Menurut berita resmi Universitas Tsinghua, baru-baru ini, mesin pengencer wafer ultra-presisi 12 inci (300mm) pertama yang dikembangkan oleh Huahai Qingke, sebuah perusahaan proyek transformasi prestasi Universitas Tsinghua yang dipimpin oleh Profesor Lu Xinchun dari Departemen Teknik Mesin Tsinghua Universitas, telah resmi dikirimkan. , dikirim ke perusahaan sirkuit terpadu domestik terkemuka!

Ini merupakan pencapaian terobosan lainnya setelah tim Profesor Lu Xinchun dan Huahai Qingke memecahkan masalah "macetnya leher" peralatan pemoles sirkuit terpadu di negara saya. Persyaratan proses penjarangan yang presisi.

Mesin pengencer wafer ultra-presisi 12 inci merupakan peralatan utama yang sangat diperlukan untuk manufaktur sirkuit terpadu. Ini sangat kompleks, sulit untuk memecahkan masalah teknis, dan memiliki ambang masuk pasar yang tinggi. Produk ini telah lama dimonopoli oleh pabrikan asing, dan pasar dalam negeri sangat bergantung pada impor.

Untuk mendobrak hambatan teknis di bidang peralatan penjarangan, Profesor Lu Xinchun memimpin Huahai Qingke, menggunakan pengalaman industrialisasi di bidang pemolesan mekanis kimia, untuk fokus pada penelitian teori dan teknologi penjarangan ultra-presisi, untuk mengatasi ultra -penggilingan bagian belakang wafer yang presisi, Dengan teknologi inti kontrol kerataan yang cerdas, seri kontrol kerusakan dan cacat permukaan, mesin penipis wafer ultra-presisi pertama untuk pembuatan IC 12D 3 inci, pengemasan canggih, dan bidang lainnya telah dikembangkan untuk memecahkan masalah tersebut. masalah "macet leher" di bidang ini.

Tim Profesor Lu Xinchun telah melakukan penelitian dasar tentang pemolesan mekanis kimia (CMP) sejak tahun 2000, melakukan lebih dari sepuluh tugas ilmiah dan teknologi nasional, berhasil menginkubasi Huahai Qingke, dan mengembangkan "kering dan keringkan" berukuran 12 inci yang pertama di negara saya. CMP Untuk peralatan dan produk seri, teknologi keseluruhan telah mencapai tingkat mahir internasional, produksi massal proses 28nm telah tercapai, dan kemampuan perluasan proses 14-7nm telah menciptakan sejumlah rekor peralatan dalam negeri.

Sebanyak lebih dari 110 set peralatan ini digunakan di jalur produksi besar manufaktur sirkuit terpadu canggih, dan pangsa pasar serta tingkat substitusi impornya berada di garis depan peralatan IC dalam negeri.

Serangkaian pencapaian tersebut mengisi kesenjangan dalam negeri, mematahkan monopoli raksasa internasional, dan mewujudkan penerapan industri massal peralatan pemoles dalam negeri untuk pertama kalinya.

Tim Profesor Lu Xinchun juga secara aktif mempromosikan transformasi hasil penelitian ilmiah, menyadari hubungan vertikal antara penelitian dasar dan permintaan industri, dan menginkubasi Huahai Qingke, yang saat ini merupakan satu-satunya produsen peralatan semikonduktor kelas atas di negara saya dengan CMP 12 inci model komersial.

Penafian: Artikel ini direproduksi dari "Forum Semikonduktor China", artikel ini hanya mewakili pandangan pribadi penulis, bukan pandangan Sac Micro dan industri, hanya untuk dicetak ulang dan dibagikan, dukungan Untuk melindungi hak kekayaan intelektual, harap sebutkan sumber aslinya dan penulis untuk dicetak ulang. Jika ada pelanggaran, silakan hubungi kami untuk menghapusnya.