Secondo le notizie ufficiali dell'Università di Tsinghua, di recente, la prima macchina per assottigliare wafer ultraprecisi da 12 pollici (300 mm) è stata sviluppata da Huahai Qingke, una società di progetti di trasformazione dei risultati dell'Università di Tsinghua guidata dal professor Lu Xinchun del Dipartimento di ingegneria meccanica di Tsinghua University, è stato ufficialmente spedito. , inviato a un'impresa nazionale leader nel settore dei circuiti integrati!

Questo è un altro risultato rivoluzionario dopo che il team del professor Lu Xinchun e Huahai Qingke ha risolto il problema del "collo bloccato" delle apparecchiature di lucidatura dei circuiti integrati del mio paese. Requisiti del processo di diluizione di precisione.

La macchina per assottigliare wafer ultraprecisa da 12 pollici è un'apparecchiatura chiave indispensabile per la produzione di circuiti integrati. È estremamente complesso, difficile da risolvere problemi tecnici e ha un'elevata soglia di ingresso nel mercato. Per molto tempo è stato fortemente monopolizzato dai produttori stranieri e il mercato interno è fortemente dipendente dalle importazioni.

Per superare il collo di bottiglia tecnico nel campo delle attrezzature per l'assottigliamento, il professor Lu Xinchun ha guidato Huahai Qingke, utilizzando l'esperienza di industrializzazione nel campo della lucidatura chimico-meccanica, a concentrarsi sulla ricerca sulla teoria e sulla tecnologia dell'assottigliamento ultrapreciso, per superare l'ultra -rettifica di precisione del retro del wafer, con le tecnologie chiave del controllo intelligente della planarità, dei danni superficiali e del controllo dei difetti, è stata sviluppata la prima macchina per assottigliare wafer ultraprecisa per la produzione di circuiti integrati 12D da 3 pollici, imballaggi avanzati e altri campi per risolvere il problema problema del "collo bloccato" in questo campo.

Il team del professor Lu Xinchun ha condotto ricerche di base sulla lucidatura chimico-meccanica (CMP) dal 2000, ha intrapreso più di dieci importanti compiti scientifici e tecnologici nazionali, ha incubato con successo Huahai Qingke e ha sviluppato il primo "secco e asciugato" da 12 pollici del mio paese CMP Per apparecchiature e prodotti in serie, la tecnologia complessiva ha raggiunto il livello avanzato internazionale, è stata raggiunta la produzione di massa del processo a 28 nm e la capacità di espansione del processo a 14-7 nm ha creato una serie di record di apparecchiature nazionali.

Un totale di oltre 110 set di queste apparecchiature vengono utilizzati in grandi linee di produzione di circuiti integrati avanzati e la sua quota di mercato e il tasso di sostituzione delle importazioni sono entrambi all'avanguardia nelle apparecchiature IC nazionali.

La serie di risultati colmò il divario nazionale, ruppe il monopolio dei giganti internazionali e realizzò per la prima volta l'applicazione industriale di massa delle apparecchiature di lucidatura domestica.

Il team del professor Lu Xinchun ha anche promosso attivamente la trasformazione dei risultati della ricerca scientifica, ha realizzato la connessione verticale tra ricerca di base e domanda industriale e ha incubato Huahai Qingke, che attualmente è l'unico produttore di apparecchiature per semiconduttori di fascia alta nel mio paese con un CMP da 12 pollici modello commerciale.

Dichiarazione di non responsabilità: questo articolo è riprodotto da "China Semiconductor Forum", questo articolo rappresenta solo le opinioni personali dell'autore, non le opinioni di Sac Micro e dell'industria, solo per la ristampa e la condivisione, supporto Per proteggere i diritti di proprietà intellettuale, indicare la fonte originale e autore per la ristampa. In caso di violazione, contattaci per eliminarla.