לפי החדשות הרשמיות של אוניברסיטת Tsinghua, לאחרונה, מכונת דילול פרוסות אולטרה-דיוק הראשונה בגודל 12 אינץ' (300 מ"מ) שפותחה על ידי Huahai Qingke, חברה לפרויקט טרנספורמציה הישגי של אוניברסיטת Tsinghua בראשות פרופסור Lu Xinchun מהמחלקה להנדסת מכונות של Tsinghua האוניברסיטה, נשלחה רשמית. , נשלח למפעל מעגלים משולבים מקומיים מובילים!

זהו הישג פריצת דרך נוסף לאחר שהצוות של פרופסור Lu Xinchun ו-Huahai Qingke פתר את בעיית "צוואר תקוע" של ציוד הליטוש במעגלים משולבים של ארצי. דרישות תהליך דילול מדויק.

מכונת דילול פרוסות אולטרה-דיוק בגודל 12 אינץ' היא ציוד מפתח הכרחי לייצור מעגלים משולבים. זה מורכב מאוד, קשה לפתור בעיות טכניות, ויש לו סף כניסה גבוה לשוק. זה היה מונופול מאוד על ידי יצרנים זרים במשך זמן רב, והשוק המקומי תלוי מאוד ביבוא.

על מנת לפרוץ את צוואר הבקבוק הטכני בתחום ציוד הדילול, פרופסור לו שינצ'ון הוביל את Huahai Qingke, תוך שימוש בניסיון התיעוש בתחום הליטוש הכימי-מכני, להתמקד במחקר על תיאוריה וטכנולוגיה של דילול אולטרה-דיוק, להתגבר על אולטרה. שחיקה מדויקת של חלק האחורי של רקיק, עם טכנולוגיות הליבה של בקרת שטוחות חכמה, סדרת בקרת נזקי משטח ופגמים, פותחה מכונת דילול הפרוסים המדויקת ביותר לייצור IC 12D 3 אינץ', אריזה מתקדמת ותחומים אחרים כדי לפתור את בעיה של "צוואר תקוע" בתחום זה.

הצוות של פרופסור לו שינצ'ון ביצע מחקר בסיסי על ליטוש כימי מכני (CMP) מאז שנת 2000, לקח על עצמו יותר מעשר משימות מדעיות וטכנולוגיות לאומיות מרכזיות, הדגר בהצלחה את Huahai Qingke ופיתח את ה-12 אינץ' הראשון של ארצי "ייבוש ויובש" CMP עבור מוצרי ציוד וסדרות, הטכנולוגיה הכוללת הגיעה לרמה מתקדמת בינלאומית, הושג ייצור המוני של תהליך 28nm ויכולת הרחבת התהליך 14-7nm יצרה מספר רשומות ציוד מקומי.

סה"כ יותר מ-110 סטים של ציוד זה משמשים בקווי ייצור גדולים של ייצור מעגלים משולבים מתקדמים, ונתח השוק שלו ושיעור ההחלפות ביבוא הם שניהם בחזית ציוד ה-IC המקומי.

סדרת ההישגים מילאה את הפער המקומי, שברה את המונופול של ענקיות בינלאומיות, ומימשה לראשונה את היישום התעשייתי ההמוני של ציוד ליטוש ביתי.

הצוות של פרופסור לו שינצ'ון גם קידם באופן פעיל את השינוי של תוצאות מחקר מדעיות, הבין את הקשר האנכי בין מחקר בסיסי לביקוש תעשייתי, והחדיר את Huahai Qingke, שהיא כיום יצרנית ציוד המוליכים למחצה היוקרתיים היחידה במדינה שלי עם CMP בגודל 12 אינץ'. דגם מסחרי.

כתב ויתור: מאמר זה משוחזר מ"פורום מוליכים למחצה של סין", מאמר זה מייצג רק את דעותיו האישיות של המחבר, לא את הדעות של Sac Micro והתעשייה, רק להדפסה מחדש ושיתוף, תמיכה כדי להגן על זכויות קניין רוחני, נא לציין את המקור המקורי ומחבר להדפסה מחודשת. אם יש הפרה כלשהי, אנא צור איתנו קשר כדי למחוק אותה.