Según las noticias oficiales de la Universidad de Tsinghua, recientemente se presentó la primera máquina de adelgazamiento de obleas de ultraprecisión de 12 pulgadas (300 mm) desarrollada por Huahai Qingke, una empresa de proyectos de transformación de logros de la Universidad de Tsinghua dirigida por el profesor Lu Xinchun del Departamento de Ingeniería Mecánica de Tsinghua. Universidad, ha sido enviado oficialmente. ¡Enviado a una empresa líder en circuitos integrados nacionales!

Este es otro gran logro después de que el equipo del profesor Lu Xinchun y Huahai Qingke resolviera el problema del "cuello atascado" del equipo de pulido de circuitos integrados de mi país. Requisitos del proceso de adelgazamiento de precisión.

La máquina adelgazadora de obleas de ultraprecisión de 12 pulgadas es un equipo clave indispensable para la fabricación de circuitos integrados. Es muy complejo, difícil de resolver problemas técnicos y tiene un alto umbral de entrada al mercado. Ha estado altamente monopolizado por fabricantes extranjeros durante mucho tiempo y el mercado interno depende en gran medida de las importaciones.

Para superar el cuello de botella técnico en el campo de los equipos de adelgazamiento, el profesor Lu Xinchun dirigió a Huahai Qingke, utilizando la experiencia de industrialización en el campo del pulido químico mecánico, para centrarse en la investigación sobre la teoría y la tecnología de adelgazamiento de ultraprecisión, para superar el ultra - Rectificado de precisión de la parte posterior de la oblea. Con las tecnologías centrales de la serie de control inteligente de planitud, daños superficiales y control de defectos, se ha desarrollado la primera máquina de adelgazamiento de oblea de ultraprecisión para la fabricación de circuitos integrados 12D de 3 pulgadas, embalaje avanzado y otros campos para resolver el problema. problema del "cuello atascado" en este ámbito.

El equipo del profesor Lu Xinchun ha llevado a cabo investigaciones básicas sobre pulido químico mecánico (CMP) desde 2000, ha emprendido más de diez importantes tareas científicas y tecnológicas nacionales, ha incubado con éxito Huahai Qingke y ha desarrollado el primer "seco y secado" de 12 pulgadas de mi país. CMP Para equipos y productos en serie, la tecnología general ha alcanzado el nivel avanzado internacional, se ha logrado la producción en masa del proceso de 28 nm y la capacidad de expansión del proceso de 14-7 nm ha creado una serie de récords en equipos nacionales.

Un total de más de 110 juegos de este equipo se utilizan en grandes líneas de producción de fabricación avanzada de circuitos integrados, y su participación de mercado y tasa de sustitución de importaciones están a la vanguardia de los equipos de circuitos integrados nacionales.

La serie de logros llenó el vacío interno, rompió el monopolio de los gigantes internacionales y logró por primera vez la aplicación industrial masiva de equipos de pulido nacionales.

El equipo del profesor Lu Xinchun también promovió activamente la transformación de los resultados de la investigación científica, se dio cuenta de la conexión vertical entre la investigación básica y la demanda industrial e incubó Huahai Qingke, que actualmente es el único fabricante de equipos semiconductores de alta gama en mi país con un CMP de 12 pulgadas. modelo comercial.

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