Volgens het officiële nieuws van de Tsinghua Universiteit is onlangs de eerste 12-inch (300 mm) ultraprecieze wafelverdunningsmachine ontwikkeld door Huahai Qingke, een transformatieprojectbedrijf van de Tsinghua Universiteit onder leiding van professor Lu Xinchun van de afdeling Werktuigbouwkunde van Tsinghua Universiteit, is officieel verzonden. , verzonden naar een toonaangevende binnenlandse onderneming met geïntegreerde schakelingen!

Dit is opnieuw een doorbraak nadat het team van professor Lu Xinchun en Huahai Qingke het probleem van de "vastzittende nek" van de polijstapparatuur voor geïntegreerde schakelingen van mijn land had opgelost. Vereisten voor precisieverdunningsproces.

De 12-inch ultraprecieze wafelverdunningsmachine is een onmisbare sleuteluitrusting voor de productie van geïntegreerde schakelingen. Het is zeer complex, moeilijk om technische problemen op te lossen en heeft een hoge drempel voor markttoegang. Het wordt al lange tijd sterk gemonopoliseerd door buitenlandse fabrikanten en de binnenlandse markt is sterk afhankelijk van import.

Om het technische knelpunt op het gebied van verdunningsapparatuur te doorbreken, leidde professor Lu Xinchun Huahai Qingke, gebruikmakend van de industrialisatie-ervaring op het gebied van chemisch-mechanisch polijsten, om zich te concentreren op onderzoek naar ultra-precieze verdunningstheorie en -technologie, om ultra-precieze verdunningstheorieën en -technologie te overwinnen. -precisie slijpen van de achterkant van de wafel, met de kerntechnologieën van intelligente vlakheidscontrole, oppervlakteschade en defectcontroleseries, is de eerste ultraprecieze wafelverdunningsmachine voor 12-inch 3D IC-productie, geavanceerde verpakkingen en andere velden ontwikkeld om de problemen op te lossen probleem van "vastzittende nek" op dit gebied.

Het team van professor Lu Xinchun heeft sinds 2000 fundamenteel onderzoek gedaan naar chemisch mechanisch polijsten (CMP), heeft meer dan tien grote nationale wetenschappelijke en technologische taken uitgevoerd, heeft met succes Huahai Qingke geïncubeerd en de eerste 12-inch "dry in and dry out" van mijn land ontwikkeld. CMP Voor apparatuur en serieproducten heeft de algehele technologie het internationale geavanceerde niveau bereikt, is de massaproductie van het 28 nm-proces bereikt en heeft de 14-7 nm procesuitbreidingsmogelijkheid een aantal records voor binnenlandse apparatuur gecreëerd.

In totaal worden meer dan 110 sets van deze apparatuur gebruikt in grote productielijnen voor de productie van geavanceerde geïntegreerde schakelingen, en het marktaandeel en de importsubstitutiegraad bevinden zich beide in de voorhoede van binnenlandse IC-apparatuur.

De reeks prestaties vulde de binnenlandse kloof, doorbrak het monopolie van internationale reuzen en realiseerde voor het eerst de massale industriële toepassing van binnenlandse polijstapparatuur.

Het team van professor Lu Xinchun promootte ook actief de transformatie van wetenschappelijke onderzoeksresultaten, realiseerde de verticale verbinding tussen fundamenteel onderzoek en de industriële vraag, en bracht Huahai Qingke voort, momenteel de enige fabrikant van hoogwaardige halfgeleiderapparatuur in mijn land met een 12-inch CMP commercieel model.

Disclaimer: dit artikel is overgenomen van "China Semiconductor Forum", dit artikel vertegenwoordigt alleen de persoonlijke mening van de auteur, niet de mening van Sac Micro en de industrie, alleen voor herdrukken en delen, ondersteuning. Om intellectuele eigendomsrechten te beschermen, verzoeken wij u de oorspronkelijke bron aan te geven en auteur voor herdruk. Als er sprake is van inbreuk, neem dan contact met ons op om deze te verwijderen.