Tsinghua Üniversitesi'nin resmi haberine göre, yakın zamanda Tsinghua Makine Mühendisliği Bölümü'nden Profesör Lu Xinchun liderliğindeki bir Tsinghua Üniversitesi başarı dönüşüm proje şirketi olan Huahai Qingke tarafından geliştirilen ilk 12 inç (300 mm) ultra hassas gofret inceltme makinesi Üniversite, resmi olarak sevk edildi. , önde gelen bir yerli entegre devre kuruluşuna gönderildi!

Bu, Profesör Lu Xinchun ve Huahai Qingke'den oluşan ekibin, ülkemin entegre devre parlatma ekipmanının "boyun sıkışması" sorununu çözmesinden sonraki bir başka çığır açan başarıdır. Hassas inceltme işlemi gereksinimleri.

12 inçlik ultra hassas gofret inceltme makinesi, entegre devre üretimi için vazgeçilmez bir anahtar ekipmandır. Oldukça karmaşıktır, teknik sorunları çözmek zordur ve pazara giriş eşiği yüksektir. Uzun süredir yabancı üreticilerin tekelindedir ve iç pazar büyük ölçüde ithalata bağımlıdır.

İnceltme ekipmanı alanındaki teknik darboğazı aşmak için Profesör Lu Xinchun, Huahai Qingke'yi kimyasal mekanik parlatma alanındaki sanayileşme deneyimini kullanarak ultra hassas inceltme teorisi ve teknolojisi üzerine araştırmalara odaklanmaya ve ultra hassas inceltme teorisi ve teknolojisine odaklanmaya yönlendirdi. - levha arka tarafının hassas taşlanması, Akıllı düzlük kontrolü, yüzey hasarı ve kusur kontrol serisinin temel teknolojileri ile, 12 inç 3D IC üretimi, gelişmiş paketleme ve diğer alanlar için ilk ultra hassas levha inceltme makinesi, sorunu çözmek için geliştirilmiştir. Bu alanda “boyun sıkışması” sorunu yaşanıyor.

Profesör Lu Xinchun'un ekibi 2000 yılından bu yana kimyasal mekanik parlatma (CMP) üzerine temel araştırmalar yürüttü, ondan fazla önemli ulusal bilimsel ve teknolojik görevi üstlendi, Huahai Qingke'yi başarıyla kuluçkaya yatırdı ve ülkemin ilk 12 inçlik "kurutma ve kurutma" cihazını geliştirdi. CMP Ekipman ve seri ürünler için genel teknoloji uluslararası ileri seviyeye ulaşmış, 28nm prosesin seri üretimi gerçekleştirilmiş ve 14-7nm proses genişleme kapasitesi bir dizi yerli ekipman kaydı yaratmıştır.

Bu ekipmanın toplam 110'dan fazla seti, gelişmiş entegre devre imalatının büyük üretim hatlarında kullanılmaktadır ve hem pazar payı hem de ithal ikame oranı, yerli IC ekipmanlarının ön sıralarında yer almaktadır.

Bir dizi başarı ülke içindeki boşluğu doldurdu, uluslararası devlerin tekelini kırdı ve ilk kez yerli cilalama ekipmanlarının kitlesel endüstriyel uygulamasını gerçekleştirdi.

Profesör Lu Xinchun'un ekibi ayrıca bilimsel araştırma sonuçlarının dönüşümünü aktif olarak destekledi, temel araştırma ile endüstriyel talep arasındaki dikey bağlantıyı fark etti ve şu anda ülkemdeki tek üst düzey yarı iletken ekipman üreticisi olan Huahai Qingke'yi 12 inçlik bir CMP ile kuluçkaya yatırdı. Ticari model.

Yasal Uyarı: Bu makale "Çin Yarı İletken Forumu"ndan alınmıştır, bu makale Sac Micro ve endüstrinin görüşlerini değil, yalnızca yazarın kişisel görüşlerini temsil eder, yalnızca yeniden basmak ve paylaşmak içindir, destek Fikri mülkiyet haklarını korumak için lütfen orijinal kaynağı belirtin ve yeniden basım için yazar. Herhangi bir ihlal varsa, silmek için lütfen bizimle iletişime geçin.