Согласно официальным новостям Университета Цинхуа, недавно был представлен первый 12-дюймовый (300 мм) сверхточный станок для утонения пластин, разработанный Huahai Qingke, проектной компанией по преобразованию достижений Университета Цинхуа, возглавляемой профессором Лу Синьчуном с факультета машиностроения Цинхуа. Университет, был официально отправлен. , отправлено на ведущее отечественное предприятие по производству интегральных схем!

Это еще одно прорывное достижение после того, как команда профессора Лу Синьчуня и Хуахая Цинке решила проблему «застрявшей шейки» оборудования для полировки интегральных схем в моей стране. Требования к прецизионному процессу прореживания.

12-дюймовый сверхточный станок для утонения пластин является незаменимым ключевым оборудованием для производства интегральных схем. Он очень сложен, с трудом решает технические проблемы и имеет высокий порог входа на рынок. В течение длительного времени он был сильно монополизирован иностранными производителями, а внутренний рынок сильно зависит от импорта.

Чтобы преодолеть технические трудности в области оборудования для прореживания, профессор Лу Синьчунь побудил Хуахая Цинке, используя опыт индустриализации в области химико-механической полировки, сосредоточиться на исследованиях теории и технологии сверхточного утонения, чтобы преодолеть ультрапрецизионные технологии. -прецизионное шлифование задней стороны пластины. Благодаря основным технологиям интеллектуального контроля плоскостности, контроля повреждений поверхности и дефектов была разработана первая сверхточная машина для утонения пластин для производства 12-дюймовых 3D-ИС, современной упаковки и других областей. проблема «застрявшей шеи» в этой сфере.

Команда профессора Лу Синьчуня провела фундаментальные исследования в области химико-механической полировки (ХМП) с 2000 года, выполнила более десяти крупных национальных научных и технологических задач, успешно вырастила Huahai Qingke и разработала первую в моей стране 12-дюймовую систему «сушка и сушка». CMP Что касается оборудования и серийной продукции, общая технология достигла передового международного уровня, было достигнуто массовое производство по 28-нм техпроцессу, а возможность расширения 14-7-нм техпроцесса создала ряд рекордов отечественного оборудования.

В общей сложности более 110 комплектов этого оборудования используются на крупных производственных линиях по производству современных интегральных схем, а его рыночная доля и уровень импортозамещения находятся на переднем крае отечественного оборудования ИС.

Ряд достижений заполнил внутренний пробел, сломал монополию международных гигантов и впервые реализовал массовое промышленное применение отечественного полировального оборудования.

Команда профессора Лу Синьчуня также активно способствовала трансформации результатов научных исследований, осознала вертикальную связь между фундаментальными исследованиями и промышленным спросом и создала компанию Huahai Qingke, которая в настоящее время является единственным производителем полупроводникового оборудования высокого класса в моей стране с 12-дюймовым CMP. коммерческая модель.

Отказ от ответственности: эта статья воспроизведена с «Китайского полупроводникового форума», эта статья представляет только личные взгляды автора, а не точку зрения Sac Micro и отрасли, только для перепечатки и распространения, поддержки. В целях защиты прав интеллектуальной собственности укажите первоначальный источник. и автору для переиздания. Если есть какие-либо нарушения, пожалуйста, свяжитесь с нами, чтобы удалить их.