Den offiziellen Nachrichten der Tsinghua-Universität zufolge wurde kürzlich die erste 12-Zoll-(300-mm-)Ultrapräzisions-Wafer-Ausdünnungsmaschine von Huahai Qingke entwickelt, einem Unternehmen für Leistungstransformationsprojekte der Tsinghua-Universität unter der Leitung von Professor Lu Xinchun von der Fakultät für Maschinenbau der Tsinghua Universität, wurde offiziell ausgeliefert. , gesendet an ein führendes inländisches Unternehmen für integrierte Schaltkreise!

Dies ist ein weiterer Durchbruch, nachdem das Team von Professor Lu Xinchun und Huahai Qingke das Problem des „steckengebliebenen Halses“ der Polierausrüstung für integrierte Schaltkreise meines Landes gelöst hat. Anforderungen an den Präzisionsausdünnungsprozess.

Die 12-Zoll-Ultrapräzisions-Wafer-Ausdünnungsmaschine ist eine unverzichtbare Schlüsselausrüstung für die Herstellung integrierter Schaltkreise. Es ist hochkomplex, technisch schwierig zu lösen und weist eine hohe Markteintrittsschwelle auf. Es wurde lange Zeit stark von ausländischen Herstellern monopolisiert und der Inlandsmarkt ist stark von Importen abhängig.

Um den technischen Engpass im Bereich der Ausdünnungsausrüstung zu überwinden, leitete Professor Lu -Präzisionsschleifen der Waferrückseite. Mit den Kerntechnologien intelligente Ebenheitskontrolle, Oberflächenbeschädigung und Defektkontrollserie wurde die erste ultrapräzise Wafer-Ausdünnungsmaschine für die 12-Zoll-3D-IC-Herstellung, fortschrittliche Verpackung und andere Bereiche entwickelt, um das Problem zu lösen Problem des „Feststeckens“ in diesem Bereich.

Das Team von Professor Lu CMP Für Geräte und Serienprodukte hat die Gesamttechnologie das internationale Spitzenniveau erreicht, die Massenproduktion des 2000-nm-Prozesses wurde erreicht und die 12-28-nm-Prozesserweiterungsfähigkeit hat eine Reihe von inländischen Ausrüstungsrekorden geschaffen.

Insgesamt werden mehr als 110 Sätze dieser Ausrüstung in großen Produktionslinien für die Herstellung fortschrittlicher integrierter Schaltkreise verwendet, und sowohl ihr Marktanteil als auch ihre Importsubstitutionsrate liegen an der Spitze der heimischen IC-Ausrüstung.

Die Reihe von Errungenschaften füllte die inländische Lücke, brach das Monopol internationaler Giganten und verwirklichte erstmals die massenhafte industrielle Anwendung inländischer Poliergeräte.

Das Team von Professor Lu kommerzielles Modell.

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