Menurut berita rasmi Universiti Tsinghua, baru-baru ini, mesin penipisan wafer ultra ketepatan 12 inci (300mm) pertama yang dibangunkan oleh Huahai Qingke, sebuah syarikat projek transformasi pencapaian Universiti Tsinghua yang diketuai oleh Profesor Lu Xinchun dari Jabatan Kejuruteraan Mekanikal Tsinghua Universiti, telah dihantar secara rasmi. , dihantar ke perusahaan litar bersepadu domestik yang terkemuka!

Ini adalah satu lagi pencapaian kejayaan selepas pasukan Profesor Lu Xinchun dan Huahai Qingke menyelesaikan masalah "leher tersangkut" peralatan penggilap litar bersepadu negara saya. Keperluan proses penipisan ketepatan.

Mesin penipisan wafer ultra ketepatan 12-inci adalah peralatan utama yang sangat diperlukan untuk pembuatan litar bersepadu. Ia sangat kompleks, sukar untuk menyelesaikan masalah teknikal, dan mempunyai ambang kemasukan pasaran yang tinggi. Ia telah lama dimonopoli oleh pengeluar asing, dan pasaran domestik sangat bergantung kepada import.

Untuk menerobos kesesakan teknikal dalam bidang peralatan penipisan, Profesor Lu Xinchun mengetuai Huahai Qingke, menggunakan pengalaman perindustrian dalam bidang penggilap mekanikal kimia, untuk menumpukan pada penyelidikan mengenai teori dan teknologi penipisan ultra ketepatan, untuk mengatasi ultra -pengisaran ketepatan bahagian belakang wafer, Dengan teknologi teras kawalan kerataan pintar, siri kawalan kerosakan permukaan dan kecacatan, mesin penipisan wafer ultra-ketepatan pertama untuk pembuatan IC 12D 3-inci, pembungkusan termaju dan bidang lain telah dibangunkan untuk menyelesaikan masalah masalah "leher tersangkut" dalam bidang ini.

Pasukan Profesor Lu Xinchun telah menjalankan penyelidikan asas mengenai penggilap mekanikal kimia (CMP) sejak tahun 2000, menjalankan lebih daripada sepuluh tugas saintifik dan teknologi utama negara, berjaya mengeram Huahai Qingke, dan membangunkan "kering dan kering" 12 inci pertama di negara saya. CMP Untuk peralatan dan produk siri, teknologi keseluruhan telah mencapai tahap lanjutan antarabangsa, pengeluaran besar-besaran proses 28nm telah dicapai, dan keupayaan pengembangan proses 14-7nm telah mencipta beberapa rekod peralatan domestik.

Sejumlah lebih daripada 110 set peralatan ini digunakan dalam barisan pengeluaran besar pembuatan litar bersepadu termaju, dan bahagian pasaran serta kadar penggantian importnya berada di barisan hadapan peralatan IC domestik.

Siri pencapaian mengisi jurang domestik, memecahkan monopoli gergasi antarabangsa, dan merealisasikan aplikasi perindustrian besar-besaran peralatan penggilap domestik buat kali pertama.

Pasukan Profesor Lu Xinchun juga secara aktif mempromosikan transformasi hasil penyelidikan saintifik, menyedari hubungan menegak antara penyelidikan asas dan permintaan industri, dan mengeram Huahai Qingke, yang kini merupakan satu-satunya pengeluar peralatan semikonduktor mewah di negara saya dengan CMP 12 inci model komersial.

Penafian: Artikel ini diterbitkan semula daripada "Forum Semikonduktor China", artikel ini hanya mewakili pandangan peribadi pengarang, bukan pandangan Sac Micro dan industri, hanya untuk cetakan semula dan perkongsian, sokongan Untuk melindungi hak harta intelek, sila nyatakan sumber asal dan pengarang untuk dicetak semula. Jika terdapat sebarang pelanggaran, sila hubungi kami untuk memadamkannya.