Selon les informations officielles de l'Université de Tsinghua, récemment, la première machine d'amincissement de plaquettes ultra-précise de 12 pouces (300 mm) a été développée par Huahai Qingke, une société de projet de transformation des réalisations de l'Université de Tsinghua dirigée par le professeur Lu Xinchun du Département de génie mécanique de Tsinghua. University, a été officiellement expédié. , envoyé à une importante entreprise nationale de circuits intégrés !

Il s'agit d'une autre avancée majeure après que l'équipe du professeur Lu Xinchun et de Huahai Qingke ait résolu le problème du « col coincé » de l'équipement de polissage de circuits intégrés de mon pays. Exigences du processus d’amincissement de précision.

La machine d'amincissement de plaquettes ultra-précise de 12 pouces est un équipement clé indispensable pour la fabrication de circuits intégrés. Il est très complexe, difficile à résoudre des problèmes techniques et nécessite un seuil d’entrée sur le marché élevé. Il a longtemps été fortement monopolisé par les fabricants étrangers et le marché intérieur est fortement dépendant des importations.

Afin de briser le goulot d'étranglement technique dans le domaine des équipements d'amincissement, le professeur Lu Xinchun a conduit Huahai Qingke, en utilisant l'expérience d'industrialisation dans le domaine du polissage chimico-mécanique, à se concentrer sur la recherche sur la théorie et la technologie d'amincissement ultra-précis, pour surmonter l'ultra-précision. -meulage de précision de l'arrière de la plaquette, avec les technologies de base de contrôle intelligent de la planéité, de dommages de surface et de contrôle des défauts, la première machine d'amincissement de plaquette ultra-précise pour la fabrication de circuits intégrés 12D de 3 pouces, l'emballage avancé et d'autres domaines a été développée pour résoudre le problème de « cou coincé » dans ce domaine.

L'équipe du professeur Lu Xinchun a mené des recherches fondamentales sur le polissage chimico-mécanique (CMP) depuis 2000, entrepris plus de dix tâches scientifiques et technologiques nationales majeures, incubé avec succès Huahai Qingke et développé le premier « séchage et séchage » de 12 pouces de Chine. CMP Pour les équipements et les produits en série, la technologie globale a atteint le niveau avancé international, la production de masse du processus 28 nm a été réalisée et la capacité d'expansion du processus 14-7 nm a créé un certain nombre de records d'équipement nationaux.

Au total, plus de 110 ensembles de cet équipement sont utilisés dans de grandes lignes de production de fabrication de circuits intégrés avancés, et sa part de marché et son taux de substitution des importations sont tous deux à l'avant-garde des équipements de circuits intégrés nationaux.

La série de réalisations a comblé le fossé national, brisé le monopole des géants internationaux et réalisé pour la première fois l'application industrielle de masse des équipements de polissage nationaux.

L'équipe du professeur Lu Xinchun a également activement promu la transformation des résultats de la recherche scientifique, réalisé le lien vertical entre la recherche fondamentale et la demande industrielle et incubé Huahai Qingke, qui est actuellement le seul fabricant d'équipements semi-conducteurs haut de gamme de Chine doté d'un CMP de 12 pouces. modèle commercial.

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