Theo tin tức chính thức của Đại học Thanh Hoa, gần đây, máy mỏng wafer siêu chính xác 12 inch (300mm) đầu tiên được phát triển bởi Huahai Qingke, một công ty dự án chuyển đổi thành tựu của Đại học Thanh Hoa do Giáo sư Lu Xinchun từ Khoa Cơ khí của Thanh Hoa đứng đầu. Đại học, đã được chính thức xuất xưởng. , gửi đến một doanh nghiệp mạch tích hợp hàng đầu trong nước!

Đây là một thành tựu đột phá khác sau khi nhóm của Giáo sư Lu Xinchun và Huahai Qingke giải quyết được vấn đề “nghẹt cổ” của thiết bị đánh bóng mạch tích hợp của nước tôi. Yêu cầu quá trình pha loãng chính xác.

Máy làm mỏng wafer siêu chính xác 12 inch là thiết bị quan trọng không thể thiếu trong sản xuất mạch tích hợp. Nó rất phức tạp, khó giải quyết các vấn đề kỹ thuật và có ngưỡng gia nhập thị trường cao. Nó đã bị các nhà sản xuất nước ngoài độc quyền trong một thời gian dài và thị trường trong nước phụ thuộc nhiều vào nhập khẩu.

Để vượt qua nút thắt kỹ thuật trong lĩnh vực thiết bị pha loãng, Giáo sư Lu Xinchun đã lãnh đạo Huahai Qingke, sử dụng kinh nghiệm công nghiệp hóa trong lĩnh vực đánh bóng cơ học hóa học, tập trung nghiên cứu lý thuyết và công nghệ làm mỏng siêu chính xác, để khắc phục tình trạng siêu mỏng - mài chính xác mặt sau của wafer, Với các công nghệ cốt lõi là kiểm soát độ phẳng thông minh, loạt kiểm soát hư hỏng bề mặt và kiểm soát khuyết tật, máy làm mỏng wafer siêu chính xác đầu tiên để sản xuất IC 12D 3 inch, đóng gói tiên tiến và các lĩnh vực khác đã được phát triển để giải quyết vấn đề vấn đề “kẹt cổ” trong lĩnh vực này.

Nhóm của Giáo sư Lu Xinchun đã thực hiện nghiên cứu cơ bản về đánh bóng cơ học hóa học (CMP) từ năm 2000, thực hiện hơn mười nhiệm vụ khoa học và công nghệ lớn của quốc gia, ươm tạo thành công Huahai Qingke và phát triển "khô và khô" 12 inch đầu tiên của đất nước tôi CMP Đối với thiết bị và dòng sản phẩm, công nghệ tổng thể đã đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế, đã đạt được sản xuất hàng loạt quy trình 28nm và khả năng mở rộng quy trình 14-7nm đã tạo ra một số kỷ lục thiết bị trong nước.

Tổng cộng có hơn 110 bộ thiết bị này được sử dụng trong các dây chuyền sản xuất lớn sản xuất mạch tích hợp tiên tiến, thị phần cũng như tỷ lệ thay thế nhập khẩu của nó đều dẫn đầu trong thiết bị vi mạch trong nước.

Chuỗi thành tựu đã lấp đầy khoảng trống trong nước, phá vỡ thế độc quyền của các gã khổng lồ quốc tế và lần đầu tiên hiện thực hóa ứng dụng công nghiệp đại trà của thiết bị đánh bóng trong nước.

Nhóm của Giáo sư Lu Xinchun cũng tích cực thúc đẩy việc chuyển đổi kết quả nghiên cứu khoa học, nhận ra mối liên hệ theo chiều dọc giữa nghiên cứu cơ bản và nhu cầu công nghiệp, đồng thời ươm tạo Huahai Qingke, hiện là nhà sản xuất thiết bị bán dẫn cao cấp duy nhất ở nước tôi có CMP 12 inch mô hình thương mại.

Tuyên bố miễn trừ trách nhiệm: Bài viết này được sao chép từ "Diễn đàn bán dẫn Trung Quốc", bài viết này chỉ thể hiện quan điểm cá nhân của tác giả, không phải quan điểm của Sắc Micro và ngành, chỉ để in lại và chia sẻ, hỗ trợ Để bảo vệ quyền sở hữu trí tuệ, vui lòng ghi rõ nguồn gốc và tác giả để tái bản. Nếu có vi phạm vui lòng liên hệ với chúng tôi để xóa.