ตามข่าวอย่างเป็นทางการของมหาวิทยาลัย Tsinghua เมื่อเร็วๆ นี้ เครื่องทำให้ผอมบางเวเฟอร์ความแม่นยำสูงพิเศษขนาด 12 นิ้ว (300 มม.) เครื่องแรกที่พัฒนาโดย Huahai Qingke ซึ่งเป็นบริษัทโครงการเปลี่ยนแปลงความสำเร็จของมหาวิทยาลัย Tsinghua นำโดยศาสตราจารย์ Lu Xinchun จากภาควิชาวิศวกรรมเครื่องกลของ Tsinghua มหาวิทยาลัยได้รับการจัดส่งอย่างเป็นทางการแล้ว ส่งไปยังองค์กรวงจรรวมชั้นนำในประเทศ!

นี่เป็นความสำเร็จที่ก้าวหน้าอีกครั้งหนึ่งหลังจากที่ทีมศาสตราจารย์ Lu Xinchun และ Huahai Qingke แก้ไขปัญหา "คอค้าง" ของอุปกรณ์ขัดวงจรรวมในประเทศของฉันได้ ข้อกำหนดกระบวนการทำให้ผอมบางอย่างแม่นยำ

เครื่องทำให้ผอมบางเวเฟอร์ความแม่นยำสูงพิเศษขนาด 12 นิ้วเป็นอุปกรณ์สำคัญที่ขาดไม่ได้สำหรับการผลิตวงจรรวม มีความซับซ้อนสูง แก้ปัญหาทางเทคนิคได้ยาก และมีเกณฑ์การเข้าสู่ตลาดสูง มีการผูกขาดอย่างสูงจากผู้ผลิตจากต่างประเทศมาเป็นเวลานาน และตลาดในประเทศก็ขึ้นอยู่กับการนำเข้าเป็นอย่างมาก

เพื่อที่จะฝ่าฟันปัญหาคอขวดทางเทคนิคในด้านอุปกรณ์การทำให้ผอมบาง ศาสตราจารย์ Lu Xinchun ได้นำ Huahai Qingke โดยใช้ประสบการณ์ด้านอุตสาหกรรมในด้านการขัดเงาเชิงกลด้วยเคมี เพื่อมุ่งเน้นไปที่การวิจัยเกี่ยวกับทฤษฎีและเทคโนโลยีการทำให้ผอมบางที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ เพื่อเอาชนะอุลตร้าไวโอเล็ต - การบดแผ่นเวเฟอร์ด้านหลังอย่างแม่นยำ ด้วยเทคโนโลยีหลักของการควบคุมความเรียบอัจฉริยะ ความเสียหายของพื้นผิว และชุดควบคุมข้อบกพร่อง เครื่องทำให้ผอมบางแผ่นเวเฟอร์ที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษเครื่องแรกสำหรับการผลิต 12D IC ขนาด 3 นิ้ว บรรจุภัณฑ์ขั้นสูง และสาขาอื่น ๆ ได้รับการพัฒนาเพื่อแก้ปัญหา ปัญหา "คอติด" ในด้านนี้

ทีมของศาสตราจารย์ Lu Xinchun ได้ทำการวิจัยขั้นพื้นฐานเกี่ยวกับการขัดเงาเชิงกลด้วยเคมี (CMP) ตั้งแต่ปี 2000 ดำเนินงานทางวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีระดับชาติที่สำคัญมากกว่า 12 งาน บ่มเพาะ Huahai Qingke ได้สำเร็จ และพัฒนาเครื่อง "แห้งเข้าและแห้ง" ขนาด 28 นิ้วเครื่องแรกในประเทศของฉัน CMP สำหรับอุปกรณ์และผลิตภัณฑ์ซีรีส์ เทคโนโลยีโดยรวมได้ก้าวไปถึงระดับขั้นสูงระดับสากล ประสบความสำเร็จในการผลิตจำนวนมากของกระบวนการ 14 นาโนเมตร และความสามารถในการขยายกระบวนการ 7-XNUMX นาโนเมตรได้สร้างบันทึกอุปกรณ์ในประเทศจำนวนมาก

อุปกรณ์นี้มากกว่า 110 ชุดถูกใช้ในสายการผลิตขนาดใหญ่ของการผลิตวงจรรวมขั้นสูง โดยมีส่วนแบ่งการตลาดและอัตราการทดแทนการนำเข้าอยู่ในระดับแนวหน้าของอุปกรณ์ IC ในประเทศ

ความสำเร็จชุดนี้ช่วยเติมเต็มช่องว่างภายในประเทศ ทำลายการผูกขาดของยักษ์ใหญ่ระดับนานาชาติ และตระหนักถึงการประยุกต์ใช้อุปกรณ์ขัดเงาในประเทศในอุตสาหกรรมขนาดใหญ่เป็นครั้งแรก

ทีมของศาสตราจารย์ Lu Xinchun ยังส่งเสริมการเปลี่ยนแปลงผลการวิจัยทางวิทยาศาสตร์อย่างจริงจัง ตระหนักถึงความเชื่อมโยงในแนวดิ่งระหว่างการวิจัยขั้นพื้นฐานและความต้องการของอุตสาหกรรม และบ่มเพาะ Huahai Qingke ซึ่งปัจจุบันเป็นผู้ผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ระดับไฮเอนด์เพียงรายเดียวในประเทศของฉันที่มี CMP ขนาด 12 นิ้ว รูปแบบเชิงพาณิชย์

ข้อจำกัดความรับผิดชอบ: บทความนี้ทำซ้ำจาก "China Semiconductor Forum" บทความนี้นำเสนอเฉพาะมุมมองส่วนตัวของผู้เขียน ไม่ใช่มุมมองของ Sac Micro และอุตสาหกรรม สำหรับการพิมพ์ซ้ำและแบ่งปันเท่านั้น การสนับสนุน เพื่อปกป้องสิทธิ์ในทรัพย์สินทางปัญญา โปรดระบุแหล่งที่มาดั้งเดิม และผู้เขียนเพื่อพิมพ์ซ้ำ หากมีการละเมิดใด ๆ โปรดติดต่อเราเพื่อลบออก