc synchrotron của Thụy Sĩ. Trong giới học thuật, nguồn sáng EUV còn được gọi là tia X mềm. Tuy nhiên, đặc điểm của loại hình nghiên cứu này không liên quan đến việc “sản xuất hàng loạt” hay tiết kiệm thời gian mà là từ từ tạo ra một vài con chip, đo lường một số dữ liệu và sau đó công bố những khám phá có ý nghĩa. Đây là cách nghiên cứu được thực hiện khi chưa có nguồn sáng EUV cho các ứng dụng công nghiệp.

Từ góc độ ngành, điều quan trọng nhất trong ngành chip là ứng dụng kỹ thuật, sản xuất hàng loạt và khả năng tồn tại về mặt kinh tế. Như đã tính toán ở trên, yêu cầu này đặc biệt cao, với năng suất và tốc độ sản xuất cực kỳ cao đối với sản xuất hàng loạt. Nếu bạn không có hiểu biết sâu sắc về quy trình sản xuất chip, thật khó để tưởng tượng các nhà máy hiện đại có thể xử lý và sản xuất số lượng lớn chip một cách nhanh chóng như thế nào.

Đây cũng là một quá trình. Lúc đầu, chip được làm bằng tay hoặc bán thủ công và năng suất vẫn thấp. Vào tháng 1977 năm 30, Đặng Tiểu Bình và 600 đại diện của cộng đồng khoa học và công nghệ đã tổ chức các cuộc thảo luận tại Đại lễ đường Nhân dân. Wang Shouwu, một nhà nghiên cứu về chất bán dẫn, cho biết: “Trong nước có hơn XNUMX nhà máy bán dẫn và tổng lượng mạch tích hợp sản xuất trong một năm chỉ bằng XNUMX/XNUMX sản lượng hàng tháng của một nhà máy lớn ở Nhật Bản”. Đây là sự khác biệt giữa quy trình thủ công và tự động. Mặc dù khoảng cách trong quy trình sản xuất chip có vẻ nhỏ nhưng sự khác biệt trong quy trình sản xuất và trình độ công nghệ đằng sau nó là rất đáng kể.

Giờ đây, Trung Quốc có thể sản xuất 1 tỷ con chip mỗi ngày, một sự cải tiến đáng kể, tất cả đều đạt được nhờ máy móc tự động. Việc sản xuất chip tất yếu được thực hiện bằng máy móc và con người chỉ có thể quản lý được. Máy sản xuất chip và mỗi quy trình diễn ra rất nhanh, tuân theo chế độ sản xuất dây chuyền lắp ráp tiêu chuẩn. Vấn đề của dây chuyền sản xuất chip FAB là dễ gặp sự cố và cần nhiều nhân sự có tay nghề cao để duy trì hoạt động trơn tru, khó khăn hơn nhiều so với các dây chuyền sản xuất hàng hóa khác.

Còn tiếp...