وفقًا للأخبار الرسمية لجامعة تسينغهوا، تم مؤخرًا طرح أول آلة ترقق بسكويت الويفر فائقة الدقة مقاس 12 بوصة (300 ملم) التي طورتها شركة Huahai Qingke، وهي شركة مشروع تحويل الإنجازات بجامعة تسينغهوا بقيادة البروفيسور لو شين تشون من قسم الهندسة الميكانيكية في تسينغهوا. الجامعة، وقد تم شحنها رسميا. ، أرسلت إلى مؤسسة الدوائر المتكاملة المحلية الرائدة!

يعد هذا إنجازًا رائعًا آخر بعد أن قام فريق البروفيسور Lu Xinchun وHuahai Qingke بحل مشكلة "الرقبة العالقة" لمعدات تلميع الدائرة المتكاملة في بلدي. متطلبات عملية التخفيف الدقيقة.

إن آلة ترقق بسكويت الويفر فائقة الدقة مقاس 12 بوصة هي عبارة عن معدات أساسية لا غنى عنها لتصنيع الدوائر المتكاملة. إنها معقدة للغاية، ويصعب حل المشكلات الفنية، ولها عتبة دخول عالية إلى السوق. لقد تم احتكارها بشكل كبير من قبل الشركات المصنعة الأجنبية لفترة طويلة، ويعتمد السوق المحلي بشكل كبير على الواردات.

من أجل اختراق عنق الزجاجة الفني في مجال معدات التخفيف، قاد البروفيسور لو شين تشون شركة Huahai Qingke، باستخدام خبرة التصنيع في مجال التلميع الميكانيكي الكيميائي، للتركيز على البحث في نظرية وتقنية التخفيف فائقة الدقة للتغلب على - الطحن الدقيق للجزء الخلفي من الرقاقة، مع التقنيات الأساسية للتحكم الذكي في التسطيح وتلف السطح وسلسلة التحكم في العيوب، تم تطوير أول آلة ترقق الويفر فائقة الدقة لتصنيع IC ثلاثي الأبعاد مقاس 12 بوصة والتعبئة المتقدمة وغيرها من المجالات لحل المشكلة مشكلة "الرقبة العالقة" في هذا المجال.

أجرى فريق البروفيسور لو شينتشون بحثًا أساسيًا حول التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP) منذ عام 2000، وقام بأكثر من عشر مهام علمية وتكنولوجية وطنية كبرى، ونجح في احتضان Huahai Qingke، وتطوير أول جهاز "تجفيف داخلي وتجفيف" مقاس 12 بوصة في بلدي. CMP بالنسبة للمعدات ومنتجات السلسلة، وصلت التكنولوجيا الشاملة إلى المستوى المتقدم الدولي، وتم تحقيق الإنتاج الضخم لعملية 28 نانومتر، وقد أنشأت قدرة توسيع العملية 14-7 نانومتر عددًا من سجلات المعدات المحلية.

يتم استخدام إجمالي أكثر من 110 مجموعة من هذه المعدات في خطوط الإنتاج الكبيرة لتصنيع الدوائر المتكاملة المتقدمة، وحصتها في السوق ومعدل استبدال الواردات كلاهما في طليعة معدات IC المحلية.

سلسلة الإنجازات ملأت الفجوة المحلية، وكسرت احتكار الشركات العالمية العملاقة، وحققت التطبيق الصناعي الشامل لمعدات التلميع المحلية لأول مرة.

قام فريق البروفيسور لو شينتشون أيضًا بتعزيز تحويل نتائج البحث العلمي بشكل نشط، وأدرك الاتصال الرأسي بين البحث الأساسي والطلب الصناعي، واحتضن شركة Huahai Qingke، التي تعد حاليًا الشركة المصنعة الوحيدة لمعدات أشباه الموصلات المتطورة في بلدي مع CMP مقاس 12 بوصة نموذج تجاري.

إخلاء المسؤولية: هذا المقال مستنسخ من "منتدى أشباه الموصلات الصيني"، يمثل هذا المقال فقط وجهات نظر المؤلف الشخصية، وليس آراء Sac Micro والصناعة، فقط لإعادة الطباعة والمشاركة، الدعم لحماية حقوق الملكية الفكرية، يرجى الإشارة إلى المصدر الأصلي والمؤلف لإعادة الطبع. وفي حالة وجود أي مخالفة يرجى التواصل معنا لحذفها.