Według oficjalnych wiadomości Uniwersytetu Tsinghua, niedawno powstała pierwsza 12-calowa (300 mm) ultraprecyzyjna maszyna do przerzedzania płytek, opracowana przez Huahai Qingke, firmę zajmującą się projektem transformacji osiągnięć Uniwersytetu Tsinghua, kierowaną przez profesora Lu Xinchuna z Wydziału Inżynierii Mechanicznej Tsinghua University, został oficjalnie wysłany. , wysłane do wiodącego krajowego przedsiębiorstwa zajmującego się układami scalonymi!

To kolejne przełomowe osiągnięcie po tym, jak zespół profesora Lu Xinchuna i Huahai Qingke rozwiązał problem „zablokowanej szyi” stosowanego w moim kraju sprzętu do polerowania układów scalonych. Wymagania dotyczące procesu precyzyjnego rozcieńczania.

12-calowa ultraprecyzyjna maszyna do przerzedzania płytek jest niezbędnym, kluczowym sprzętem do produkcji układów scalonych. Jest bardzo złożony, trudny do rozwiązania problemów technicznych i ma wysoki próg wejścia na rynek. Od dawna jest w dużym stopniu zmonopolizowany przez zagranicznych producentów, a krajowy rynek jest w dużym stopniu uzależniony od importu.

Aby przełamać techniczne wąskie gardło w dziedzinie sprzętu do trzebieży, profesor Lu Xinchun poprowadził Huahai Qingke, wykorzystując doświadczenie industrializacji w dziedzinie chemicznego polerowania mechanicznego, do skupienia się na badaniach nad teorią i technologią ultraprecyzyjnego rozcieńczania, aby przezwyciężyć ultraprecyzyjne -precyzyjne szlifowanie tylnej strony płytki. Dzięki podstawowym technologiom inteligentnej kontroli płaskości, serii uszkodzeń powierzchni i kontroli defektów, opracowano pierwszą ultraprecyzyjną maszynę do przerzedzania płytek do 12-calowej produkcji układów scalonych 3D, zaawansowanego pakowania i innych dziedzin w celu rozwiązania problemu problem „zawieszenia karku” na tym polu.

Zespół profesora Lu Xinchuna prowadzi podstawowe badania nad polerowaniem chemiczno-mechanicznym (CMP) od 2000 r., podjął się ponad dziesięciu głównych krajowych zadań naukowych i technologicznych, pomyślnie przeprowadził inkubację Huahai Qingke i opracował pierwszą w moim kraju 12-calową maszynę do suszenia i suszenia. CMP W przypadku sprzętu i produktów seryjnych ogólna technologia osiągnęła międzynarodowy poziom zaawansowany, osiągnięto masową produkcję w procesie 28 nm, a możliwość rozszerzenia procesu 14–7 nm stworzyła szereg rekordów sprzętu domowego.

W sumie ponad 110 zestawów tego sprzętu jest używanych na dużych liniach produkcyjnych zaawansowanych układów scalonych, a jego udział w rynku i współczynnik substytucji importu plasują się w czołówce krajowego sprzętu IC.

Seria osiągnięć wypełniła lukę krajową, przełamała monopol międzynarodowych gigantów i po raz pierwszy umożliwiła masowe zastosowanie przemysłowe domowego sprzętu do polerowania.

Zespół profesora Lu Xinchuna aktywnie promował także przekształcanie wyników badań naukowych, uświadomił sobie wertykalny związek między badaniami podstawowymi a popytem przemysłowym i zainicjował inkubację Huahai Qingke, który jest obecnie jedynym w moim kraju producentem wysokiej klasy sprzętu półprzewodnikowego wyposażonym w 12-calowy CMP model komercyjny.

Zastrzeżenie: ten artykuł został skopiowany z „China Semiconductor Forum”, artykuł ten przedstawia wyłącznie osobiste poglądy autora, a nie poglądy Sac Micro i branży, przeznaczony jest wyłącznie do przedruku i udostępniania, wsparcie Aby chronić prawa własności intelektualnej, proszę wskazać oryginalne źródło i autora do przedruku. Jeśli doszło do naruszenia, skontaktuj się z nami, aby je usunąć.