सिंघुआ विश्वविद्यालय की आधिकारिक खबर के अनुसार, हाल ही में, सिंघुआ के मैकेनिकल इंजीनियरिंग विभाग के प्रोफेसर लू शिनचुन के नेतृत्व में सिंघुआ विश्वविद्यालय की उपलब्धि परिवर्तन परियोजना कंपनी हुआहाई क्विंगके द्वारा विकसित पहली 12-इंच (300 मिमी) अल्ट्रा-प्रिसिजन वेफर थिनिंग मशीन विश्वविद्यालय, आधिकारिक तौर पर भेज दिया गया है। , एक अग्रणी घरेलू एकीकृत सर्किट उद्यम को भेजा गया!

प्रोफेसर लू शिनचुन और हुआहाई क्विंगके की टीम द्वारा मेरे देश के एकीकृत सर्किट पॉलिशिंग उपकरण की "अटक गई गर्दन" की समस्या को हल करने के बाद यह एक और महत्वपूर्ण उपलब्धि है। परिशुद्धता पतला करने की प्रक्रिया आवश्यकताएँ।

12 इंच की अल्ट्रा-प्रिसिजन वेफर थिनिंग मशीन एकीकृत सर्किट निर्माण के लिए एक अनिवार्य महत्वपूर्ण उपकरण है। यह अत्यधिक जटिल है, तकनीकी समस्याओं को हल करना कठिन है और इसकी बाजार में प्रवेश सीमा ऊंची है। लंबे समय से इस पर विदेशी निर्माताओं का अत्यधिक एकाधिकार रहा है और घरेलू बाजार काफी हद तक आयात पर निर्भर है।

थिनिंग उपकरण के क्षेत्र में तकनीकी अड़चन को तोड़ने के लिए, प्रोफेसर लू शिनचुन ने रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग के क्षेत्र में औद्योगीकरण के अनुभव का उपयोग करते हुए, अल्ट्रा-प्रिसिजन थिनिंग सिद्धांत और प्रौद्योगिकी पर अनुसंधान पर ध्यान केंद्रित करने के लिए, अल्ट्रा पर काबू पाने के लिए हुआहाई क्विंगके का नेतृत्व किया। - वेफर बैकसाइड की सटीक ग्राइंडिंग, इंटेलिजेंट फ़्लैटनेस नियंत्रण, सतह क्षति और दोष नियंत्रण श्रृंखला की मुख्य प्रौद्योगिकियों के साथ, 12-इंच 3 डी आईसी विनिर्माण, उन्नत पैकेजिंग और अन्य क्षेत्रों के लिए पहली अल्ट्रा-प्रिसिजन वेफर थिनिंग मशीन को हल करने के लिए विकसित किया गया है। इस क्षेत्र में "अटकती गर्दन" की समस्या।

प्रोफेसर लू शिनचुन की टीम ने 2000 से केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी) पर बुनियादी शोध किया है, दस से अधिक प्रमुख राष्ट्रीय वैज्ञानिक और तकनीकी कार्य किए हैं, हुआहाई क्विंगके को सफलतापूर्वक इनक्यूबेट किया है, और मेरे देश का पहला 12-इंच "ड्राई इन और ड्राई आउट" विकसित किया है। सीएमपी उपकरण और श्रृंखला के उत्पादों के लिए, समग्र प्रौद्योगिकी अंतरराष्ट्रीय उन्नत स्तर पर पहुंच गई है, 28nm प्रक्रिया का बड़े पैमाने पर उत्पादन हासिल किया गया है, और 14-7nm प्रक्रिया विस्तार क्षमता ने कई घरेलू उपकरण रिकॉर्ड बनाए हैं।

इस उपकरण के कुल 110 से अधिक सेट उन्नत एकीकृत सर्किट विनिर्माण की बड़ी उत्पादन लाइनों में उपयोग किए जाते हैं, और इसकी बाजार हिस्सेदारी और आयात प्रतिस्थापन दर दोनों घरेलू आईसी उपकरणों में सबसे आगे हैं।

उपलब्धियों की श्रृंखला ने घरेलू अंतर को भर दिया, अंतरराष्ट्रीय दिग्गजों के एकाधिकार को तोड़ दिया, और पहली बार घरेलू पॉलिशिंग उपकरणों के बड़े पैमाने पर औद्योगिक अनुप्रयोग का एहसास हुआ।

प्रोफेसर लू शिनचुन की टीम ने भी सक्रिय रूप से वैज्ञानिक अनुसंधान परिणामों के परिवर्तन को बढ़ावा दिया, बुनियादी अनुसंधान और औद्योगिक मांग के बीच ऊर्ध्वाधर संबंध का एहसास किया, और हुआहाई क्विंगके को इनक्यूबेट किया, जो वर्तमान में 12-इंच सीएमपी के साथ मेरे देश में एकमात्र उच्च अंत अर्धचालक उपकरण निर्माता है। वाणिज्यिक मॉडल.

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